సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ఇపిఐ ససెప్టర్

సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ గ్యాస్ దశ, ద్రవ దశ లేదా పరమాణు పుంజం నిక్షేపణ వంటి పద్ధతుల ద్వారా ఉపరితల పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై ఒక నిర్దిష్ట జాలక నిర్మాణంతో సన్నని చలనచిత్రం యొక్క పెరుగుదలను సూచిస్తుంది, తద్వారా కొత్తగా పెరిగిన సన్నని చలనచిత్ర పొర (ఎపిటాక్సియల్ పొర) ఉంటుంది అదే లేదా సారూప్య జాలక నిర్మాణం మరియు ధోరణి ఉపరితలం. 

సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఎపిటాక్సీ సాంకేతికత కీలకమైనది, ప్రత్యేకించి సింగిల్ క్రిస్టల్ లేయర్‌లు, హెటెరోస్ట్రక్చర్‌లు మరియు అధిక-పనితీరు గల పరికరాలను తయారు చేయడానికి ఉపయోగించే క్వాంటం నిర్మాణాలు వంటి అధిక-నాణ్యత సన్నని ఫిల్మ్‌ల తయారీలో.

సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ EPI ససెప్టర్ అనేది ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ పరికరాలలో ఉపరితలం మద్దతు ఇవ్వడానికి ఉపయోగించే ఒక ముఖ్య భాగం మరియు ఇది సిలికాన్ ఎపిటాక్సీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఎపిటాక్సియల్ పీఠం యొక్క నాణ్యత మరియు పనితీరు ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క వృద్ధి నాణ్యతను నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది మరియు సెమీకండక్టర్ పరికరాల తుది ప్రదర్శనలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.

VeTek సెమీకండక్టర్ CVD పద్ధతి ద్వారా SGL గ్రాఫైట్ యొక్క ఉపరితలంపై SIC పూత యొక్క పొరను పూసింది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ ఏకరూపత వంటి లక్షణాలతో SiC కోటెడ్ ఎపి ససెప్టర్‌ను పొందింది.

ఒక సాధారణ బారెల్ రియాక్టర్‌లో, సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ EPI ససెప్టర్ బారెల్ నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంది. SIC పూత EPI ససెప్టర్ యొక్క దిగువ తిరిగే షాఫ్ట్కు అనుసంధానించబడి ఉంది. ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధి ప్రక్రియలో, ఇది ప్రత్యామ్నాయ సవ్యదిశలో మరియు అపసవ్య దిశలో భ్రమణాన్ని నిర్వహిస్తుంది. ప్రతిచర్య వాయువు నాజిల్ ద్వారా ప్రతిచర్య గదిలోకి ప్రవేశిస్తుంది, తద్వారా వాయువు ప్రవాహం ప్రతిచర్య గదిలో చాలా ఏకరీతి పంపిణీని ఏర్పరుస్తుంది మరియు చివరకు ఏకరీతి ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదలను ఏర్పరుస్తుంది.

SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ యొక్క ద్రవ్యరాశి మార్పు మరియు ఆక్సీకరణ సమయం మధ్య సంబంధం

ప్రచురించిన అధ్యయనాల ఫలితాలు 1400℃ మరియు 1600℃ వద్ద, SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ ద్రవ్యరాశి చాలా తక్కువగా పెరుగుతుందని చూపిస్తుంది. అంటే, SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బలమైన యాంటీఆక్సిడెంట్ సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంటుంది. అందువల్ల, SiC కోటెడ్ ఎపి ససెప్టర్ చాలా ఎపిటాక్సియల్ ఫర్నేస్‌లలో ఎక్కువ కాలం పని చేస్తుంది. మీకు మరిన్ని అవసరాలు లేదా అనుకూలీకరించిన అవసరాలు ఉంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించండి. మేము ఉత్తమ నాణ్యత గల SiC కోటెడ్ ఎపి ససెప్టర్ సొల్యూషన్‌లను అందించడానికి కట్టుబడి ఉన్నాము.

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు

ఇది సెమీకండక్టర్సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన ఎపి ససెప్టర్ దుకాణాలు