సిలికాన్ నైట్రైడ్

1. అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వం

సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు వివిధ రకాల బలమైన ఆమ్లాలు, ఆల్కాలిస్ మరియు తినివేయు వాయువులను తట్టుకోగలదు. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో తరచుగా తినివేయు రసాయనాలతో వ్యవహరించాల్సిన అవసరం ఉంది, సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ దీర్ఘకాలిక స్థిరమైన పనితీరు హామీని అందిస్తుంది.

2. అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాలు

సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ అధిక కాఠిన్యం, అద్భుతమైన సంపీడన బలం మరియు దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, యాంత్రిక ఒత్తిడి మరియు ఉపరితల దుస్తులు ధరించగలదు, వైకల్యం లేదా చీలిక సులభం కాదు. ఈ యాంత్రిక ఆస్తి సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో నిర్మాణాత్మక మరియు ప్రక్రియ భాగాలకు ఒక పదార్థంగా చాలా అనుకూలంగా ఉంటుంది.

3. అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం

సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో స్థిరత్వాన్ని కాపాడుతుంది, మృదువుగా లేదా కరగడం అంత సులభం కాదు మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ మరియు నిర్వహణను తట్టుకోగలదు. ఇది గ్రిప్పర్స్, రియాక్షన్ ఛాంబర్ భాగాలు మరియు వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెస్ ఎక్విప్మెంట్ కీలక భాగాల తయారీలో దీనిని ఉపయోగించడానికి అనుమతిస్తుంది.

4. అద్భుతమైన ఇన్సులేటింగ్ లక్షణాలు

సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీలో ఇన్సులేటింగ్ లక్షణాలు కీలకం. సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ మంచి ఇన్సులేటింగ్ లక్షణాలను కలిగి ఉన్నాయి, ఇవి ప్రస్తుత లీకేజ్ లేదా విద్యుదయస్కాంత జోక్యం నుండి సర్క్యూట్ భాగాలను సమర్థవంతంగా వేరుచేస్తాయి మరియు రక్షించగలవు, ఇది పరికరం యొక్క స్థిరత్వం మరియు విశ్వసనీయతను మెరుగుపరచడంలో సహాయపడుతుంది.

5. ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ వాహకత

సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటాయి, పరికరం ద్వారా ఉత్పన్నమయ్యే వేడిని సమర్థవంతంగా నిర్వహించగలవు మరియు వెదజల్లుతాయి, ఇది ఆపరేటింగ్ ప్రక్రియలో పరికరం యొక్క ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించడానికి సహాయపడుతుంది. సెమీకండక్టర్ పరికరాల అధిక-పనితీరు ఆపరేషన్‌కు ఇది కీలకం.

1. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ మరియు ఎచింగ్ ఛాంబర్ భాగాలు

సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ తరచుగా ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఛాంబర్ భాగాలకు ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ మరియు ఎచింగ్ ఛాంబర్ భాగాలుగా ఉపయోగించబడుతుంది ఎందుకంటే వాటి అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వం మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ పొరలు లేదా ఉపరితలాలను పరిష్కరించడానికి మరియు స్థిరీకరించడానికి ఉపయోగిస్తారు, అయితే తినివేయు వాయువులు మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలను తట్టుకోవడానికి ఛాంబర్ భాగాలు చెక్కడం ఉపయోగించబడతాయి.

2. గ్యాస్ పంపిణీ ప్లేట్లు మరియు రిఫ్లెక్టర్లు

గ్యాస్ పంపిణీ పలకలు మరియు రిఫ్లెక్టర్లలో సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీలో సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ కూడా ఉపయోగించబడతాయి. ప్రతిచర్య గదిలోకి రియాక్టివ్ లేదా రక్షిత వాయువులను ఒకే విధంగా పంపిణీ చేయడానికి గ్యాస్ పంపిణీ పలకలను ఉపయోగిస్తారు, అయితే ప్రతిచర్య సామర్థ్యం మరియు ఏకరూపతను మెరుగుపరచడానికి ప్రతిచర్య గదిలో కాంతి పంపిణీ మరియు ప్రతిబింబాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి రిఫ్లెక్టర్లు ఉపయోగించబడతాయి.

3. హోల్డర్లు మరియు థర్మల్ భాగాలు

సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ తరచుగా సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలలో హోల్డర్లు మరియు థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ భాగాలుగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఈ భాగాలు స్థిరమైన పరికరాల ఆపరేషన్ మరియు పరికర ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి మంచి యాంత్రిక బలం, ధరించే నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకత కలిగి ఉండాలి.

4. కెమికల్ మెకానికల్ పాలిషింగ్ (సిఎంపి) ప్యాడ్లు

సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్ రసాయన మెకానికల్ పాలిషింగ్ (సిఎంపి) ప్రక్రియలో ప్యాడ్ పదార్థంగా విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఇది అద్భుతమైన ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంది మరియు సెమీకండక్టర్ పొర ఉపరితలం యొక్క ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి పాలిషింగ్ ప్రక్రియలో స్థిరమైన మద్దతును అందిస్తుంది.