VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ రంగంలో మీ వినూత్న భాగస్వామి. సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ మెటీరియల్ కాంబినేషన్‌లు, కాంపోనెంట్ తయారీ సామర్థ్యాలు మరియు అప్లికేషన్ ఇంజనీరింగ్ సేవల యొక్క మా విస్తృతమైన పోర్ట్‌ఫోలియోతో, ముఖ్యమైన సవాళ్లను అధిగమించడంలో మేము మీకు సహాయం చేయగలము. ఇంజనీరింగ్ టెక్నికల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సెరామిక్స్ వారి అసాధారణమైన మెటీరియల్ పనితీరు కారణంగా సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విస్తృతంగా వర్తించబడుతుంది. VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క అల్ట్రా-ప్యూర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సెరామిక్స్ సెమీకండక్టర్ తయారీ మరియు ప్రాసెసింగ్ యొక్క మొత్తం చక్రంలో తరచుగా ఉపయోగించబడుతుంది.
డిఫ్యూజన్ & LPCVD ప్రాసెసింగ్
VeTek సెమీకండక్టర్ ప్రత్యేకంగా బ్యాచ్ డిఫ్యూజన్ మరియు LPCVD అవసరాల కోసం రూపొందించిన ఇంజనీరింగ్ సిరామిక్స్ భాగాలను అందిస్తుంది:
● అడ్డంకులు & హోల్డర్లు
● ఇంజెక్టర్లు
● లైనర్లు & ప్రాసెస్ ట్యూబ్‌లు
● సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ పాడిల్స్
● పొర పడవలు మరియు పీఠాలు
ETCH ప్రక్రియ భాగాలు
ప్లాస్మా ఎట్చ్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క కఠినత కోసం రూపొందించబడిన అధిక-స్వచ్ఛత భాగాలతో కాలుష్యం మరియు షెడ్యూల్ చేయని నిర్వహణను తగ్గించండి, వీటిలో:
● ఫోకస్ రింగులు
● నాజిల్‌లు
● షీల్డ్స్
● షవర్ హెడ్స్
● విండోస్ / మూతలు
● ఇతర అనుకూల భాగాలు
రాపిడ్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ & ఎపిటాక్షియల్ ప్రాసెస్ కాంపోనెంట్స్
VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో అధిక-ఉష్ణోగ్రత థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్‌ల కోసం రూపొందించబడిన అధునాతన మెటీరియల్ భాగాలను అందిస్తుంది. ఈ అప్లికేషన్లు RTP, Epi ప్రక్రియలు, వ్యాప్తి, ఆక్సీకరణ మరియు ఎనియలింగ్‌ను కలిగి ఉంటాయి. మా సాంకేతిక సిరామిక్స్ థర్మల్ షాక్‌లను తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయి, విశ్వసనీయమైన మరియు స్థిరమైన పనితీరును అందిస్తాయి. VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క భాగాలతో, సెమీకండక్టర్ తయారీదారులు సమర్థవంతమైన మరియు అధిక-నాణ్యత థర్మల్ ప్రాసెసింగ్‌ను సాధించగలరు, ఇది సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి యొక్క మొత్తం విజయానికి దోహదపడుతుంది.
● డిఫ్యూజర్లు
● అవాహకాలు
● ససెప్టర్లు
● ఇతర అనుకూల థర్మల్ భాగాలు
కీ ఫీచర్లు
● అల్ట్రా-అధిక స్వచ్ఛత: SiC కంటెంట్ >99.96%, ఉచిత సిలికాన్ <0.1%, మెటల్ కాలుష్యాన్ని తగ్గించడం.
● అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత పనితీరు: 1600°C (ఆక్సిడైజింగ్) / 1700°C (తగ్గించడం) వరకు పని ఉష్ణోగ్రత.
● వేగవంతమైన ఉష్ణ చక్రాల క్రింద విశ్వసనీయ పనితీరు కోసం సుపీరియర్ థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ మరియు తక్కువ థర్మల్ విస్తరణ.
● అధిక యాంత్రిక బలం (కంప్రెషన్ >600 MPa) మరియు ప్రక్రియ వాయువులు మరియు ప్లాస్మాలకు వ్యతిరేకంగా రసాయన జడత్వం.
● వ్యాప్తి/LPCVD, etch, RTP మరియు ఎపి ప్రక్రియల కోసం సమగ్ర ఉత్పత్తి శ్రేణి — వేఫర్ బోట్‌ల నుండి ఫోకస్ రింగ్‌లు మరియు అనుకూల భాగాల వరకు.
● సుదీర్ఘ సేవా జీవితం మరియు తగ్గిన కణ ఉత్పత్తి, నిర్వహణ ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గించడంలో మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరచడంలో సహాయపడుతుంది.
ఉత్పత్తి లక్షణాలు
రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
| ఆస్తి |
సాధారణ విలువ |
| పని ఉష్ణోగ్రత (°C) |
1600°C (ఆక్సిజన్‌తో), 1700°C (పర్యావరణాన్ని తగ్గించడం) |
| SiC / SiC కంటెంట్ |
> 99.96% |
| Si / ఉచిత Si కంటెంట్ |
< 0.1% |
| బల్క్ డెన్సిటీ |
2.60-2.70 గ్రా/సెం³ |
| స్పష్టమైన సచ్ఛిద్రత |
< 16% |
| కుదింపు బలం |
> 600 MPa |
| కోల్డ్ బెండింగ్ బలం |
80-90 MPa (20°C) |
| హాట్ బెండింగ్ బలం |
90-100 MPa (1400°C) |
| థర్మల్ విస్తరణ @1500°C |
4.70 × 10⁻⁶/°C |
| ఉష్ణ వాహకత @1200°C |
23 W/m·K |
| సాగే మాడ్యులస్ |
240 GPa |
| థర్మల్ షాక్ నిరోధకత |
చాలా బాగుంది |
అప్లికేషన్లు
సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల యొక్క విభిన్న అవసరాలను తీర్చడానికి, VeTek లక్ష్యంగా ఉన్న సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ ఉత్పత్తులను అందిస్తుంది. కింది పట్టిక వాటిని ప్రధాన అప్లికేషన్ ప్రాంతాల ద్వారా వర్గీకరిస్తుంది:
| అప్లికేషన్ ఫీల్డ్ |
సాధారణ ఉత్పత్తులు |
అప్లికేషన్ వివరణ |
| వ్యాప్తి & LPCVD |
SiC పొర పడవలు, కాంటిలివర్ తెడ్డులు, ప్రక్రియ గొట్టాలు, లైనర్లు, ఇంజెక్టర్లు,అడ్డంకులు & హోల్డర్లు
|
బ్యాచ్ డిఫ్యూజన్ మరియు LPCVD ఫర్నేస్‌ల కోసం అధిక-స్వచ్ఛత SiC భాగాలు; 1600-1700 ° C వరకు అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు రసాయన నిరోధకత, తక్కువ కాలుష్యం. |
| ప్లాస్మా ఎట్చ్ ప్రక్రియ |
ఫోకస్ రింగులు, నాజిల్స్, షీల్డ్‌లు, షవర్ హెడ్‌లు, కిటికీలు/మూతలు, కస్టమ్ ఎట్చ్ భాగాలు |
ప్లాస్మా ఎచ్ ఎన్విరాన్మెంట్ల కోసం రూపొందించిన అధిక-స్వచ్ఛత SiC భాగాలు; కణ ఉత్పత్తిని తగ్గించడం మరియు షెడ్యూల్ చేయని నిర్వహణ, ఉన్నతమైన ప్లాస్మా నిరోధకత. |
| RTP / ఎపిటాక్సియల్ / థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ |
ససెప్టర్లు, డిఫ్యూజర్లు, అవాహకాలు, కస్టమ్ థర్మల్ భాగాలు |
RTP, ఎపి, డిఫ్యూజన్, ఆక్సీకరణ మరియు ఎనియలింగ్ కోసం భాగాలు; థర్మల్ షాక్‌లను తట్టుకునేలా మరియు స్థిరమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత పనితీరును అందించడానికి రూపొందించబడింది. |
| SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ (PVT) |
అధిక స్వచ్ఛత SiC పొడి,7N CVD SiC ముడి పదార్థం, సీడ్ బాండింగ్ సంబంధిత భాగాలు |
PVT SiC సింగిల్ క్రిస్టల్ వృద్ధికి అల్ట్రా-ప్యూర్ SiC మూల పదార్థాలు మరియు సహాయక భాగాలు, దిగుబడి మరియు క్రిస్టల్ నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తాయి. |
| వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ & క్యారియర్లు |
నిలువు/క్షితిజ సమాంతర SiC పొర పడవలు, సిలికాన్ క్యాసెట్ పడవలు, పీఠాలు, ముద్ర వలయాలు
|
అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ సమయంలో థర్మల్ ఏకరూపత, యాంత్రిక స్థిరత్వం మరియు కనిష్ట కాలుష్యాన్ని అందించే ఖచ్చితమైన క్యారియర్లు మరియు సీలింగ్ భాగాలు. |
మరింత వివరణాత్మక ప్రక్రియ సరిపోలిక పరిష్కారాల కోసం, దయచేసి చూడండిఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి ఫర్నేస్సంబంధిత పేజీలు.
చైనాలో ప్రొఫెషనల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత ఫ్యాక్టరీ ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేయబడిన అధునాతన మరియు మన్నికైన సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్‌లను కొనుగోలు చేయాలనుకుంటున్నారా, మీరు చేయవచ్చుమాకు సందేశం పంపండి.
