ఐక్స్ట్రాన్ శాటిలైట్ పొర క్యారియర్

ఐక్స్ట్రాన్ శాటిలైట్ పొర క్యారియర్ ఐక్స్ట్రాన్ MOCVD పరికరాలలో అంతర్భాగం, ఇది ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల కోసం పొరలను తీసుకెళ్లడానికి ప్రత్యేకంగా ఉపయోగిస్తారు. ఇది ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా ఉంటుందిఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలGAN మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) పరికరాల ప్రక్రియ. దీని ప్రత్యేకమైన "ఉపగ్రహ" రూపకల్పన గ్యాస్ ప్రవాహం యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారించడమే కాక, పొర ఉపరితలంపై ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ యొక్క ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది.

ఐక్స్ట్రాన్పొర క్యారియర్లుసాధారణంగా తయారు చేస్తారుసిలికన్ బొబ్బలేదా CVD- పూత గ్రాఫైట్. వాటిలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) లో అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత, అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం ఉన్నాయి. సివిడి కోటెడ్ గ్రాఫైట్ అనేది కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) ప్రక్రియ ద్వారా సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫిల్మ్‌తో గ్రాఫైట్ పూత, ఇది దాని తుప్పు నిరోధకత మరియు యాంత్రిక బలాన్ని పెంచుతుంది. SIC మరియు పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ పదార్థాలు 1,400 ° C -1,600 ° C వరకు ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకోగలవు మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటాయి, ఇది ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధి ప్రక్రియకు కీలకం.

ఐక్స్ట్రాన్ శాటిలైట్ పొర క్యారియర్ ప్రధానంగా పొరలను తీసుకువెళ్ళడానికి మరియు తిప్పడానికి ఉపయోగిస్తారుMOCVD ప్రక్రియఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో ఏకరీతి వాయువు ప్రవాహం మరియు ఏకరీతి నిక్షేపణను నిర్ధారించడానికి.నిర్దిష్ట విధులు క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:

● పొర భ్రమణం మరియు ఏకరీతి నిక్షేపణ.

Temperature అధిక ఉష్ణోగ్రత బేరింగ్ మరియు స్థిరత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ లేదా పూత గ్రాఫైట్ పదార్థాలు 1,400 ° C - 1,600 ° C వరకు ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలవు. ఈ లక్షణం అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో పొరలు వైకల్యం చెందవని నిర్ధారిస్తుంది, అదే సమయంలో క్యారియర్ యొక్క ఉష్ణ విస్తరణ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియను ప్రభావితం చేయకుండా నిరోధిస్తుంది.

కణాల ఉత్పత్తి తగ్గినది.

వెటెక్సెమాన్ యొక్క ఐక్స్ట్రాన్ శాటిలైట్ పొర క్యారియర్ 100 మిమీ, 150 మిమీ, 200 మిమీ మరియు ఇంకా పెద్ద పొర పరిమాణాలలో లభిస్తుంది మరియు మీ పరికరాలు మరియు ప్రక్రియ అవసరాల ఆధారంగా అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తి సేవలను అందించగలదు. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావాలని మేము హృదయపూర్వకంగా ఆశిస్తున్నాము.

CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్ యొక్క SEM డేటా：

ఐక్స్ట్రాన్ శాటిలైట్ పొర క్యారియర్ ఉత్పత్తి షాపులు: