SiC కోటెడ్ వేఫర్ క్యారియర్

చిప్ తయారీ పొరల నుండి విడదీయరానిది. పొర తయారీ ప్రక్రియలో, రెండు ప్రధాన లింక్‌లు ఉన్నాయి: ఒకటి సబ్‌స్ట్రేట్ తయారీ, మరియు మరొకటి ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ అమలు. సెమీకండక్టర్ పరికరాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఉపరితలం నేరుగా పొర తయారీ ప్రక్రియలో ఉంచబడుతుంది లేదా దీని ద్వారా మరింత మెరుగుపరచబడుతుందిఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ. 

ఎపిటాక్సీ అనేది మెత్తగా ప్రాసెస్ చేయబడిన (కటింగ్, గ్రైండింగ్, పాలిషింగ్ మొదలైనవి) ఒకే క్రిస్టల్ సబ్‌స్ట్రేట్‌పై సింగిల్ క్రిస్టల్ యొక్క కొత్త పొరను పెంచడం. కొత్తగా పెరిగిన సింగిల్ క్రిస్టల్ పొర సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క క్రిస్టల్ దశ ప్రకారం విస్తరిస్తుంది కాబట్టి, దానిని ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ అంటారు. ఎపిటాక్సియల్ పొర ఉపరితలంపై పెరిగినప్పుడు, మొత్తం ఎపిటాక్సియల్ పొర అంటారు. ఎపిటాక్సియల్ టెక్నాలజీ పరిచయం ఒకే సబ్‌స్ట్రేట్‌ల యొక్క అనేక లోపాలను తెలివిగా పరిష్కరిస్తుంది.

ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్‌లో, సబ్‌స్ట్రేట్ యాదృచ్ఛికంగా ఉంచబడదు మరియు aపొర క్యారియర్సబ్‌స్ట్రేట్‌పై ఎపిటాక్సియల్ డిపాజిషన్ చేయడానికి ముందు పొర హోల్డర్‌పై సబ్‌స్ట్రేట్‌ను ఉంచడం అవసరం. ఈ పొర హోల్డర్ SiC కోటెడ్ వేఫర్ క్యారియర్.

EPI రియాక్టర్ యొక్క క్రాస్ సెక్షనల్ వీక్షణ

అధిక నాణ్యతSic పూతCVD సాంకేతికతను ఉపయోగించి SGL గ్రాఫైట్ ఉపరితలంపై వర్తించబడుతుంది:

SIC పూత సహాయంతో, యొక్క అనేక లక్షణాలుSiC కోటెడ్ వేఫర్ హోల్డర్గణనీయంగా మెరుగుపరచబడ్డాయి:

●  యాంటీ ఆక్సిడెంట్ లక్షణాలు: SiC పూత మంచి ఆక్సీకరణ నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఆక్సీకరణం నుండి గ్రాఫైట్ మాతృకను రక్షించగలదు మరియు దాని సేవా జీవితాన్ని పొడిగించగలదు.

ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: SIC పూత యొక్క ద్రవీభవన స్థానం చాలా ఎక్కువ (సుమారు 2700 ° C). గ్రాఫైట్ మాతృకకు SIC పూతను జోడించిన తరువాత, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకోగలదు, ఇది ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్ వాతావరణంలో అనువర్తనానికి ప్రయోజనకరంగా ఉంటుంది.

●  తుప్పు నిరోధకత: గ్రాఫైట్ నిర్దిష్ట ఆమ్ల లేదా ఆల్కలీన్ పరిసరాలలో రసాయన తుప్పుకు గురవుతుంది, అయితే SiC పూత యాసిడ్ మరియు క్షార తుప్పుకు మంచి ప్రతిఘటనను కలిగి ఉంటుంది, కాబట్టి దీనిని ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్‌లలో చాలా కాలం పాటు ఉపయోగించవచ్చు.

● ధరించండి: SiC పదార్థం అధిక కాఠిన్యం కలిగి ఉంటుంది. గ్రాఫైట్ SiCతో పూసిన తర్వాత, ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్‌లో ఉపయోగించినప్పుడు అది సులభంగా దెబ్బతినదు, మెటీరియల్ వేర్ రేటును తగ్గిస్తుంది.

VeTek సెమీకండక్టర్ వినియోగదారులకు పరిశ్రమ-ప్రముఖ SiC కోటెడ్ వేఫర్ క్యారియర్ ఉత్పత్తులను అందించడానికి అత్యుత్తమ మెటీరియల్‌లను మరియు అత్యంత అధునాతన ప్రాసెసింగ్ సాంకేతికతను ఉపయోగిస్తుంది. VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క బలమైన సాంకేతిక బృందం ఎల్లప్పుడూ వినియోగదారులకు అత్యంత అనుకూలమైన ఉత్పత్తులను మరియు ఉత్తమ సిస్టమ్ పరిష్కారాలను టైలరింగ్ చేయడానికి కట్టుబడి ఉంటుంది.

సివిడి సిక్ ఫిల్మ్ యొక్క సెమ్ డేటా

VeTek సెమీకండక్టర్SiC కోటెడ్ వేఫర్ క్యారియర్ దుకాణాలు