సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత

ASM కోసం Veteksemicon SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో ఒక ప్రధాన క్యారియర్ భాగం. ఈ ఉత్పత్తి మా యాజమాన్య పైరోలైటిక్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత సాంకేతికతను మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు ప్రక్రియ పరిసరాలలో అత్యుత్తమ పనితీరు మరియు అల్ట్రా-లాంగ్ లైఫ్‌ని నిర్ధారించడానికి ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ ప్రక్రియలను ఉపయోగిస్తుంది. ఉపరితల స్వచ్ఛత, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు స్థిరత్వంపై ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియల యొక్క కఠినమైన అవసరాలను మేము లోతుగా అర్థం చేసుకున్నాము మరియు మొత్తం పరికరాల పనితీరును మెరుగుపరిచే స్థిరమైన, నమ్మదగిన పరిష్కారాలను వినియోగదారులకు అందించడానికి కట్టుబడి ఉన్నాము.

Veteksemicon ఫోకస్ రింగ్ డిమాండ్ సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ పరికరాలు, ముఖ్యంగా SiC ఎచింగ్ అప్లికేషన్ల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC) చుట్టూ అమర్చబడి, పొరకు దగ్గరగా ఉంటుంది, దీని ప్రాథమిక విధి రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోని విద్యుదయస్కాంత క్షేత్ర పంపిణీని ఆప్టిమైజ్ చేయడం, మొత్తం పొర ఉపరితలం అంతటా ఏకరీతి మరియు కేంద్రీకృత ప్లాస్మా చర్యను నిర్ధారిస్తుంది. అధిక-పనితీరు గల ఫోకస్ రింగ్ గణనీయంగా ఎట్చ్ రేటు ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు అంచు ప్రభావాలను తగ్గిస్తుంది, నేరుగా ఉత్పత్తి దిగుబడి మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచుతుంది.

LED ఎచింగ్ కోసం Veteksemicon సిలికాన్ కార్బైడ్ క్యారియర్ ప్లేట్, ప్రత్యేకంగా LED చిప్ తయారీ కోసం రూపొందించబడింది, ఇది ఎచింగ్ ప్రక్రియలో వినియోగించదగినది. ప్రెసిషన్-సింటర్డ్ హై-ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో తయారు చేయబడింది, ఇది అసాధారణమైన రసాయన నిరోధకత మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీని అందిస్తుంది, బలమైన ఆమ్లాలు, స్థావరాలు మరియు ప్లాస్మా నుండి తుప్పును సమర్థవంతంగా నిరోధిస్తుంది. దీని తక్కువ కాలుష్య లక్షణాలు LED ఎపిటాక్సియల్ పొరల కోసం అధిక దిగుబడిని అందిస్తాయి, అయితే దాని మన్నిక, సాంప్రదాయ పదార్థాల కంటే చాలా ఎక్కువ, కస్టమర్‌లు మొత్తం నిర్వహణ ఖర్చులను తగ్గించడంలో సహాయపడుతుంది, ఇది ఎచింగ్ ప్రక్రియ సామర్థ్యాన్ని మరియు స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచడానికి నమ్మదగిన ఎంపికగా చేస్తుంది.

Veteksemi ఘన SiC ఫోకస్ రింగ్ అనేది పొర అంచు వద్ద విద్యుత్ క్షేత్రం మరియు గాలి ప్రవాహాన్ని ఖచ్చితంగా నియంత్రించడం ద్వారా చెక్కడం ఏకరూపత మరియు ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది. ఇది సిలికాన్, డైలెక్ట్రిక్స్ మరియు కాంపౌండ్ సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్స్ కోసం ఖచ్చితమైన ఎచింగ్ ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది మరియు సామూహిక ఉత్పత్తి దిగుబడి మరియు దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయ పరికరాల ఆపరేషన్‌ను నిర్ధారించడానికి ఇది కీలకమైన అంశం.

వెటెక్సెమికన్ నుండి వచ్చిన CVD SIC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ షవర్ హెడ్ అనేది సెమీకండక్టర్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించిన అధిక-పనితీరు భాగం. హై-ప్యూరిటీ గ్రాఫైట్ నుండి తయారు చేయబడినది మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) సిలికాన్ కార్బైడ్ (సిఐసి) పూతతో రక్షించబడింది, ఈ షవర్ హెడ్ అత్యుత్తమ మన్నిక, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు తినివేయు ప్రక్రియ వాయువులకు నిరోధకతను అందిస్తుంది. మీ తదుపరి సంప్రదింపుల కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.

వెటెక్సెమికన్ చేత సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ పొర హోల్డర్ MOCVD, LPCVD మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎనియలింగ్ వంటి అధునాతన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో ఖచ్చితత్వం మరియు పనితీరు కోసం ఇంజనీరింగ్ చేయబడింది. ఏకరీతి సివిడి సిక్ పూతతో, ఈ పొర హోల్డర్ అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత, రసాయన జడత్వం మరియు యాంత్రిక బలాన్ని నిర్ధారిస్తుంది-కాలుష్యం లేని, అధిక-దిగుబడి పొర ప్రాసెసింగ్ కోసం అవసరం.