VeTek సెమీకండక్టర్ అల్ట్రా ప్యూర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తుల ఉత్పత్తిలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది, ఈ పూతలు శుద్ధి చేయబడిన గ్రాఫైట్, సెరామిక్స్ మరియు రిఫ్రాక్టరీ మెటల్ భాగాలకు వర్తించేలా రూపొందించబడ్డాయి.
మా అధిక స్వచ్ఛత పూతలు ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలలో ఉపయోగం కోసం లక్ష్యంగా పెట్టుకున్నాయి. అవి వేఫర్ క్యారియర్లు, ససెప్టర్లు మరియు హీటింగ్ ఎలిమెంట్లకు రక్షణ పొరగా పనిచేస్తాయి, MOCVD మరియు EPI వంటి ప్రక్రియలలో ఎదురయ్యే తినివేయు మరియు రియాక్టివ్ వాతావరణాల నుండి వాటిని రక్షిస్తాయి. ఈ ప్రక్రియలు పొర ప్రాసెసింగ్ మరియు పరికర తయారీకి సమగ్రమైనవి. అదనంగా, మా పూతలు వాక్యూమ్ ఫర్నేస్లు మరియు శాంపిల్ హీటింగ్లో అప్లికేషన్లకు బాగా సరిపోతాయి, ఇక్కడ అధిక వాక్యూమ్,
రియాక్టివ్, మరియు ఆక్సిజన్ పరిసరాలను ఎదుర్కొంటారు.
VeTek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము మా అధునాతన మెషీన్ షాప్ సామర్థ్యాలతో సమగ్ర పరిష్కారాన్ని అందిస్తున్నాము. ఇది గ్రాఫైట్, సెరామిక్స్ లేదా రిఫ్రాక్టరీ లోహాలను ఉపయోగించి బేస్ కాంపోనెంట్లను తయారు చేయడానికి మరియు ఇంట్లోనే SiC లేదా TaC సిరామిక్ కోటింగ్లను వర్తింపజేయడానికి అనుమతిస్తుంది. మేము కస్టమర్-సరఫరా చేసిన భాగాలకు పూత సేవలను కూడా అందిస్తాము, విభిన్న అవసరాలకు అనుగుణంగా సౌలభ్యాన్ని నిర్ధారిస్తాము.
మా సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తులు Si epitaxy, SiC ఎపిటాక్సీ, MOCVD సిస్టమ్, RTP/RTA ప్రాసెస్, ఎచింగ్ ప్రాసెస్, ICP/PSS ఎచింగ్ ప్రాసెస్, బ్లూ మరియు గ్రీన్ LED, UV LED మరియు డీప్-UV LED మొదలైన వివిధ LED రకాల ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. TSI మరియు మొదలైనవి.
రియాక్టర్ భాగాలు మనం చేయగలము:
కీ ఫీచర్లు
● కనిష్ట కణ ఉత్పత్తి కోసం దట్టమైన β-దశ పాలీక్రిస్టలైన్ నిర్మాణంతో అల్ట్రా-అధిక స్వచ్ఛత (99.99995%).
● HCl, NH₃, H₂, SiH₄ మరియు ఇతర తినివేయు ప్రక్రియ వాయువులకు అద్భుతమైన రసాయన నిరోధకత.
● అధిక ఉష్ణ వాహకత (~300 W·m⁻¹·K⁻¹) మరియు 2700°C సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత వరకు ఉష్ణ స్థిరత్వం.
● సుపీరియర్ కాఠిన్యం (2500 వికర్స్) మరియు గ్రాఫైట్, సెరామిక్స్ మరియు రిఫ్రాక్టరీ లోహాలకు బలమైన సంశ్లేషణ.
● ససెప్టర్లు, క్యారియర్లు, షవర్ హెడ్లు మరియు హీటింగ్ ఎలిమెంట్లతో సహా సంక్లిష్ట జ్యామితికి అనువైన కన్ఫార్మల్ కోటింగ్ కవరేజ్.
● ప్రధాన పరికరాల ప్లాట్ఫారమ్లతో అనుకూలమైనది: LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI మరియు మరిన్ని.
సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలు
ఉత్పత్తి లక్షణాలు
VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత పరామితి
| CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు |
| ఆస్తి |
సాధారణ విలువ |
| క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్ |
| SiC పూత సాంద్రత |
3.21 గ్రా/సెం³ |
| SiC పూత కాఠిన్యం |
2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్) |
| ధాన్యం పరిమాణం |
2~10μm |
| రసాయన స్వచ్ఛత |
99.99995% |
| ఉష్ణ సామర్థ్యం |
640 J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
2700℃ |
| ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ |
415 MPa RT 4-పాయింట్ |
| యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
430 GPa 4pt బెండ్, 1300℃ |
| ఉష్ణ వాహకత |
300 W·m⁻¹·K⁻¹ |
| థర్మల్ విస్తరణ (CTE) |
4.5×10⁻⁶ K⁻¹ |
CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్
అప్లికేషన్లు
సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల యొక్క విభిన్న అవసరాలను తీర్చడానికి, VeTek లక్ష్యంగా ఉన్న సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తులను అందిస్తుంది. కింది పట్టిక వాటిని ప్రధాన అప్లికేషన్ ప్రాంతాల ద్వారా వర్గీకరిస్తుంది, సాధారణ భాగాలు మరియు వర్తించే ప్రక్రియలను జాబితా చేస్తుంది:
| అప్లికేషన్ ఫీల్డ్ |
సాధారణ ఉత్పత్తులు |
అప్లికేషన్ వివరణ |
| సి ఎపిటాక్సీ |
CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్, SiC కోటింగ్ వేఫర్ క్యారియర్, ఎపి ససెప్టర్
|
సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలకు అనుకూలం, అధిక-నాణ్యత ఎపి లేయర్ల కోసం ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ, రసాయన నిరోధకత మరియు తక్కువ కణాల ఉత్పత్తిని అందిస్తుంది. |
| SiC ఎపిటాక్సీ |
CVD SiC కోటెడ్ ప్లానెటరీ ససెప్టర్, SiC కోటెడ్ వేఫర్ ససెప్టర్, గైడ్ రింగ్ |
అధిక-ఉష్ణోగ్రత SiC ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ (LPE మొదలైనవి), ఫిల్మ్ ఏకరూపత మరియు ప్రాసెస్ దిగుబడిని నిర్ధారించడానికి ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు శుభ్రమైన ఇంటర్ఫేస్ను అందించడం. |
| GaN / LED ఎపిటాక్సీ (MOCVD) |
SiC కోటెడ్ శాటిలైట్ కవర్, షవర్ హెడ్, ఉపగ్రహ డిస్క్, మాస్కింగ్ రింగ్ |
Aixtron, Veeco MOCVD సిస్టమ్లకు అనుకూలమైనది; H₂/NH₃ తుప్పును నిరోధిస్తుంది, కణాల కాలుష్యాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు LED ఎపి దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది (నీలం, ఆకుపచ్చ, UV, లోతైన-UV). |
| RTP / RTA ప్రక్రియ |
CVD SiC కోటెడ్ RTP ససెప్టర్, RTP RTA క్యారియర్, హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్
|
వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఎనియలింగ్ కోసం రూపొందించబడింది; అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు డైమెన్షనల్ స్థిరత్వంతో పునరావృతమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత సైక్లింగ్ను తట్టుకుంటుంది. |
| ఎచింగ్ / ICP / PSS |
ఘన SiC ఫోకస్ రింగ్స్, ఎచ్ చాంబర్ల కోసం SiC పూతతో కూడిన భాగాలు
|
అధిక కాఠిన్యం మరియు ప్లాస్మా నిరోధకత ఛాంబర్ భాగాలను రక్షిస్తుంది, ఎట్చ్ ప్రొఫైల్ ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది మరియు హాలోజన్ అధికంగా ఉండే పరిసరాలలో సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది. |
| హై-టెంప్ హీటింగ్ & సపోర్ట్ |
CVD SiC కోటింగ్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్, పొర వాహకాలు, ససెప్టర్లు
|
ఇండక్షన్/రెసిస్టివ్ హీటింగ్ మరియు వాక్యూమ్ ఫర్నేస్ అప్లికేషన్ల కోసం; అధిక కాఠిన్యం, థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ మరియు పొడవైన కాంపోనెంట్ జీవితకాలం అందిస్తుంది. |
మరింత వివరణాత్మక ప్రక్రియ సరిపోలిక పరిష్కారాల కోసం, దయచేసి చూడండిసిలికాన్ ఎపిటాక్సీమరియుసిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీసంబంధిత అప్లికేషన్ పేజీలు.
చైనాలో ప్రొఫెషనల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత ఫ్యాక్టరీ ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేయబడిన అధునాతన మరియు మన్నికైన సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ను కొనుగోలు చేయాలనుకుంటున్నారా, మీరు చేయవచ్చుమాకు సందేశం పంపండి.
