ఉత్పత్తులు

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్

VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ రంగంలో మీ వినూత్న భాగస్వామి. సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ మెటీరియల్ కాంబినేషన్‌లు, కాంపోనెంట్ తయారీ సామర్థ్యాలు మరియు అప్లికేషన్ ఇంజనీరింగ్ సేవల యొక్క మా విస్తృతమైన పోర్ట్‌ఫోలియోతో, ముఖ్యమైన సవాళ్లను అధిగమించడంలో మేము మీకు సహాయం చేస్తాము. ఇంజనీరింగ్ టెక్నికల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సెరామిక్స్ అసాధారణమైన మెటీరియల్ పనితీరు కారణంగా సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విస్తృతంగా వర్తించబడుతుంది. VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క అల్ట్రా-ప్యూర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సెరామిక్స్ సెమీకండక్టర్ తయారీ మరియు ప్రాసెసింగ్ యొక్క మొత్తం చక్రంలో తరచుగా ఉపయోగించబడుతుంది.


డిఫ్యూజన్ & LPCVD ప్రాసెసింగ్

VeTek సెమీకండక్టర్ ప్రత్యేకంగా బ్యాచ్ డిఫ్యూజన్ మరియు LPCVD అవసరాల కోసం రూపొందించిన ఇంజనీరింగ్ సిరామిక్స్ భాగాలను అందిస్తుంది:

• అడ్డంకులు & హోల్డర్లు
• ఇంజెక్టర్లు
• లైనర్లు & ప్రాసెస్ ట్యూబ్‌లు
• సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ తెడ్డులు
• పొర పడవలు మరియు పీఠాలు


Silicon Carbide Cantilever Paddle SiC కాంటిలివర్ తెడ్డు SiC Process Tube SiC ప్రాసెస్ ట్యూబ్‌లు SiC Diffusion Furnace Tube సిలికాన్ కార్బైడ్ ప్రాసెస్ ట్యూబ్ Silicon Carbide wafer Carrier SiC నిలువు పొర పడవ High purity SiC wafer boat carrier SiC క్షితిజ సమాంతర పొర పడవ SiC Wafer Boat SiC హారిజాంటల్స్ క్వేర్ వేఫర్ బోట్ SiC Wafer Boat SiC LPCVD పొర పడవ Silicon Carbide Wafer Boat for Horizontal Furnace SiC క్షితిజ సమాంతర ప్లేట్ పడవ SiC Ceramic Seal Ring SiC సిరామిక్ సీల్ రింగ్


ETCH ప్రక్రియ భాగాలు

ప్లాస్మా ఎట్చ్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క కఠినత కోసం ఇంజనీరింగ్ చేయబడిన అధిక-స్వచ్ఛత భాగాలతో కాలుష్యం మరియు షెడ్యూల్ చేయని నిర్వహణను తగ్గించండి, వీటిలో:

ఫోకస్ రింగులు

నాజిల్స్

షీల్డ్స్

షవర్ హెడ్స్

విండోస్ / మూతలు

ఇతర అనుకూల భాగాలు


రాపిడ్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ & ఎపిటాక్షియల్ ప్రాసెస్ కాంపోనెంట్స్

VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో అధిక-ఉష్ణోగ్రత థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్‌ల కోసం రూపొందించబడిన అధునాతన మెటీరియల్ భాగాలను అందిస్తుంది. ఈ అప్లికేషన్‌లు RTP, Epi ప్రక్రియలు, వ్యాప్తి, ఆక్సీకరణ మరియు ఎనియలింగ్‌ను కలిగి ఉంటాయి. మా సాంకేతిక సిరమిక్స్ థర్మల్ షాక్‌లను తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయి, విశ్వసనీయమైన మరియు స్థిరమైన పనితీరును అందిస్తాయి. VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క భాగాలతో, సెమీకండక్టర్ తయారీదారులు సమర్థవంతమైన మరియు అధిక-నాణ్యత థర్మల్ ప్రాసెసింగ్‌ను సాధించగలరు, ఇది సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి యొక్క మొత్తం విజయానికి దోహదపడుతుంది.

• డిఫ్యూజర్‌లు

• అవాహకాలు

• ససెప్టర్లు

• ఇతర కస్టమ్ థర్మల్ భాగాలు


రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి సాధారణ విలువ
పని ఉష్ణోగ్రత (°C) 1600°C (ఆక్సిజన్‌తో), 1700°C (పర్యావరణాన్ని తగ్గించడం)
SiC / SiC కంటెంట్ > 99.96%
Si / ఉచిత Si కంటెంట్ < 0.1%
బల్క్ డెన్సిటీ 2.60-2.70 గ్రా/సెం3
స్పష్టమైన సచ్ఛిద్రత < 16%
కుదింపు బలం > 600 MPa
కోల్డ్ బెండింగ్ బలం 80-90 MPa (20°C)
హాట్ బెండింగ్ బలం 90-100 MPa (1400°C)
థర్మల్ విస్తరణ @1500°C 4.70 10-6/°C
ఉష్ణ వాహకత @1200°C 23  W/m•K
సాగే మాడ్యులస్ 240 GPa
థర్మల్ షాక్ నిరోధకత చాలా బాగుంది


ఉత్పత్తులు
View as  
 
సిలికాన్ కార్బైడ్ సీడ్ క్రిస్టల్ బాండింగ్ వాక్యూమ్ హాట్-ప్రెస్ ఫర్నేస్

సిలికాన్ కార్బైడ్ సీడ్ క్రిస్టల్ బాండింగ్ వాక్యూమ్ హాట్-ప్రెస్ ఫర్నేస్

SiC సీడ్ బాండింగ్ టెక్నాలజీ అనేది క్రిస్టల్ పెరుగుదలను ప్రభావితం చేసే కీలక ప్రక్రియలలో ఒకటి.VETEK ఈ ప్రక్రియ యొక్క లక్షణాల ఆధారంగా సీడ్ బాండింగ్ కోసం ప్రత్యేకమైన వాక్యూమ్ హాట్-ప్రెస్ ఫర్నేస్‌ను అభివృద్ధి చేసింది. కొలిమి విత్తన బంధ ప్రక్రియలో ఉత్పన్నమయ్యే వివిధ లోపాలను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది, తద్వారా క్రిస్టల్ కడ్డీ యొక్క దిగుబడి మరియు తుది నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.
సిలికాన్ క్యాసెట్ బోట్

సిలికాన్ క్యాసెట్ బోట్

Veteksemicon నుండి సిలికాన్ క్యాసెట్ బోట్ అనేది ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, డ్రైవ్-ఇన్ మరియు ఎనియలింగ్‌తో సహా అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ఫర్నేస్ అప్లికేషన్‌ల కోసం ప్రత్యేకంగా అభివృద్ధి చేయబడిన ఒక ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్ పొర క్యారియర్. అల్ట్రా-హై-ప్యూరిటీ సిలికాన్ నుండి తయారు చేయబడింది మరియు అధునాతన కాలుష్య-నియంత్రణ ప్రమాణాలకు పూర్తి చేయబడింది, ఇది సిలికాన్ పొరల లక్షణాలకు దగ్గరగా సరిపోయే ఉష్ణ స్థిరమైన, రసాయనికంగా జడ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ను అందిస్తుంది. ఈ అమరిక థర్మల్ ఒత్తిడిని తగ్గిస్తుంది, స్లిప్ మరియు డిఫెక్ట్ ఏర్పడటాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు బ్యాచ్ అంతటా అనూహ్యంగా ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది
వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ పాడిల్

వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ పాడిల్

Veteksemicon నుండి సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ పాడిల్ సెమీకండక్టర్ తయారీలో అధునాతన పొర ప్రాసెసింగ్ కోసం రూపొందించబడింది. అధిక-స్వచ్ఛత SiCతో తయారు చేయబడింది, ఇది అత్యుత్తమ ఉష్ణ స్థిరత్వం, ఉన్నతమైన మెకానికల్ బలం మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు తినివేయు వాతావరణాలకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది. ఈ లక్షణాలు ఖచ్చితమైన పొర నిర్వహణ, పొడిగించిన సేవా జీవితం మరియు MOCVD, ఎపిటాక్సీ మరియు వ్యాప్తి వంటి ప్రక్రియలలో విశ్వసనీయ పనితీరును నిర్ధారిస్తాయి. సంప్రదించడానికి స్వాగతం.
సిలికాన్ కార్బ్డ్ రోబోట్ రోబోట్

సిలికాన్ కార్బ్డ్ రోబోట్ రోబోట్

మా సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) రోబోటిక్ ఆర్మ్ అధునాతన సెమీకండక్టర్ తయారీలో అధిక-పనితీరు గల పొర నిర్వహణ కోసం రూపొందించబడింది. అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో తయారు చేయబడిన ఈ రోబోటిక్ చేయి అధిక ఉష్ణోగ్రతలు, ప్లాస్మా తుప్పు మరియు రసాయన దాడికి అసాధారణమైన నిరోధకతను అందిస్తుంది, క్లీన్‌రూమ్ వాతావరణాలను డిమాండ్ చేయడంలో నమ్మకమైన ఆపరేషన్ను నిర్ధారిస్తుంది. దాని అసాధారణమైన యాంత్రిక బలం మరియు డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ కాలుష్యం నష్టాలను తగ్గించేటప్పుడు ఖచ్చితమైన పొర నిర్వహణను ప్రారంభిస్తాయి, ఇది MOCVD, ఎపిటాక్సీ, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు ఇతర క్లిష్టమైన పొర నిర్వహణ అనువర్తనాలకు అనువైన ఎంపికగా మారుతుంది. మేము మీ విచారణలను స్వాగతిస్తున్నాము.
సిలికాన్ కార్బైడ్ సిక్ పొర

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిక్ పొర

సెమీకండక్టర్ తయారీలో వెటెక్సెమికన్ సిక్ పొర పడవలు క్లిష్టమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, సిలికాన్-ఆధారిత ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ల కోసం ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి మరియు ఎనియలింగ్ ప్రక్రియలకు నమ్మదగిన క్యారియర్‌లుగా పనిచేస్తాయి. వారు మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ రంగంలో కూడా రాణించారు, SIC మరియు GAN పవర్ పరికరాల కోసం ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ (EPI) మరియు మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) వంటి డిమాండ్ ప్రక్రియలకు ఖచ్చితంగా సరిపోతుంది. ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమలో అధిక-సామర్థ్య సౌర ఘటాల అధిక-ఉష్ణోగ్రత కల్పనకు ఇవి మద్దతు ఇస్తాయి. మీ తదుపరి సంప్రదింపుల కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.
Sic కాంటిలివర్ తెడ్డు

Sic కాంటిలివర్ తెడ్డు

వెటెక్సెమికన్ సిక్ కాంటిలివర్ ప్యాడిల్స్ అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ సపోర్ట్ ఆర్మ్స్, ఇది క్షితిజ సమాంతర వ్యాప్తి ఫర్నేసులు మరియు ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్లలో పొర నిర్వహణ కోసం రూపొందించబడింది. అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు యాంత్రిక బలంతో, ఈ తెడ్డులు సెమీకండక్టర్ పరిసరాలలో డిమాండ్ చేయడంలో స్థిరత్వం మరియు శుభ్రతను నిర్ధారిస్తాయి. కస్టమ్ పరిమాణాలలో లభిస్తుంది మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితం కోసం ఆప్టిమైజ్ చేయబడింది.
చైనాలో ప్రొఫెషనల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత కర్మాగారం ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేసిన అధునాతన మరియు మన్నికైన {77 by కొనాలనుకుంటున్నారా, మీరు మాకు సందేశాన్ని పంపవచ్చు.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept