VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ మెటీరియల్స్ యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు. మా ప్రధాన ఉత్పత్తి సమర్పణలలో CVD టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత భాగాలు, SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ లేదా సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ కోసం సింటెర్డ్ TaC కోటింగ్ భాగాలు ఉన్నాయి. ISO9001 ఆమోదించబడింది, VeTek సెమీకండక్టర్ నాణ్యతపై మంచి నియంత్రణను కలిగి ఉంది. VeTek సెమీకండక్టర్ కొనసాగుతున్న పరిశోధన మరియు పునరుక్తి సాంకేతికతలను అభివృద్ధి చేయడం ద్వారా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ పరిశ్రమలో ఆవిష్కర్తగా మారడానికి అంకితం చేయబడింది.
ప్రధాన ఉత్పత్తులు TaC కోటెడ్ గైడ్ రింగ్, CVD TaC కోటెడ్ త్రీ-పెటల్ గైడ్ రింగ్, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ TaC కోటెడ్ హాఫ్మూన్, CVD TaC కోటింగ్ ప్లానెటరీ SiC ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ రింగ్, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ పోరస్ గ్రాఫైట్, Tantalum కార్బైడ్ కోటెడ్ పోరస్ గ్రాఫైట్, టాకాస్ కార్బ్ రొటేటింగ్, R. TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ప్లేట్, TaC కోటెడ్ వేఫర్ ససెప్టర్, TaC కోటెడ్ డిఫ్లెక్టర్ రింగ్, CVD TaC కోటింగ్ కవర్, TaC కోటెడ్ చక్ మొదలైనవి, స్వచ్ఛత 5ppm కంటే తక్కువగా ఉంటుంది, కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చగలదు.
TaC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ అనేది యాజమాన్య రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితలంపై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ యొక్క చక్కటి పొరతో పూయడం ద్వారా సృష్టించబడుతుంది. ప్రయోజనం క్రింది చిత్రంలో చూపబడింది:
టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూత 3880°C వరకు ఉన్న అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అద్భుతమైన యాంత్రిక బలం, కాఠిన్యం మరియు థర్మల్ షాక్లకు నిరోధకత కారణంగా దృష్టిని ఆకర్షించింది, ఇది Aixtron MOCVD వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత అవసరాలతో కూడిన సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలకు ఆకర్షణీయమైన ప్రత్యామ్నాయంగా మారింది. వృద్ధి ప్రక్రియ.
కీ ఫీచర్లు
● థర్మల్ షాక్కు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనతో 2500°C వరకు ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం.
● అల్ట్రా-అధిక స్వచ్ఛత (<5ppm) మరియు కనిష్ట కణాల ఉత్పత్తి కోసం గ్రాఫైట్కు బలమైన సంశ్లేషణ.
● కఠినమైన ప్రక్రియ పరిసరాలలో H₂, NH₃, SiH₄ మరియు Si ఆవిరిలకు ఉన్నతమైన ప్రతిఘటన.
● చైనాలో ప్రత్యేకంగా లభ్యమయ్యే 750mm వ్యాసం వరకు పరిమాణ సామర్థ్యంతో కన్ఫార్మల్ కోటింగ్ కవరేజ్.
ఉత్పత్తి స్పెసిఫికేషన్
VeTek సెమీకండక్టర్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత యొక్క పరామితి:
| TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు |
| సాంద్రత |
14.3 గ్రా/సెం³ |
| కాఠిన్యం |
2000 HK |
| థర్మల్ విస్తరణ |
6.3×10⁻⁶/K |
| ప్రతిఘటన |
1×10⁻⁵ ఓమ్·సెం |
| ఉష్ణ స్థిరత్వం |
<2500°C |
| పూత మందం |
≥20μm (సాధారణ 35±10μm) |
మైక్రోస్కోపిక్ క్రాస్ సెక్షన్పై కార్బైడ్ (TaC) పూత:
TaC కోటింగ్ EDX డేటా:
TaC కోటింగ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్ డేటా:
| మూలకం |
పరమాణు శాతం |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
సగటు |
| సి కె |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| టా ఎం |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
అప్లికేషన్లు
సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల యొక్క విభిన్న అవసరాలను తీర్చడానికి, VeTek టార్గెట్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తులను అందిస్తుంది. కింది పట్టిక వాటిని ప్రధాన అప్లికేషన్ ప్రాంతాల ద్వారా వర్గీకరిస్తుంది, సాధారణ భాగాలు మరియు వర్తించే ప్రక్రియలను జాబితా చేస్తుంది:
| అప్లికేషన్ ఫీల్డ్ |
సాధారణ ఉత్పత్తులు |
అప్లికేషన్ వివరణ |
| SiC ఎపిటాక్సీ |
CVD TaC కోటెడ్ ప్లానెటరీ ససెప్టర్,TaC కోటెడ్ వేఫర్ ససెప్టర్,TaC కోటెడ్ గైడ్ రింగ్
|
అధిక-ఉష్ణోగ్రత SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలకు (ఉదా., LPE పద్ధతి) అనుకూలం, ఫిల్మ్ ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు తక్కువ-కాలుష్య ఇంటర్ఫేస్ను అందిస్తుంది. |
| GaN / LED ఎపిటాక్సీ (MOCVD) |
షవర్ హెడ్, శాటిలైట్ డిస్క్, మాస్కింగ్ రింగ్, హీట్ షీల్డ్, ఇంజెక్షన్ నాజిల్ |
Aixtron MOCVD సిస్టమ్లకు అనుకూలం, H₂/NH₃ తుప్పుకు నిరోధకత, కణాల కాలుష్యాన్ని తగ్గించడం మరియు LED ఎపిటాక్సియల్ దిగుబడిని మెరుగుపరచడం. |
| SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ (PVT పద్ధతి) |
TaC పూత పూసిన పోరస్ గ్రాఫైట్,TaC పూత హాఫ్ మూన్,గైడ్ రింగ్,కవర్,చక్
|
PVT SiC కడ్డీ పెరుగుదలలో ఉపయోగించబడుతుంది, 2500°C వరకు తట్టుకుంటుంది, గ్రాఫైట్ ప్రతిచర్యలను నిరోధిస్తుంది మరియు క్రిస్టల్ స్వచ్ఛతను నిర్ధారిస్తుంది. |
| హై-టెంపరేచర్ హీటింగ్ & సపోర్టింగ్ కాంపోనెంట్స్ |
ఇండక్టివ్ హీటింగ్ ససెప్టర్,రెసిస్టివ్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్, పొర క్యారియర్
|
ఇండక్షన్ లేదా రెసిస్టివ్ హీటింగ్ సిస్టమ్లకు అనుకూలం, అధిక కాఠిన్యం మరియు థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ అందించడం, కాంపోనెంట్ జీవితకాలం 3-5 రెట్లు పొడిగించడం. |
మరింత వివరణాత్మక ప్రక్రియ సరిపోలిక పరిష్కారాల కోసం, దయచేసి చూడండిసిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీసంబంధిత అప్లికేషన్ పేజీ.
మేము కస్టమర్ అవసరాల ఆధారంగా అనుకూలీకరించిన సేవలకు మద్దతు ఇస్తాము. మంచి నాణ్యత నియంత్రణతో ISO9001 ఆమోదించబడింది.
తదుపరి సంప్రదింపుల కోసం మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి లేదా సందేశం పంపడానికి స్వాగతం
