సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ

అధిక-నాణ్యత సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ తయారీ అధునాతన సాంకేతికత మరియు పరికరాలు మరియు పరికరాల ఉపకరణాలపై ఆధారపడి ఉంటుంది. ప్రస్తుతం, అత్యంత విస్తృతంగా ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ వృద్ధి పద్ధతి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD). ఇది ఎపిటాక్సియల్ ఫిల్మ్ మందం మరియు డోపింగ్ ఏకాగ్రత, తక్కువ లోపాలు, మితమైన వృద్ధి రేటు, స్వయంచాలక ప్రక్రియ నియంత్రణ మొదలైన వాటి యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ యొక్క ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది మరియు ఇది వాణిజ్యపరంగా విజయవంతంగా వర్తించే విశ్వసనీయ సాంకేతికత.

సిలికాన్ కార్బైడ్ CVD ఎపిటాక్సీ సాధారణంగా హాట్ వాల్ లేదా వార్మ్ వాల్ CVD పరికరాలను అవలంబిస్తుంది, ఇది అధిక పెరుగుదల ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో (1500 ~ 1700℃), హాట్ వాల్ లేదా వార్మ్ వాల్ CVD సంవత్సరాల అభివృద్ధి తర్వాత, ఎపిటాక్సీ లేయర్ 4H స్ఫటికాకార SiC యొక్క కొనసాగింపును నిర్ధారిస్తుంది. ఇన్లెట్ గాలి ప్రవాహ దిశ మరియు ఉపరితల ఉపరితలం మధ్య సంబంధం, ప్రతిచర్య గదిని సమాంతర నిర్మాణ రియాక్టర్ మరియు నిలువు నిర్మాణ రియాక్టర్‌గా విభజించవచ్చు.

SIC ఎపిటాక్సియల్ ఫర్నేస్ యొక్క నాణ్యతకు మూడు ప్రధాన సూచికలు ఉన్నాయి, మొదటిది ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధి పనితీరు, ఇందులో మందం ఏకరూపత, డోపింగ్ ఏకరూపత, లోపం రేటు మరియు వృద్ధి రేటు; రెండవది, తాపన/శీతలీకరణ రేటు, గరిష్ట ఉష్ణోగ్రత, ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతతో సహా పరికరాల యొక్క ఉష్ణోగ్రత పనితీరు; చివరగా, ఒకే యూనిట్ యొక్క ధర మరియు సామర్థ్యంతో సహా పరికరాల ఖర్చు పనితీరు.

మూడు రకాల సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్ మరియు కోర్ యాక్సెసరీస్ తేడాలు

హాట్ వాల్ క్షితిజ సమాంతర CVD (LPE కంపెనీ యొక్క సాధారణ మోడల్ PE1O6), వార్మ్ వాల్ ప్లానెటరీ CVD (సాధారణ మోడల్ Aixtron G5WWC/G10) మరియు క్వాసి-హాట్ వాల్ CVD (నుఫ్లేర్ కంపెనీకి చెందిన EPIREVOS6 ప్రాతినిధ్యం వహిస్తుంది) అనేవి ప్రధాన స్రవంతి ఎపిటాక్సియల్ పరికరాల సాంకేతిక పరిష్కారాలు. ఈ దశలో వాణిజ్య అనువర్తనాల్లో. మూడు సాంకేతిక పరికరాలు కూడా వాటి స్వంత లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి మరియు డిమాండ్ ప్రకారం ఎంచుకోవచ్చు. వారి నిర్మాణం క్రింది విధంగా చూపబడింది:

సంబంధిత ప్రధాన భాగాలు క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:

(ఎ) హాట్ వాల్ హారిజాంటల్ టైప్ కోర్ పార్ట్- హాఫ్‌మూన్ పార్ట్‌లు ఉంటాయి

దిగువ ఇన్సులేషన్

ప్రధాన ఇన్సులేషన్ ఎగువ

ఎగువ అర్ధ చంద్రుడు

అప్‌స్ట్రీమ్ ఇన్సులేషన్

పరివర్తన భాగం 2

పరివర్తన భాగం 1

బాహ్య గాలి ముక్కు

టాపర్డ్ స్నార్కెల్

ఔటర్ ఆర్గాన్ గ్యాస్ ముక్కు

ఆర్గాన్ గ్యాస్ ముక్కు

పొర మద్దతు ప్లేట్

సెంట్రింగ్ పిన్

సెంట్రల్ గార్డ్

దిగువ ఎడమ రక్షణ కవర్

దిగువ కుడి రక్షణ కవర్

అప్‌స్ట్రీమ్ ఎడమ రక్షణ కవర్

అప్‌స్ట్రీమ్ కుడి రక్షణ కవర్

పక్క గోడ

గ్రాఫైట్ రింగ్

రక్షణగా భావించారు

సపోర్టింగ్ గా అనిపించింది

సంప్రదింపు బ్లాక్

గ్యాస్ అవుట్లెట్ సిలిండర్

(బి) వెచ్చని గోడ గ్రహ రకం

SiC కోటింగ్ ప్లానెటరీ డిస్క్ &TaC కోటెడ్ ప్లానెటరీ డిస్క్

(సి) క్వాసి-థర్మల్ వాల్ స్టాండింగ్ రకం

నుఫ్లేర్ (జపాన్): ఈ కంపెనీ డ్యూయల్-ఛాంబర్ వర్టికల్ ఫర్నేస్‌లను అందిస్తుంది, ఇవి ఉత్పత్తి దిగుబడిని పెంచడానికి దోహదం చేస్తాయి. పరికరాలు నిమిషానికి 1000 విప్లవాల వరకు అధిక-వేగ భ్రమణాన్ని కలిగి ఉంటాయి, ఇది ఎపిటాక్సియల్ ఏకరూపతకు అత్యంత ప్రయోజనకరంగా ఉంటుంది. అదనంగా, దాని గాలి ప్రవాహ దిశ ఇతర పరికరాల నుండి భిన్నంగా ఉంటుంది, నిలువుగా క్రిందికి ఉంటుంది, తద్వారా కణాల ఉత్పత్తిని తగ్గిస్తుంది మరియు కణ బిందువులు పొరలపై పడే సంభావ్యతను తగ్గిస్తుంది. మేము ఈ పరికరానికి కోర్ SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ భాగాలను అందిస్తాము.

SiC ఎపిటాక్సియల్ ఎక్విప్‌మెంట్ కాంపోనెంట్‌ల సరఫరాదారుగా, VeTek సెమీకండక్టర్ SiC ఎపిటాక్సీని విజయవంతంగా అమలు చేయడం కోసం వినియోగదారులకు అధిక-నాణ్యత పూత భాగాలను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది.