ఉత్పత్తులు

Aixtron G10-SiC ప్లాట్‌ఫారమ్ కోసం VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క సాలిడ్ SiC ఉపకరణాలు అధిక-స్వచ్ఛత, పూర్తిగా దట్టమైన సిలికాన్ కార్బైడ్ భాగాలు SiC ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల యొక్క డిమాండ్ ఉన్న ఉష్ణ మరియు రసాయన వాతావరణం కోసం రూపొందించబడ్డాయి. ఈ భాగాలు అత్యద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం, రసాయన నిరోధకత మరియు అల్ట్రా-తక్కువ కణ ఉత్పత్తిని అందజేస్తాయి, పవర్ డివైజ్ తయారీలో ఉపయోగించే అధిక-నిర్గమాంశ 9×150 mm / 6×200 mm ప్లానెటరీ రియాక్టర్ కాన్ఫిగరేషన్‌కు మద్దతు ఇస్తుంది.

CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ విడిభాగాల కోసం VETEK ప్రొఫెషనల్ క్లీనింగ్ సర్వీస్ అనేది Aixtron / Veeco MOCVD పరికరాల ససెప్టర్లు మరియు GaN / AlN / AlGaN ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే గ్రాఫైట్ భాగాల కోసం రూపొందించబడిన ప్రత్యేక సాంకేతిక సేవ. మా యాజమాన్య శుభ్రపరిచే ప్రక్రియ ఉపరితల మెమరీ ప్రభావాన్ని పూర్తిగా తొలగిస్తుంది, రియాక్టర్‌లో స్థిరమైన గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని పునరుద్ధరిస్తుంది మరియు సంపూర్ణ సున్నా మందం నష్టం మరియు సున్నా మెటల్ అవశేషాలతో 100 µm CVD SiC పూతను ఖచ్చితంగా రక్షిస్తుంది.

వేఫర్ క్యారియర్ కోసం VETEK CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల పొర మద్దతు భాగం. ఉత్పత్తి అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌ను సబ్‌స్ట్రేట్‌గా ఉపయోగిస్తుంది మరియు ఏకరీతి CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పొరతో పూత పూయబడి, అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, రసాయన నిరోధకత మరియు కణ నియంత్రణను అందిస్తుంది. క్లిష్టమైన గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ కాంపోనెంట్‌గా, ఇది రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోని పొరలకు నేరుగా మద్దతు ఇస్తుంది మరియు ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు స్థిరమైన ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల పరిస్థితులను నిర్వహించడానికి సహాయపడుతుంది.

VeTek సెమీకండక్టర్ అధిక-దిగుబడి SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ (PVT ప్రక్రియ), సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్ ఉత్పత్తి మరియు అధునాతన ఫంక్షనల్ సిరామిక్స్ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన ప్రీమియం-గ్రేడ్ హై ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పౌడర్‌ను అందిస్తుంది. అల్ట్రా-క్లీన్ ప్యూరిఫికేషన్ టెక్నాలజీ ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడిన, మా అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC ముడి పదార్థం అనూహ్యంగా తక్కువ ట్రేస్ మెటల్ స్థాయిలు, పునరుత్పాదక సబ్లిమేషన్ పనితీరు మరియు కఠినమైన సెమీకండక్టర్ తయారీ అవసరాలను తీర్చడానికి అత్యంత స్థిరమైన బ్యాచ్-టు-బ్యాచ్ నాణ్యతను అందిస్తుంది.

TEL సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం VETEK హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ వేఫర్ బోట్ సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ క్వార్ట్జ్ మెటీరియల్ నుండి తయారు చేయబడింది మరియు వ్యాప్తి, ఆక్సీకరణ, ఎనియలింగ్ మరియు CVD వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో పొర నిర్వహణ కోసం రూపొందించబడింది. అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, రసాయన నిరోధకత మరియు తక్కువ కాలుష్య లక్షణాలతో, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ అనువర్తనాలకు నమ్మకమైన పొర మద్దతును అందిస్తుంది.

VETEK పోరస్ TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ రింగ్ అనేది PVT (భౌతిక ఆవిరి రవాణా) ప్రక్రియ ద్వారా SiC సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం రూపొందించబడిన థర్మల్ ఫీల్డ్ భాగం. ఇది అధిక స్వచ్ఛత పోరస్ గ్రాఫైట్ నుండి ఉత్పత్తి చేయబడుతుంది మరియు CVD సాంకేతికతను ఉపయోగించి టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC)తో పూత పూయబడింది. డిజైన్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం, రసాయన స్థితిస్థాపకత మరియు నియంత్రిత థర్మల్ ఫీల్డ్ పనితీరును లక్ష్యంగా చేసుకుంటుంది. కాలుష్యాన్ని తగ్గించడం ద్వారా మరియు ప్రక్రియ అనుగుణ్యతకు మద్దతు ఇవ్వడం ద్వారా, ఈ భాగం పునరుత్పాదక SiC క్రిస్టల్ వృద్ధి ఫలితాలకు దోహదం చేస్తుంది.