సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత

వెటెక్సెమికన్ నుండి వచ్చిన CVD SIC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ షవర్ హెడ్ అనేది సెమీకండక్టర్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించిన అధిక-పనితీరు భాగం. హై-ప్యూరిటీ గ్రాఫైట్ నుండి తయారు చేయబడినది మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) సిలికాన్ కార్బైడ్ (సిఐసి) పూతతో రక్షించబడింది, ఈ షవర్ హెడ్ అత్యుత్తమ మన్నిక, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు తినివేయు ప్రక్రియ వాయువులకు నిరోధకతను అందిస్తుంది. మీ తదుపరి సంప్రదింపుల కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.

వెటెక్సెమికన్ చేత సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ పొర హోల్డర్ MOCVD, LPCVD మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎనియలింగ్ వంటి అధునాతన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో ఖచ్చితత్వం మరియు పనితీరు కోసం ఇంజనీరింగ్ చేయబడింది. ఏకరీతి సివిడి సిక్ పూతతో, ఈ పొర హోల్డర్ అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత, రసాయన జడత్వం మరియు యాంత్రిక బలాన్ని నిర్ధారిస్తుంది-కాలుష్యం లేని, అధిక-దిగుబడి పొర ప్రాసెసింగ్ కోసం అవసరం.

వెటెక్సెమికన్ హై-ప్యూరిటీ SIC ఎడ్జ్ రింగులు, ప్రత్యేకంగా సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ పరికరాల కోసం రూపొందించబడ్డాయి, అత్యుత్తమ తుప్పు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటాయి, పొర దిగుబడిని గణనీయంగా పెంచుతాయి

సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఉత్పత్తుల యొక్క ప్రముఖ చైనీస్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, ఎచింగ్ కోసం వెటెక్సెమికన్ యొక్క SIC పూత పొర క్యారియర్ దాని అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం, అత్యుత్తమ తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకతతో చెక్కడం ప్రక్రియలో పూడ్చలేని కోర్ పాత్రను పోషిస్తుంది.

వెటెక్సెమికాన్ యొక్క సివిడి సిక్ కోటెడ్ పొర ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలకు కట్టింగ్-ఎడ్జ్ పరిష్కారం, ఇది అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ (≤100 పిపిబి, ఐసిపి-ఇ 10 సర్టిఫైడ్) మరియు గాన్‌, ఎస్‌ఐసి మరియు సిలికాన్-బిస్డ్ ఎపి-లియర్స్ యొక్క కాంటామినేషన్-రెసిస్టెంట్ పెరుగుదల కోసం అసాధారణమైన ఉష్ణ/రసాయన స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ప్రెసిషన్ సివిడి టెక్నాలజీతో ఇంజనీరింగ్ చేయబడిన ఇది 6 ”/8”/12 ”పొరలకు మద్దతు ఇస్తుంది, కనీస ఉష్ణ ఒత్తిడిని నిర్ధారిస్తుంది మరియు 1600 ° C వరకు తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకుంటుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలో మా SIC పూత ప్లానెటరీ ససెప్టర్ ఒక ప్రధాన భాగం. థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ పనితీరు, రసాయన స్థిరత్వం మరియు యాంత్రిక బలం యొక్క సమగ్ర ఆప్టిమైజేషన్‌ను సాధించడానికి దీని డిజైన్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో గ్రాఫైట్ ఉపరితలాన్ని మిళితం చేస్తుంది.