కేస్ స్టడీస్

VeTek యొక్క వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ సాంకేతికత 2mm SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లలో ఏకరీతి Φ0.15mm త్రూ-హోల్స్‌ను టేపర్ లేకుండా, కనిష్ట HAZ మరియు సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్‌ల కోసం అధిక దిగుబడిని ఎలా అందజేస్తుందో కనుగొనండి.

సెమీకండక్టర్ ఎక్విప్‌మెంట్ బోలు లిఫ్ట్ పిన్స్‌లకు అత్యంత సవాలుగా ఉండే సాంకేతిక సమస్య బాహ్య ఉపరితల పూత కాదు, బోలు నిర్మాణం యొక్క లోపలి గోడపై స్థిరమైన మరియు ఏకరీతి CVD పూతను సాధించడం. లోపలి-గోడ పూత ఏకరూపత నియంత్రణ నుండి అంతర్గత బోర్ శుభ్రత హామీ వరకు, ప్రతి ప్రక్రియ దశ నేరుగా పొర దిగుబడిని ప్రభావితం చేస్తుంది. ఈ ఆర్టికల్ హాలో లిఫ్ట్ పిన్ ఇన్నర్-వాల్ కోటింగ్ మరియు కీలక సాంకేతిక మార్గాల యొక్క ప్రధాన సవాళ్లను విశ్లేషిస్తుంది.