వేఫర్ క్యారియర్ కోసం CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్

1. ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు

• అధిక స్వచ్ఛత పదార్థం:సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ గ్రాఫైట్ పదార్థం మరియు దట్టమైన SiC పూత నిర్మాణం కాలుష్య ప్రమాదాలను తగ్గిస్తుంది మరియు CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క విశ్వసనీయతను మెరుగుపరుస్తుంది.
• అద్భుతమైన ఉష్ణ ఏకరూపత:ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన గ్రాఫైట్ నిర్మాణం మరియు SiC పూత స్థిరమైన ఉష్ణ బదిలీ మరియు ఏకరీతి పొర ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను అందిస్తాయి.
• సుపీరియర్ కెమికల్ రెసిస్టెన్స్:దట్టమైన SiC పూత ప్రక్రియ వాయువులు మరియు తినివేయు వాతావరణాలకు వ్యతిరేకంగా బలమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది.
• సుదీర్ఘ సేవా జీవితం:అధిక కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు నిరోధకత అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎపిటాక్సీ పరిస్థితులలో మన్నికను మెరుగుపరుస్తాయి.
• తక్కువ కణ ఉత్పత్తి:దట్టమైన CVD SiC ఉపరితలం కణాల విడుదలను తగ్గిస్తుంది మరియు పొర ప్రక్రియ విశ్వసనీయతను మెరుగుపరుస్తుంది.
• అనుకూలీకరించిన డిజైన్ సామర్థ్యం:పరికరాల అవసరాలకు అనుగుణంగా వివిధ పరిమాణాలు, నిర్మాణాలు మరియు కాన్ఫిగరేషన్‌లలో అందుబాటులో ఉంటుంది.

2. సాంకేతిక లక్షణాలు

3. అప్లికేషన్లు

• SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ:గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ SiC ఎపిటాక్సీ పరికరాలలో పొర క్యారియర్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లకు మద్దతు ఇస్తుంది.
• సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ:పొరలను సపోర్టింగ్ చేయడానికి మరియు స్థిరమైన ఉష్ణ పరిస్థితులను నిర్వహించడానికి సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్లలో వర్తించబడుతుంది.
• MOCVD ఎపిటాక్సీ:VETEK గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు MOCVD, LED ఎపిటాక్సీ, GaN ఎపిటాక్సీ, సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు రసాయన స్థిరత్వం అవసరమయ్యే ఇతర సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి.
• సెమీకండక్టర్ తయారీ సామగ్రి:LPE క్షితిజ సమాంతర ఫర్నేసులు, Aixtron, NuFlare మరియు సంబంధిత సెమీకండక్టర్ పరికరాలతో సహా వివిధ ఎపిటాక్సీ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లకు అనుకూలమైనది.

4. VETEKని ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

VETEK గ్రాఫైట్ ప్యూరిఫికేషన్, ప్రిసిషన్ మ్యాచింగ్, CVD పూత మరియు తనిఖీ సామర్థ్యాలను సమగ్రపరిచే అనుకూలీకరించిన CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ సొల్యూషన్‌లను అందిస్తుంది. మా సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ ఉత్పత్తులు అధిక స్వచ్ఛత, ఏకరీతి పూత మందం, అద్భుతమైన థర్మల్ పనితీరు మరియు డిమాండ్ వేఫర్ క్యారియర్ అప్లికేషన్‌ల కోసం సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని కలిగి ఉంటాయి.