VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ మెటీరియల్స్ యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు. మా ప్రధాన ఉత్పత్తి సమర్పణలలో CVD టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ భాగాలు, SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ లేదా సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ కోసం సింటెర్డ్ TaC కోటింగ్ భాగాలు ఉన్నాయి. ISO9001 ఆమోదించబడింది, VeTek సెమీకండక్టర్ నాణ్యతపై మంచి నియంత్రణను కలిగి ఉంది. VeTek సెమీకండక్టర్ కొనసాగుతున్న పరిశోధన మరియు పునరుక్తి సాంకేతికతలను అభివృద్ధి చేయడం ద్వారా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ పరిశ్రమలో ఆవిష్కర్తగా మారడానికి అంకితం చేయబడింది.
ప్రధాన ఉత్పత్తులుTaC కోటెడ్ గైడ్ రింగ్, CVD TaC పూతతో మూడు-రేకుల గైడ్ రింగ్, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ TaC కోటెడ్ హాఫ్మూన్, CVD TaC కోటింగ్ ప్లానెటరీ SiC ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ రింగ్, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ పోరస్ గ్రాఫైట్, TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ రింగ్, TaC కోటింగ్ రొటేషన్ ప్లేట్, TaC కోటెడ్ వేఫర్ ససెప్టర్, TaC కోటెడ్ డిఫ్లెక్టర్ రింగ్, CVD TaC కోటింగ్ కవర్, TaC కోటెడ్ చక్మొదలైనవి, స్వచ్ఛత 5ppm కంటే తక్కువ, కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చగలదు.
TaC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ అనేది యాజమాన్య రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితలంపై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ యొక్క చక్కటి పొరతో పూయడం ద్వారా సృష్టించబడుతుంది. ప్రయోజనం క్రింది చిత్రంలో చూపబడింది:
టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూత 3880°C వరకు అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అద్భుతమైన మెకానికల్ బలం, కాఠిన్యం మరియు థర్మల్ షాక్లకు నిరోధకత కారణంగా దృష్టిని ఆకర్షించింది, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత అవసరాలతో కూడిన సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలకు ఆకర్షణీయమైన ప్రత్యామ్నాయంగా మారింది. Aixtron MOCVD సిస్టమ్ మరియు LPE SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ వంటివి. ఇది PVT పద్ధతి SiC క్రిస్టల్లో విస్తృత అప్లికేషన్ను కూడా కలిగి ఉంది. వృద్ధి ప్రక్రియ.
కీ ఫీచర్లు:
●ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం
●అల్ట్రా అధిక స్వచ్ఛత
●H2, NH3, SiH4,Siకి ప్రతిఘటన
●థర్మల్ స్టాక్కు నిరోధకత
●గ్రాఫైట్కు బలమైన సంశ్లేషణ
●కన్ఫార్మల్ పూత కవరేజ్
● 750 మిమీ వ్యాసం వరకు పరిమాణం (చైనాలోని ఏకైక తయారీదారు ఈ పరిమాణానికి చేరుకుంటుంది)
అప్లికేషన్లు:
●పొర క్యారియర్
● ఇండక్టివ్ హీటింగ్ ససెప్టర్
● రెసిస్టివ్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్
●ఉపగ్రహ డిస్క్
●తల స్నానం చేయండి
●గైడ్ రింగ్
●LED ఎపి రిసీవర్
●ఇంజెక్షన్ నాజిల్
●మాస్కింగ్ రింగ్
● హీట్ షీల్డ్
మైక్రోస్కోపిక్ క్రాస్-సెక్షన్పై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూత:
VeTek సెమీకండక్టర్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత యొక్క పరామితి:
|
TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
|
|
సాంద్రత
|
14.3 (గ్రా/సెం³)
|
|
నిర్దిష్ట ఉద్గారత
|
0.3
|
|
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం
|
6.3 10-6/కె
|
|
కాఠిన్యం (HK)
|
2000 HK
|
|
ప్రతిఘటన
|
1×10-5ఓం*సెం
|
|
ఉష్ణ స్థిరత్వం
|
<2500℃
|
|
గ్రాఫైట్ పరిమాణం మారుతుంది
|
-10~-20um
|
|
పూత మందం
|
≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um)
|
TaC కోటింగ్ EDX డేటా：
TaC కోటింగ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్ డేటా:
|
మూలకం
|
పరమాణు శాతం
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
సగటు
|
|
సి కె
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
M
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
