ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు

సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత

VeTek సెమీకండక్టర్ అల్ట్రా ప్యూర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తుల ఉత్పత్తిలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉంది, ఈ పూతలు శుద్ధి చేయబడిన గ్రాఫైట్, సెరామిక్స్ మరియు వక్రీభవన మెటల్ భాగాలకు వర్తించేలా రూపొందించబడ్డాయి.


మా అధిక స్వచ్ఛత పూతలు ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలలో ఉపయోగం కోసం లక్ష్యంగా పెట్టుకున్నాయి. అవి వేఫర్ క్యారియర్లు, ససెప్టర్లు మరియు హీటింగ్ ఎలిమెంట్‌లకు రక్షణ పొరగా పనిచేస్తాయి, MOCVD మరియు EPI వంటి ప్రక్రియలలో ఎదురయ్యే తినివేయు మరియు రియాక్టివ్ పరిసరాల నుండి వాటిని రక్షిస్తాయి. ఈ ప్రక్రియలు పొర ప్రాసెసింగ్ మరియు పరికర తయారీకి సమగ్రమైనవి. అదనంగా, మా పూతలు వాక్యూమ్ ఫర్నేస్‌లు మరియు శాంపిల్ హీటింగ్‌లో అప్లికేషన్‌లకు బాగా సరిపోతాయి, ఇక్కడ అధిక వాక్యూమ్, రియాక్టివ్ మరియు ఆక్సిజన్ పరిసరాలు ఉంటాయి.


VeTek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము మా అధునాతన మెషీన్ షాప్ సామర్థ్యాలతో సమగ్ర పరిష్కారాన్ని అందిస్తున్నాము. ఇది గ్రాఫైట్, సిరామిక్స్ లేదా రిఫ్రాక్టరీ లోహాలను ఉపయోగించి బేస్ కాంపోనెంట్‌లను తయారు చేయడానికి మరియు ఇంట్లోనే SiC లేదా TaC సిరామిక్ కోటింగ్‌లను వర్తింపజేయడానికి అనుమతిస్తుంది. మేము కస్టమర్-సరఫరా చేసిన భాగాలకు పూత సేవలను కూడా అందిస్తాము, విభిన్న అవసరాలకు అనుగుణంగా సౌలభ్యాన్ని నిర్ధారిస్తాము.


మా సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ ఉత్పత్తులు Si epitaxy, SiC ఎపిటాక్సీ, MOCVD సిస్టమ్, RTP/RTA ప్రాసెస్, ఎచింగ్ ప్రాసెస్, ICP/PSS ఎచింగ్ ప్రాసెస్, బ్లూ మరియు గ్రీన్ LED, UV LED మరియు డీప్-UVతో సహా వివిధ LED రకాల ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. LED మొదలైనవి, ఇది LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys నుండి పరికరాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది. TSI మరియు మొదలైనవి.


రియాక్టర్ భాగాలు మనం చేయగలము:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలు:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత పరామితి

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
SiC పూత సాంద్రత 3.21 గ్రా/సెం³
SiC పూత కాఠిన్యం 2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం 2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత 99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం 640 J·kg-1·కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత 2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ 415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్ 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత 300W·m-1·కె-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE) 4.5×10-6K-1

CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
ఎపిటాక్సీ కోసం SIC పూత సీలింగ్ రింగ్

ఎపిటాక్సీ కోసం SIC పూత సీలింగ్ రింగ్

ఎపిటాక్సీ కోసం మా SIC కోటెడ్ సీలింగ్ రింగ్ అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ద్వారా అధిక-ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) తో పూసిన గ్రాఫైట్ లేదా కార్బన్-కార్బన్ మిశ్రమాల ఆధారంగా అధిక-పనితీరు గల సీలింగ్ భాగం, ఇది గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని SIC యొక్క విపరీతమైన పర్యావరణ నిరోధకతతో మిళితం చేస్తుంది.
సింగిల్ పొర ఎపి గ్రాఫైట్ అండర్టేకర్

సింగిల్ పొర ఎపి గ్రాఫైట్ అండర్టేకర్

వెటెక్సెమికన్ సింగిల్ పొర EPI గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ హై-పెర్ఫార్మెన్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC), గాలియం నైట్రైడ్ (GAN) మరియు ఇతర మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడింది మరియు ఇది ద్రవ్యరాశి ఉత్పత్తిలో అధిక-ఖచ్చితమైన ఎపిటాక్సియల్ షీట్ యొక్క ప్రధాన భాగం. మీ తదుపరి విచారణ.
ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్

ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్

పొర ఫాబ్రికేషన్ ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించిన ఒక ముఖ్యమైన భాగం ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్, దీని పనితీరు ప్లాస్మా సాంద్రతను నిర్వహించడానికి మరియు పొర వైపులా కలుషితాన్ని నివారించడానికి పొరను ఉంచడం.
Sic పూత ఇ-చక్

Sic పూత ఇ-చక్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ చైనాలో SIC కోటెడ్ ఇ-చక్స్ యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు. మీ సెమీకండక్టర్ తయారీకి ఆల్ రౌండ్ మద్దతును అందించడానికి, SIC కోటెడ్ ఇ-చక్ ప్రత్యేకంగా గన్ వాఫర్ ఎచింగ్ ప్రాసెస్, అద్భుతమైన పనితీరు మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితంతో రూపొందించబడింది. మా బలమైన ప్రాసెసింగ్ సామర్థ్యం మీకు కావలసిన SIC సిరామిక్ ససెప్టర్‌ను మీకు అందించడానికి మాకు సహాయపడుతుంది. మీ విచారణ కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.
సిక్ ఐసిపి ఎచింగ్ ప్లేట్

సిక్ ఐసిపి ఎచింగ్ ప్లేట్

వెటెక్సెమాన్ అధిక-పనితీరు గల SIC ICP ఎట్చింగ్ ప్లేట్లను అందిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ICP ఎచింగ్ అనువర్తనాల కోసం రూపొందించబడింది. దీని ప్రత్యేకమైన పదార్థ లక్షణాలు అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక పీడనం మరియు రసాయన తుప్పు వాతావరణంలో బాగా పనిచేయడానికి వీలు కల్పిస్తాయి, వివిధ ఎచింగ్ ప్రక్రియలలో అద్భుతమైన పనితీరు మరియు దీర్ఘకాలిక స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి.
గ్రాఫైట్ తాపన యూనిట్

గ్రాఫైట్ తాపన యూనిట్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ గ్రాఫైట్ హీటింగ్ యూనిట్ అనేది అధిక-పనితీరు గల పారిశ్రామిక తాపన పరిష్కారం, ఇది అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ పదార్థంతో తయారు చేయబడింది, ఇది ఖచ్చితమైన మరియు సమర్థవంతమైన తాపన ప్రభావాన్ని అందిస్తుంది. సెమీకండక్టర్, ఎలక్ట్రానిక్స్, సిరామిక్స్ మరియు ఇతర రంగాలలో గ్రాఫైట్ తాపన యూనిట్ విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. మీ తదుపరి విచారణను స్వాగతించండి.
చైనాలో ప్రొఫెషనల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత కర్మాగారం ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేసిన అధునాతన మరియు మన్నికైన {77 by కొనాలనుకుంటున్నారా, మీరు మాకు సందేశాన్ని పంపవచ్చు.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept