ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు

ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్

VeTek సెమీకండక్టర్ సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ అనేది ప్లాస్మా ఎచింగ్ పరికరాలలో ఒక ముఖ్యమైన సిరామిక్ భాగం, ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్(CVD సిలికాన్ కార్బైడ్) చెక్కే పరికరాలలో భాగాలు ఉన్నాయిఫోకస్ రింగ్స్, గ్యాస్ షవర్ హెడ్, ట్రే, ఎడ్జ్ రింగులు, మొదలైనవి భాగాలు.


ఉదాహరణకు, ఫోకస్ రింగ్ అనేది పొర వెలుపల మరియు పొరతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలో ఉంచబడిన ఒక ముఖ్యమైన భాగం, రింగ్ గుండా వెళుతున్న ప్లాస్మాను ఫోకస్ చేయడానికి రింగ్‌కు వోల్టేజ్‌ని వర్తింపజేయడం ద్వారా, తద్వారా ప్లాస్మాను పొరపై కేంద్రీకరించడం ద్వారా ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది. ప్రాసెసింగ్. సాంప్రదాయ ఫోకస్ రింగ్ సిలికాన్ లేదా తయారు చేయబడిందిక్వార్ట్జ్, ఒక సాధారణ ఫోకస్ రింగ్ మెటీరియల్‌గా వాహక సిలికాన్, ఇది సిలికాన్ పొరల యొక్క వాహకతకు దాదాపు దగ్గరగా ఉంటుంది, అయితే కొరత ఫ్లోరిన్-కలిగిన ప్లాస్మాలో పేలవమైన ఎచింగ్ రెసిస్టెన్స్, ఎచింగ్ మెషిన్ పార్ట్స్ మెటీరియల్‌లను తరచుగా కొంత కాలం పాటు ఉపయోగిస్తారు, తీవ్రమైన ఉంటుంది. తుప్పు దృగ్విషయం, దాని ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని తీవ్రంగా తగ్గిస్తుంది.


Sఒలిడ్ SiC ఫోకస్ రింగ్పని సూత్రం

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


మరియు ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SiC ఫోకస్ రింగ్ పోలిక:

మరియు ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SiC ఫోకస్ రింగ్ పోలిక
అంశం మరియు CVD SiC
సాంద్రత (గ్రా/సెం3) 2.33 3.21
బ్యాండ్ గ్యాప్ (eV) 1.12 2.3
ఉష్ణ వాహకత (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
సాగే మాడ్యులస్ (GPa) 150 440
కాఠిన్యం (GPa) 11.4 24.5
ధరించడానికి మరియు తుప్పుకు నిరోధకత పేద అద్భుతమైన


VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం SiC ఫోకస్ చేసే రింగుల వంటి అధునాతన ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ (CVD సిలికాన్ కార్బైడ్) భాగాలను అందిస్తుంది. మా ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్‌లు యాంత్రిక బలం, రసాయన నిరోధకత, ఉష్ణ వాహకత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత మన్నిక మరియు అయాన్ ఎచింగ్ నిరోధకత పరంగా సాంప్రదాయ సిలికాన్‌ను అధిగమిస్తాయి.


మా SiC ఫోకస్ రింగ్‌ల యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు ఉన్నాయి:

తగ్గిన ఎచింగ్ రేట్ల కోసం అధిక సాంద్రత.

అధిక బ్యాండ్‌గ్యాప్‌తో అద్భుతమైన ఇన్సులేషన్.

అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం.

సుపీరియర్ మెకానికల్ ప్రభావ నిరోధకత మరియు స్థితిస్థాపకత.

అధిక కాఠిన్యం, దుస్తులు నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత.

ఉపయోగించి తయారు చేస్తారుప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (PECVD)పద్ధతులు, మా SiC ఫోకస్ రింగ్‌లు సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఎచింగ్ ప్రక్రియల పెరుగుతున్న డిమాండ్‌లను తీరుస్తాయి. అవి అధిక ప్లాస్మా శక్తి మరియు శక్తిని తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయికెపాసిటివ్ కపుల్డ్ ప్లాస్మా (CCP)వ్యవస్థలు.

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క SiC ఫోకస్ రింగ్‌లు సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీలో అసాధారణమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతను అందిస్తాయి. అత్యుత్తమ నాణ్యత మరియు సామర్థ్యం కోసం మా SiC భాగాలను ఎంచుకోండి.


View as  
 
అధిక స్వచ్ఛత

అధిక స్వచ్ఛత

సివిడి తయారుచేసిన అధిక స్వచ్ఛత సివిడి సిక్ ముడి పదార్థం భౌతిక ఆవిరి రవాణా ద్వారా సిలికాన్ కార్బైడ్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉత్తమమైన మూలం. వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సరఫరా చేసే అధిక స్వచ్ఛత సివిడి సిక్ ముడి పదార్థం యొక్క సాంద్రత SI మరియు సి-కలిగిన వాయువుల ఆకస్మిక దహన ద్వారా ఏర్పడిన చిన్న కణాల కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు దీనికి ప్రత్యేకమైన సింటరింగ్ కొలిమి అవసరం లేదు మరియు దాదాపు స్థిరమైన బాష్పీభవన రేటును కలిగి ఉంటుంది. ఇది చాలా అధిక నాణ్యత గల SIC సింగిల్ స్ఫటికాలను పెంచుతుంది. మీ విచారణ కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.
ఘన SiC పొర క్యారియర్

ఘన SiC పొర క్యారియర్

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క ఘన SiC పొర క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పు నిరోధక వాతావరణాల కోసం రూపొందించబడింది మరియు అధిక స్వచ్ఛత అవసరాలతో అన్ని రకాల పొర తయారీ ప్రక్రియలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది చైనాలో ప్రముఖ వేఫర్ క్యారియర్ సరఫరాదారు మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి ఎదురుచూస్తోంది.
సాలిడ్ సిక్ డిస్క్ ఆకారపు షవర్ హెడ్

సాలిడ్ సిక్ డిస్క్ ఆకారపు షవర్ హెడ్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ చైనాలో ప్రముఖ సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీదారు మరియు ఘన SIC డిస్క్ ఆకారపు షవర్ హెడ్ యొక్క ప్రొఫెషనల్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు. మా డిస్క్ షేప్ షవర్ హెడ్ సివిడి ప్రాసెస్ వంటి సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ నిర్మాణంలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది ప్రతిచర్య వాయువు యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారించడానికి మరియు సివిడి కొలిమి యొక్క ప్రధాన భాగాలలో ఒకటి.
Sic సీలింగ్ భాగం

Sic సీలింగ్ భాగం

చైనాలో అధునాతన SIC సీలింగ్ పార్ట్ ప్రొడక్ట్ తయారీదారు మరియు ఫ్యాక్టరీగా. వెటెక్ సెమీకండక్టో SIC సీలింగ్ భాగం సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఇతర తీవ్ర అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడన ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించే అధిక-పనితీరు గల సీలింగ్ భాగం. మీ తదుపరి సంప్రదింపులను స్వాగతించండి.
సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్

సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్

సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్ అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత సహనం, రసాయన స్థిరత్వం, ఉష్ణ వాహకత మరియు మంచి గ్యాస్ పంపిణీ పనితీరును కలిగి ఉంది, ఇది ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీని సాధించగలదు మరియు చలనచిత్ర నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది. అందువల్ల, ఇది సాధారణంగా రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) లేదా భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (పివిడి) ప్రక్రియలు వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడుతుంది. వెటెక్ సెమీకండక్టర్, మీ తదుపరి సంప్రదింపులను మాకు స్వాగతించండి.
సిలికాన్ కార్బోడ్ సీల్ రింగ్

సిలికాన్ కార్బోడ్ సీల్ రింగ్

చైనాలో ప్రొఫెషనల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సీల్ రింగ్ ఉత్పత్తి తయారీదారు మరియు ఫ్యాక్టరీగా, వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సీల్ రింగ్ దాని అద్భుతమైన ఉష్ణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, యాంత్రిక బలం మరియు ఉష్ణ వాహకత కారణంగా సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. సివిడి, పివిడి మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్ వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రియాక్టివ్ వాయువులతో కూడిన ప్రక్రియలకు ఇది ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా ఉంటుంది మరియు ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో కీలక పదార్థ ఎంపిక. మీ తదుపరి విచారణలు స్వాగతం.
చైనాలో ప్రొఫెషనల్ ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత కర్మాగారం ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేసిన అధునాతన మరియు మన్నికైన {77 by కొనాలనుకుంటున్నారా, మీరు మాకు సందేశాన్ని పంపవచ్చు.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept