సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత

వెటెక్సెమికన్ హై-ప్యూరిటీ SIC ఎడ్జ్ రింగులు, ప్రత్యేకంగా సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ పరికరాల కోసం రూపొందించబడ్డాయి, అత్యుత్తమ తుప్పు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటాయి, పొర దిగుబడిని గణనీయంగా పెంచుతాయి

సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఉత్పత్తుల యొక్క ప్రముఖ చైనీస్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, ఎచింగ్ కోసం వెటెక్సెమికన్ యొక్క SIC పూత పొర క్యారియర్ దాని అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం, అత్యుత్తమ తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకతతో చెక్కడం ప్రక్రియలో పూడ్చలేని కోర్ పాత్రను పోషిస్తుంది.

వెటెక్సెమికాన్ యొక్క సివిడి సిక్ కోటెడ్ పొర ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలకు కట్టింగ్-ఎడ్జ్ పరిష్కారం, ఇది అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ (≤100 పిపిబి, ఐసిపి-ఇ 10 సర్టిఫైడ్) మరియు గాన్‌, ఎస్‌ఐసి మరియు సిలికాన్-బిస్డ్ ఎపి-లియర్స్ యొక్క కాంటామినేషన్-రెసిస్టెంట్ పెరుగుదల కోసం అసాధారణమైన ఉష్ణ/రసాయన స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ప్రెసిషన్ సివిడి టెక్నాలజీతో ఇంజనీరింగ్ చేయబడిన ఇది 6 ”/8”/12 ”పొరలకు మద్దతు ఇస్తుంది, కనీస ఉష్ణ ఒత్తిడిని నిర్ధారిస్తుంది మరియు 1600 ° C వరకు తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకుంటుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలో మా SIC పూత ప్లానెటరీ ససెప్టర్ ఒక ప్రధాన భాగం. థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ పనితీరు, రసాయన స్థిరత్వం మరియు యాంత్రిక బలం యొక్క సమగ్ర ఆప్టిమైజేషన్‌ను సాధించడానికి దీని డిజైన్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో గ్రాఫైట్ ఉపరితలాన్ని మిళితం చేస్తుంది.

ఎపిటాక్సీ కోసం మా SIC కోటెడ్ సీలింగ్ రింగ్ అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ద్వారా అధిక-ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) తో పూసిన గ్రాఫైట్ లేదా కార్బన్-కార్బన్ మిశ్రమాల ఆధారంగా అధిక-పనితీరు గల సీలింగ్ భాగం, ఇది గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని SIC యొక్క విపరీతమైన పర్యావరణ నిరోధకతతో మిళితం చేస్తుంది.

వెటెక్సెమికన్ సింగిల్ పొర EPI గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ హై-పెర్ఫార్మెన్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC), గాలియం నైట్రైడ్ (GAN) మరియు ఇతర మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడింది మరియు ఇది ద్రవ్యరాశి ఉత్పత్తిలో అధిక-ఖచ్చితమైన ఎపిటాక్సియల్ షీట్ యొక్క ప్రధాన భాగం. మీ తదుపరి విచారణ.