VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క ప్రత్యేకమైన కార్బైడ్ పూతలు డిమాండ్ చేసే సెమీకండక్టర్ మరియు కాంపోజిట్ సెమీకండక్టర్ పదార్థాల ప్రాసెసింగ్ కోసం SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో గ్రాఫైట్ భాగాలకు ఉన్నతమైన రక్షణను అందిస్తాయి. ఫలితంగా పొడిగించిన గ్రాఫైట్ కాంపోనెంట్ లైఫ్, రియాక్షన్ స్టోయికియోమెట్రీ సంరక్షణ, ఎపిటాక్సీ మరియు క్రిస్టల్ గ్రోత్ అప్లికేషన్‌లకు అశుద్ధత వలసలను నిరోధించడం, ఫలితంగా దిగుబడి మరియు నాణ్యత పెరుగుతుంది.
మా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూతలు వేడి అమ్మోనియా, హైడ్రోజన్, సిలికాన్ ఆవిరి మరియు కరిగిన లోహాల నుండి అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద (2200°C వరకు) క్లిష్టమైన ఫర్నేస్ మరియు రియాక్టర్ భాగాలను రక్షిస్తాయి. VeTek సెమీకండక్టర్ మీ అనుకూలీకరించిన అవసరాలను తీర్చడానికి గ్రాఫైట్ ప్రాసెసింగ్ మరియు కొలత సామర్థ్యాల విస్తృత శ్రేణిని కలిగి ఉంది, కాబట్టి మేము మీకు మరియు మీ నిర్దిష్ట అప్లికేషన్ కోసం సరైన పరిష్కారాన్ని రూపొందించడానికి సిద్ధంగా ఉన్న మా నిపుణులైన ఇంజనీర్ల బృందంతో రుసుము చెల్లించే పూత లేదా పూర్తి-సేవను అందిస్తాము. .
కాంపౌండ్ సెమీకండక్టర్ స్ఫటికాలు
VeTek సెమీకండక్టర్ వివిధ భాగాలు మరియు క్యారియర్‌ల కోసం ప్రత్యేక TaC పూతలను అందించగలదు. VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క పరిశ్రమ ప్రముఖ పూత ప్రక్రియ ద్వారా, TaC పూత అధిక స్వచ్ఛత, అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం మరియు అధిక రసాయన నిరోధకతను పొందవచ్చు, తద్వారా క్రిస్టల్ TaC/GaN) మరియు EPl పొరల ఉత్పత్తి నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు క్లిష్టమైన రియాక్టర్ భాగాల జీవితకాలాన్ని పొడిగిస్తుంది.
థర్మల్ ఇన్సులేటర్లు
క్రూసిబుల్స్, సీడ్ హోల్డర్స్, డిఫ్లెక్టర్లు మరియు ఫిల్టర్‌లతో సహా SiC, GaN మరియు AlN క్రిస్టల్ గ్రోత్ భాగాలు. రెసిస్టివ్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్, నాజిల్‌లు, షీల్డింగ్ రింగ్‌లు మరియు బ్రేజింగ్ ఫిక్చర్‌లు, Wafer క్యారియర్లు, శాటిలైట్ ట్రేలు, షవర్ హెడ్‌లు, క్యాప్స్ మరియు పీడెస్టల్స్, MOCVD కాంపోనెంట్‌లతో సహా GaN మరియు SiC ఎపిటాక్సియల్ CVD రియాక్టర్ కాంపోనెంట్‌లతో సహా పారిశ్రామిక అసెంబ్లీలు.
ప్రయోజనం:
● LED(లైట్ ఎమిటింగ్ డయోడ్) వేఫర్ క్యారియర్
● ALD(సెమీకండక్టర్) రిసీవర్
● EPI రిసెప్టర్ (SiC ఎపిటాక్సీ ప్రాసెస్)
SiC పూత మరియు TaC పూత యొక్క పోలిక:
|
|
SiC
|
TaC
|
|
ప్రధాన లక్షణాలు
|
అల్ట్రా అధిక స్వచ్ఛత, అద్భుతమైన ప్లాస్మా నిరోధకత
|
అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం (అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ అనుగుణ్యత)
|
|
స్వచ్ఛత
|
>99.9999%
|
>99.9999%
|
|
సాంద్రత (గ్రా/సెం3)
|
3.21
|
15
|
|
కాఠిన్యం (కిలో/మిమీ2)
|
2900-3300
|
6.7-7.2
|
|
రెసిస్టివిటీ [Ωcm]
|
0.1-15,000
|
<1
|
|
ఉష్ణ వాహకత (W/m-K)
|
200-360
|
22
|
|
ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం(10-6/℃)
|
4.5-5
|
6.3
|
|
అప్లికేషన్
|
సెమీకండక్టర్ ఎక్విప్‌మెంట్ సిరామిక్ జిగ్(ఫోకస్ రింగ్, షవర్ హెడ్, డమ్మీ వేఫర్)
|
SiC సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్, Epi, UV LED సామగ్రి భాగాలు
|
