ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు

సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత

VeTek సెమీకండక్టర్ అల్ట్రా ప్యూర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తుల ఉత్పత్తిలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది, ఈ పూతలు శుద్ధి చేయబడిన గ్రాఫైట్, సెరామిక్స్ మరియు వక్రీభవన మెటల్ భాగాలకు వర్తించేలా రూపొందించబడ్డాయి.


మా అధిక స్వచ్ఛత పూతలు ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలలో ఉపయోగం కోసం లక్ష్యంగా పెట్టుకున్నాయి. అవి వేఫర్ క్యారియర్లు, ససెప్టర్లు మరియు హీటింగ్ ఎలిమెంట్‌లకు రక్షణ పొరగా పనిచేస్తాయి, MOCVD మరియు EPI వంటి ప్రక్రియలలో ఎదురయ్యే తినివేయు మరియు రియాక్టివ్ పరిసరాల నుండి వాటిని రక్షిస్తాయి. ఈ ప్రక్రియలు పొర ప్రాసెసింగ్ మరియు పరికర తయారీకి సమగ్రమైనవి. అదనంగా, మా పూతలు వాక్యూమ్ ఫర్నేస్‌లు మరియు శాంపిల్ హీటింగ్‌లో అప్లికేషన్‌లకు బాగా సరిపోతాయి, ఇక్కడ అధిక వాక్యూమ్, రియాక్టివ్ మరియు ఆక్సిజన్ పరిసరాలు ఉంటాయి.


VeTek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము మా అధునాతన మెషీన్ షాప్ సామర్థ్యాలతో సమగ్ర పరిష్కారాన్ని అందిస్తున్నాము. ఇది గ్రాఫైట్, సిరామిక్స్ లేదా రిఫ్రాక్టరీ లోహాలను ఉపయోగించి బేస్ కాంపోనెంట్‌లను తయారు చేయడానికి మరియు ఇంట్లోనే SiC లేదా TaC సిరామిక్ కోటింగ్‌లను వర్తింపజేయడానికి అనుమతిస్తుంది. మేము కస్టమర్-సరఫరా చేసిన భాగాలకు పూత సేవలను కూడా అందిస్తాము, విభిన్న అవసరాలకు అనుగుణంగా సౌలభ్యాన్ని నిర్ధారిస్తాము.


మా సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తులు Si epitaxy, SiC ఎపిటాక్సీ, MOCVD సిస్టమ్, RTP/RTA ప్రాసెస్, ఎచింగ్ ప్రాసెస్, ICP/PSS ఎచింగ్ ప్రాసెస్, బ్లూ మరియు గ్రీన్ LED, UV LED మరియు డీప్-UVతో సహా వివిధ LED రకాల ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. LED మొదలైనవి, ఇది LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys నుండి పరికరాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది. TSI మరియు మొదలైనవి.


రియాక్టర్ భాగాలు మనం చేయగలము:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలు:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత పరామితి

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
SiC పూత సాంద్రత 3.21 గ్రా/సెం³
SiC పూత కాఠిన్యం 2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం 2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత 99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం 640 J·kg-1·కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత 2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ 415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్ 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత 300W·m-1·కె-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE) 4.5×10-6K-1

CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
ఎచింగ్ కోసం సిక్ కోటెడ్ పొర క్యారియర్

ఎచింగ్ కోసం సిక్ కోటెడ్ పొర క్యారియర్

సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఉత్పత్తుల యొక్క ప్రముఖ చైనీస్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, ఎచింగ్ కోసం వెటెక్సెమికన్ యొక్క SIC పూత పొర క్యారియర్ దాని అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం, అత్యుత్తమ తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకతతో చెక్కడం ప్రక్రియలో పూడ్చలేని కోర్ పాత్రను పోషిస్తుంది.
సివిడి సిక్ కోటెడ్ పొర ససెప్టర్

సివిడి సిక్ కోటెడ్ పొర ససెప్టర్

వెటెక్సెమికాన్ యొక్క సివిడి సిక్ కోటెడ్ పొర ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలకు కట్టింగ్-ఎడ్జ్ పరిష్కారం, ఇది అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ (≤100 పిపిబి, ఐసిపి-ఇ 10 సర్టిఫైడ్) మరియు గాన్‌, ఎస్‌ఐసి మరియు సిలికాన్-బిస్డ్ ఎపి-లియర్స్ యొక్క కాంటామినేషన్-రెసిస్టెంట్ పెరుగుదల కోసం అసాధారణమైన ఉష్ణ/రసాయన స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ప్రెసిషన్ సివిడి టెక్నాలజీతో ఇంజనీరింగ్ చేయబడిన ఇది 6 ”/8”/12 ”పొరలకు మద్దతు ఇస్తుంది, కనీస ఉష్ణ ఒత్తిడిని నిర్ధారిస్తుంది మరియు 1600 ° C వరకు తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకుంటుంది.
సిక్ కోటెడ్ ప్లానెటరీ ససెప్టర్

సిక్ కోటెడ్ ప్లానెటరీ ససెప్టర్

సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలో మా SIC పూత ప్లానెటరీ ససెప్టర్ ఒక ప్రధాన భాగం. థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ పనితీరు, రసాయన స్థిరత్వం మరియు యాంత్రిక బలం యొక్క సమగ్ర ఆప్టిమైజేషన్‌ను సాధించడానికి దీని డిజైన్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో గ్రాఫైట్ ఉపరితలాన్ని మిళితం చేస్తుంది.
ఎపిటాక్సీ కోసం SIC పూత సీలింగ్ రింగ్

ఎపిటాక్సీ కోసం SIC పూత సీలింగ్ రింగ్

మా SIC- పూతతో కూడిన సీలింగ్ రింగ్ అనేది కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) చేత హై-ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) తో పూసిన గ్రాఫైట్ లేదా కార్బన్-కార్బన్ మిశ్రమాల ఆధారంగా అధిక-పనితీరు గల సీలింగ్ భాగం, ఇది SIC యొక్క విపరీతమైన పర్యావరణ నిరోధకతతో గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని మిళితం చేస్తుంది, మరియు ఇది SEMC, మరియు E.
సింగిల్ పొర ఎపి గ్రాఫైట్ అండర్టేకర్

సింగిల్ పొర ఎపి గ్రాఫైట్ అండర్టేకర్

వెటెక్సెమికన్ సింగిల్ పొర EPI గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ హై-పెర్ఫార్మెన్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC), గాలియం నైట్రైడ్ (GAN) మరియు ఇతర మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడింది మరియు ఇది ద్రవ్యరాశి ఉత్పత్తిలో అధిక-ఖచ్చితమైన ఎపిటాక్సియల్ షీట్ యొక్క ప్రధాన భాగం. మీ తదుపరి విచారణ.
ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్

ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్

పొర ఫాబ్రికేషన్ ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే ముఖ్యమైన భాగం ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్, దీని పని ప్లాస్మా సాంద్రతను నిర్వహించడానికి మరియు పొర భుజాల కాలుష్యాన్ని నిరోధించడానికి పొరను ఉంచడం. Vetek సెమీకండక్టర్ ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్‌ను మోనోక్రిస్టలైన్ వంటి విభిన్న పదార్థాలతో అందిస్తుంది. సిలికాన్, సిలికాన్ కార్బైడ్, బోరాన్ కార్బైడ్ మరియు ఇతర సిరామిక్ పదార్థాలు. మేము ఎదురు చూస్తున్నాము Vetek ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్ మరియు దాని అప్లికేషన్ గురించి మీతో మరింత చర్చించడానికి.
చైనాలో ప్రొఫెషనల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత కర్మాగారం ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేసిన అధునాతన మరియు మన్నికైన {77 by కొనాలనుకుంటున్నారా, మీరు మాకు సందేశాన్ని పంపవచ్చు.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept