ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు

ఆక్సీకరణ మరియు ఆక్సీకరణ కొలిమి

సెమీకండక్టర్ పరికరాలు, వివిక్త పరికరాలు, ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు, పవర్ ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు, సౌర ఘటాలు మరియు పెద్ద-స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీ వంటి వివిధ రంగాలలో ఆక్సీకరణ మరియు విస్తరణ ఫర్నేసులు ఉపయోగించబడతాయి. వైఫర్ల యొక్క విస్తరణ, ఆక్సీకరణ, ఎనియలింగ్, మిశ్రమం మరియు సింటరింగ్ వంటి ప్రక్రియల కోసం ఇవి ఉపయోగించబడతాయి.


వెటెక్ సెమీకండక్టర్ ఆక్సీకరణ మరియు విస్తరణ ఫర్నేసులలో హై-ప్యూరిటీ గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్ మరియు క్వార్ట్జ్ భాగాల ఉత్పత్తిలో ప్రత్యేకత కలిగిన ప్రముఖ తయారీదారు. సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమల కోసం అధిక-నాణ్యత కొలిమి భాగాలను అందించడానికి మేము కట్టుబడి ఉన్నాము మరియు సివిడి-సిఐసి, సివిడి-టాక్, పైరోకార్బన్ మొదలైన ఉపరితల పూత సాంకేతిక పరిజ్ఞానంలో ముందంజలో ఉన్నాము.


వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ భాగాల ప్రయోజనాలు:

Temperature అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత (1600 వరకు)

● అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం

రసాయన తుప్పు నిరోధకత

The ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం

బలం మరియు కాఠిన్యం

Service సుదీర్ఘ సేవా జీవితం


ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి కొలిమిలలో, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాయువుల ఉనికి కారణంగా, అనేక భాగాలకు అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పు-నిరోధక పదార్థాల వాడకం అవసరం, వీటిలో సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) సాధారణంగా ఉపయోగించే ఎంపిక. కిందివి ఆక్సీకరణ ఫర్నేసులు మరియు వ్యాప్తి కొలిమిలలో కనిపించే సాధారణ సిలికాన్ కార్బైడ్ భాగాలు:



● పొర పడవ

సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర పడవ అనేది సిలికాన్ పొరలను తీసుకెళ్లడానికి ఉపయోగించే కంటైనర్, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకోగలదు మరియు సిలికాన్ పొరలతో స్పందించదు.


● ఫర్నేస్ ట్యూబ్

ఫర్నేస్ ట్యూబ్ అనేది విస్తరణ కొలిమి యొక్క ప్రధాన భాగం, ఇది సిలికాన్ పొరలను ఉంచడానికి మరియు ప్రతిచర్య వాతావరణాన్ని నియంత్రించడానికి ఉపయోగిస్తారు. సిలికాన్ కార్బైడ్ కొలిమి గొట్టాలు అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పు నిరోధక పనితీరును కలిగి ఉంటాయి.


Baff బఫిల్ ప్లేట్

కొలిమి లోపల వాయు ప్రవాహం మరియు ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నియంత్రించడానికి ఉపయోగిస్తారు


థర్మోకపుల్ ప్రొటెక్షన్ ట్యూబ్

తినివేయు వాయువులతో ప్రత్యక్ష సంబంధం నుండి ఉష్ణోగ్రత కొలిచే థర్మోకపుల్స్ రక్షించడానికి ఉపయోగిస్తారు.


● కాంటిలివర్ పాడిల్

సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ తెడ్డులు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పుకు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి మరియు సిలికాన్ బోట్లు లేదా క్వార్ట్జ్ పడవలను సిలికాన్ పొరలను విస్తరించిన కొలిమి గొట్టాలలోకి రవాణా చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.


గ్యాస్ ఇంజెక్టర్

కొలిమిలోకి ప్రతిచర్య వాయువును పరిచయం చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పుకు నిరోధకతను కలిగి ఉండాలి.


● బోట్ క్యారియర్

సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర బోట్ క్యారియర్ సిలికాన్ పొరలను పరిష్కరించడానికి మరియు మద్దతు ఇవ్వడానికి ఉపయోగించబడుతుంది, ఇవి అధిక బలం, తుప్పు నిరోధకత మరియు మంచి నిర్మాణ స్థిరత్వం వంటి ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంటాయి.


● కొలిమి తలుపు

కొలిమి తలుపు లోపలి భాగంలో సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు లేదా భాగాలు కూడా ఉపయోగించవచ్చు.


తాపన మూలకం

సిలికాన్ కార్బైడ్ తాపన అంశాలు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు, అధిక శక్తికి అనుకూలంగా ఉంటాయి మరియు ఉష్ణోగ్రతను త్వరగా 1000 కు పెంచగలవు.


Sic sic లైనర్

కొలిమి గొట్టాల లోపలి గోడను రక్షించడానికి ఉపయోగిస్తారు, ఇది ఉష్ణ శక్తి కోల్పోవడాన్ని తగ్గించడానికి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడనం వంటి కఠినమైన వాతావరణాలను తట్టుకోవడానికి సహాయపడుతుంది.

View as  
 
సిలికాన్ కార్బ్డ్ రోబోట్ రోబోట్

సిలికాన్ కార్బ్డ్ రోబోట్ రోబోట్

మా సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) రోబోటిక్ ఆర్మ్ అధునాతన సెమీకండక్టర్ తయారీలో అధిక-పనితీరు గల పొర నిర్వహణ కోసం రూపొందించబడింది. అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో తయారు చేయబడిన ఈ రోబోటిక్ చేయి అధిక ఉష్ణోగ్రతలు, ప్లాస్మా తుప్పు మరియు రసాయన దాడికి అసాధారణమైన నిరోధకతను అందిస్తుంది, క్లీన్‌రూమ్ వాతావరణాలను డిమాండ్ చేయడంలో నమ్మకమైన ఆపరేషన్ను నిర్ధారిస్తుంది. దాని అసాధారణమైన యాంత్రిక బలం మరియు డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ కాలుష్యం నష్టాలను తగ్గించేటప్పుడు ఖచ్చితమైన పొర నిర్వహణను ప్రారంభిస్తాయి, ఇది MOCVD, ఎపిటాక్సీ, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు ఇతర క్లిష్టమైన పొర నిర్వహణ అనువర్తనాలకు అనువైన ఎంపికగా మారుతుంది. మేము మీ విచారణలను స్వాగతిస్తున్నాము.
సిలికాన్ కార్బైడ్ సిక్ పొర

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిక్ పొర

సెమీకండక్టర్ తయారీలో వెటెక్సెమికన్ సిక్ పొర పడవలు క్లిష్టమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, సిలికాన్-ఆధారిత ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ల కోసం ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి మరియు ఎనియలింగ్ ప్రక్రియలకు నమ్మదగిన క్యారియర్‌లుగా పనిచేస్తాయి. వారు మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ రంగంలో కూడా రాణించారు, SIC మరియు GAN పవర్ పరికరాల కోసం ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ (EPI) మరియు మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) వంటి డిమాండ్ ప్రక్రియలకు ఖచ్చితంగా సరిపోతుంది. ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమలో అధిక-సామర్థ్య సౌర ఘటాల అధిక-ఉష్ణోగ్రత కల్పనకు ఇవి మద్దతు ఇస్తాయి. మీ తదుపరి సంప్రదింపుల కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.
Sic కాంటిలివర్ తెడ్డు

Sic కాంటిలివర్ తెడ్డు

వెటెక్సెమికన్ సిక్ కాంటిలివర్ ప్యాడిల్స్ అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ సపోర్ట్ ఆర్మ్స్, ఇది క్షితిజ సమాంతర వ్యాప్తి ఫర్నేసులు మరియు ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్లలో పొర నిర్వహణ కోసం రూపొందించబడింది. అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు యాంత్రిక బలంతో, ఈ తెడ్డులు సెమీకండక్టర్ పరిసరాలలో డిమాండ్ చేయడంలో స్థిరత్వం మరియు శుభ్రతను నిర్ధారిస్తాయి. కస్టమ్ పరిమాణాలలో లభిస్తుంది మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితం కోసం ఆప్టిమైజ్ చేయబడింది.
Sic సిరామిక్స్ పొర

Sic సిరామిక్స్ పొర

వెటెక్సెమికన్ SIC సిరామిక్స్ పొరలు ఒక రకమైన అకర్బన పొర మరియు పొర విభజన సాంకేతిక పరిజ్ఞానంలో ఘన పొర పదార్థాలకు చెందినవి. SIC పొరలను 2000 above కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద కాల్చారు. కణాల ఉపరితలం మృదువైన మరియు గుండ్రంగా ఉంటుంది. మద్దతు పొర మరియు ప్రతి పొరలో మూసివేసిన రంధ్రాలు లేదా ఛానెల్‌లు లేవు. అవి సాధారణంగా వేర్వేరు రంధ్రాల పరిమాణాలతో మూడు పొరలతో కూడి ఉంటాయి.
పోరస్ సిరామిక్ ప్లేట్

పోరస్ సిరామిక్ ప్లేట్

మా పోరస్ SIC సిరామిక్ ప్లేట్లు సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో తయారు చేసిన పోరస్ సిరామిక్ పదార్థాలు ప్రధాన భాగం మరియు ప్రత్యేక ప్రక్రియల ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడతాయి. అవి సెమీకండక్టర్ తయారీ, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) మరియు ఇతర ప్రక్రియలలో అనివార్యమైన పదార్థాలు.
Sషధము క్యూట్

Sషధము క్యూట్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ చైనాలోని ప్రముఖ SIC సిరామిక్స్ పొర బోట్ సరఫరాదారు, తయారీదారు మరియు ఫ్యాక్టరీ. మా SIC సిరామిక్స్ పొర పడవ అధునాతన పొర నిర్వహణ ప్రక్రియలలో కీలకమైన భాగం, కాంతివిపీడన, ఎలక్ట్రానిక్స్ మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలకు క్యాటరింగ్. మీ సంప్రదింపుల కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


చైనాలో ప్రొఫెషనల్ ఆక్సీకరణ మరియు ఆక్సీకరణ కొలిమి తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత కర్మాగారం ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేసిన అధునాతన మరియు మన్నికైన {77 by కొనాలనుకుంటున్నారా, మీరు మాకు సందేశాన్ని పంపవచ్చు.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept