VeTek సెమీకండక్టర్ అల్ట్రా ప్యూర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తుల ఉత్పత్తిలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది, ఈ పూతలు శుద్ధి చేయబడిన గ్రాఫైట్, సెరామిక్స్ మరియు వక్రీభవన మెటల్ భాగాలకు వర్తించేలా రూపొందించబడ్డాయి.
మా అధిక స్వచ్ఛత పూతలు ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలలో ఉపయోగం కోసం లక్ష్యంగా పెట్టుకున్నాయి. అవి వేఫర్ క్యారియర్లు, ససెప్టర్లు మరియు హీటింగ్ ఎలిమెంట్లకు రక్షణ పొరగా పనిచేస్తాయి, MOCVD మరియు EPI వంటి ప్రక్రియలలో ఎదురయ్యే తినివేయు మరియు రియాక్టివ్ పరిసరాల నుండి వాటిని రక్షిస్తాయి. ఈ ప్రక్రియలు పొర ప్రాసెసింగ్ మరియు పరికర తయారీకి సమగ్రమైనవి. అదనంగా, మా పూతలు వాక్యూమ్ ఫర్నేస్లు మరియు శాంపిల్ హీటింగ్లో అప్లికేషన్లకు బాగా సరిపోతాయి, ఇక్కడ అధిక వాక్యూమ్, రియాక్టివ్ మరియు ఆక్సిజన్ పరిసరాలు ఉంటాయి.
VeTek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము మా అధునాతన మెషీన్ షాప్ సామర్థ్యాలతో సమగ్ర పరిష్కారాన్ని అందిస్తున్నాము. ఇది గ్రాఫైట్, సిరామిక్స్ లేదా రిఫ్రాక్టరీ లోహాలను ఉపయోగించి బేస్ కాంపోనెంట్లను తయారు చేయడానికి మరియు ఇంట్లోనే SiC లేదా TaC సిరామిక్ కోటింగ్లను వర్తింపజేయడానికి అనుమతిస్తుంది. మేము కస్టమర్-సరఫరా చేసిన భాగాలకు పూత సేవలను కూడా అందిస్తాము, విభిన్న అవసరాలకు అనుగుణంగా సౌలభ్యాన్ని నిర్ధారిస్తాము.
మా సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తులు Si epitaxy, SiC ఎపిటాక్సీ, MOCVD సిస్టమ్, RTP/RTA ప్రాసెస్, ఎచింగ్ ప్రాసెస్, ICP/PSS ఎచింగ్ ప్రాసెస్, బ్లూ మరియు గ్రీన్ LED, UV LED మరియు డీప్-UVతో సహా వివిధ LED రకాల ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. LED మొదలైనవి, ఇది LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys నుండి పరికరాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది. TSI మరియు మొదలైనవి.
రియాక్టర్ భాగాలు మనం చేయగలము:
సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలు:
VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత పరామితి
|
CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
|
|
ఆస్తి
|
సాధారణ విలువ
|
|
క్రిస్టల్ నిర్మాణం
|
FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
|
|
SiC పూత సాంద్రత
|
3.21 గ్రా/సెం³
|
|
SiC పూత కాఠిన్యం
|
2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
|
|
ధాన్యం పరిమాణం
|
2~10μm
|
|
రసాయన స్వచ్ఛత
|
99.99995%
|
|
ఉష్ణ సామర్థ్యం
|
640 J·kg-1·కె-1
|
|
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత
|
2700℃
|
|
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్
|
415 MPa RT 4-పాయింట్
|
|
యంగ్స్ మాడ్యులస్
|
430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
|
|
ఉష్ణ వాహకత
|
300W·m-1·కె-1
|
|
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)
|
4.5×10-6K-1
|
CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్
