సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత

VeTek నుండి ఈ AMAT 0200-03201 వేఫర్ లిఫ్ట్ పిన్ అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌తో ప్రారంభమవుతుంది, ఆపై మేము పైన దట్టమైన CVD SiC కోటింగ్‌ను జోడిస్తాము. ఇది 300mm ఎపిటాక్సీ సిస్టమ్‌లు మరియు అప్లైడ్ మెటీరియల్స్ EPI రియాక్టర్‌ల కోసం తయారు చేయబడింది. ఎందుకు గ్రాఫైట్ మరియు SiC? గ్రాఫైట్ బాగా వేడిని నిర్వహిస్తుంది. SiC పొర తినివేయు వాయువులను తీసుకుంటుంది మరియు వేగంగా అరిగిపోదు. సన్నని గోడ డిజైన్? ఇది క్లీనర్ వేఫర్ ట్రైనింగ్ మరియు పొజిషనింగ్, తక్కువ కణాలు మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల క్రింద ఎక్కువ భాగం జీవితం కోసం. మేము ASM, Aixtron మరియు LPE సిస్టమ్‌ల కోసం ఇలాంటి SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ భాగాలను కూడా తయారు చేస్తాము. మీ విచారణ కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.

Vetek సెమీకండక్టర్ VEECO MOCVD సిస్టమ్‌ల కోసం వేఫర్ క్యారియర్‌లను తయారు చేస్తుంది, ప్రత్యేకంగా GaN LEDలు, బ్లూ-గ్రీన్ LEDలు మరియు లోతైన UV LED గ్రోత్ వంటి LED ఎపిటాక్సీ పని కోసం నిర్మించబడింది. ఈ వాహకాలు అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌తో ప్రారంభమవుతాయి మరియు దట్టమైన CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతను పొందుతాయి. MOCVDలో మీరు చూసే అధిక ఉష్ణోగ్రతల క్రింద ఆ కలయిక బాగా ఉంటుంది - మంచి ఉష్ణ స్థిరత్వం, తుప్పు నిరోధకత మరియు పూత కొనసాగుతుంది.

హాఫ్‌మూన్ అనేది LPE SiC రియాక్టర్‌లలో ఉపయోగించే గ్రాఫైట్ భాగం, ప్రధానంగా చాంబర్ హాట్ జోన్ చుట్టూ వ్యవస్థాపించబడింది. ఇది పొరను నేరుగా సంప్రదించనప్పటికీ, ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో గ్యాస్ ప్రవాహ స్థిరత్వం మరియు రియాక్టర్ ఆపరేషన్‌లో ఇది ఇప్పటికీ పాత్ర పోషిస్తుంది. అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రియాక్టివ్ ప్రక్రియ పరిస్థితులను నిర్వహించడానికి, భాగం సాధారణంగా CVD SiC పూతతో రక్షించబడుతుంది, అయితే TaC పూత కొన్ని అనువర్తనాలకు కూడా అందుబాటులో ఉంటుంది. VETEK SiC ఎపిటాక్సీ సిస్టమ్‌ల కోసం గ్రాఫైట్ ఫీల్డ్ ఇన్సులేషన్ మరియు ఇతర పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలను కూడా సరఫరా చేస్తుంది.

8-అంగుళాల SiC ఎపి టాప్ రింగ్ అనేది సెమీకండక్టర్ రియాక్టర్‌ల కోసం హార్డ్‌వేర్ భాగం. ఇది Si/SiC ఎపిటాక్సీ మరియు MOCVD/CVD సిస్టమ్‌లలో పని చేస్తుంది. ఈ రింగ్ చాంబర్ లోపల వేడిని స్థిరీకరిస్తుంది. ఇది వాయువుల ప్రవాహాన్ని కూడా నియంత్రిస్తుంది. పదార్థం అధిక స్వచ్ఛత CVD సిలికాన్ కార్బైడ్. ఇది గ్రాఫైట్ యొక్క అవుట్‌గ్యాసింగ్ సమస్యలను కలిగి ఉండదు. ఇది ఉత్పత్తి సమయంలో కణాల కాలుష్యాన్ని కూడా తగ్గిస్తుంది. మేము మీ విచారణలను స్వాగతిస్తున్నాము.

VETEK MOCVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది LED మరియు కాంపౌండ్ సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం ప్రత్యేకంగా అభివృద్ధి చేయబడిన ఒక ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్ క్యారియర్ సొల్యూషన్. ఇది సంక్లిష్టమైన MOCVD పరిసరాలలో అసాధారణమైన ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు రసాయన జడత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది. VETEK యొక్క కఠినమైన CVD నిక్షేపణ ప్రక్రియను ప్రభావితం చేస్తూ, మీ సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి యొక్క ప్రతి బ్యాచ్‌కు స్థిరమైన మరియు నమ్మదగిన పనితీరు హామీని అందించడం ద్వారా పొర పెరుగుదల స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచడానికి మరియు కోర్ భాగాల సేవా జీవితాన్ని పొడిగించడానికి మేము కట్టుబడి ఉన్నాము.

Veteksemicon సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఫోకసింగ్ రింగ్ అనేది అధునాతన సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే ఒక క్లిష్టమైన వినియోగ భాగం, ఇక్కడ ప్లాస్మా పంపిణీ, ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు పొర అంచు ప్రభావాలపై ఖచ్చితమైన నియంత్రణ అవసరం. అధిక-స్వచ్ఛత ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ నుండి తయారు చేయబడిన ఈ ఫోకస్ రింగ్ అసాధారణమైన ప్లాస్మా ఎరోషన్ రెసిస్టెన్స్, అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం మరియు రసాయన జడత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది, ఇది దూకుడు ప్రక్రియ పరిస్థితులలో నమ్మదగిన పనితీరును అందిస్తుంది. మేము మీ విచారణ కోసం ఎదురుచూస్తున్నాము.