ఫాబ్ ఫ్యాక్టరీలో ఏ కొలత పరికరాలు ఉన్నాయి? - వెటెక్ సెమీకండక్టర్

ఫాబ్ ఫ్యాక్టరీలో అనేక రకాల కొలత పరికరాలు ఉన్నాయి. కిందివి కొన్ని సాధారణ పరికరాలు:

ఫోటోలాథోగ్రఫీ ప్రక్రియ కొలత పరికరాలు

• ఫోటోలిథోగ్రఫీ మెషిన్ అలైన్‌మెంట్ ఖచ్చితత్వం కొలత పరికరాలు: ASML యొక్క అమరిక కొలత వ్యవస్థ వంటివి, ఇది వేర్వేరు పొర నమూనాల యొక్క ఖచ్చితమైన సూపర్‌పొజిషన్‌ను నిర్ధారించగలదు.

• ఫోటోరేసిస్ట్ మందం కొలత పరికరం: ఎలిప్సోమీటర్లు మొదలైన వాటితో సహా, కాంతి యొక్క ధ్రువణ లక్షణాల ఆధారంగా ఫోటోరేసిస్ట్ యొక్క మందాన్ని లెక్కిస్తుంది.

• ADIT మరియు AEI డిటెక్షన్ పరికరాలు: విఐపి ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్స్ యొక్క సంబంధిత గుర్తింపు పరికరాలు వంటి ఫోటోలిథోగ్రఫీ తర్వాత ఫోటోరేసిస్ట్ అభివృద్ధి ప్రభావం మరియు నమూనా నాణ్యతను గుర్తించండి.

ఎచింగ్ ప్రాసెస్ కొలత పరికరాలు

• లోతు కొలత పరికరాలను ఎచింగ్: వైట్ లైట్ ఇంటర్ఫెరోమీటర్ వంటివి, ఇది ఎచింగ్ లోతులో స్వల్ప మార్పులను ఖచ్చితంగా కొలవగలదు.

• ఎచింగ్ ప్రొఫైల్ కొలత పరికరం: ఎచింగ్ తర్వాత నమూనా యొక్క సైడ్ వాల్ కోణం వంటి ప్రొఫైల్ సమాచారాన్ని కొలవడానికి ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ లేదా ఆప్టికల్ ఇమేజింగ్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించడం.

• CD-SEM: ట్రాన్సిస్టర్లు వంటి మైక్రోస్ట్రక్చర్ల పరిమాణాన్ని ఖచ్చితంగా కొలవవచ్చు.

సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ప్రాసెస్ కొలత పరికరాలు

• ఫిల్మ్ మందం కొలిచే పరికరాలు: ఆప్టికల్ రిఫ్లెక్టోమీటర్లు, ఎక్స్-రే రిఫ్లెక్టోమీటర్లు మొదలైనవి, పొర యొక్క ఉపరితలంపై జమ చేసిన వివిధ చిత్రాల మందాన్ని కొలవగలవు.

Cressission ఫిల్మ్ స్ట్రెస్ కొలిచే పరికరాలు.

డోపింగ్ ప్రక్రియ కొలిచే పరికరాలు

• అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మోతాదు కొలిచే పరికరాలు: అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ సమయంలో పుంజం తీవ్రత వంటి పారామితులను పర్యవేక్షించడం ద్వారా అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మోతాదును నిర్ణయించండి లేదా ఇంప్లాంటేషన్ తర్వాత పొరపై విద్యుత్ పరీక్షలు చేయడం.

• డోపింగ్ ఏకాగ్రత మరియు పంపిణీ కొలిచే పరికరాలు.

CMP ప్రక్రియ కొలిచే పరికరాలు

• పోస్ట్-పాలిషింగ్ ఫ్లాట్‌నెస్ కొలిచే పరికరాలు: పాలిషింగ్ తర్వాత పొర ఉపరితలం యొక్క ఫ్లాట్‌నెస్‌ను కొలవడానికి ఆప్టికల్ ప్రొఫైలోమీటర్లు మరియు ఇతర పరికరాలను ఉపయోగించండి.

Mempance తొలగింపు తొలగింపు కొలిచే పరికరాలు: పాలిషింగ్ ముందు మరియు తరువాత పొర ఉపరితలంపై గుర్తు యొక్క లోతు లేదా మందం మార్పును కొలవడం ద్వారా పాలిషింగ్ సమయంలో తొలగించబడిన పదార్థం మొత్తాన్ని నిర్ణయించండి.

పొర కణాల గుర్తింపు పరికరాలు

• KLA SP 1/2/3/5/7 మరియు ఇతర పరికరాలు: పొర ఉపరితలంపై కణ కాలుష్యాన్ని సమర్థవంతంగా గుర్తించగలదు.

• సుడిగాలి సిరీస్.

• ఆల్ఫా-ఎక్స్ ఇంటెలిజెంట్ విజువల్ ఇన్స్పెక్షన్ ఎక్విప్మెంట్: CCD-IA ఇమేజ్ కంట్రోల్ సిస్టమ్ ద్వారా, పొర చిత్రాలను వేరు చేయడానికి మరియు పొర ఉపరితలంపై కణాలు వంటి లోపాలను గుర్తించడానికి స్థానభ్రంశం మరియు దృశ్య సెన్సింగ్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించండి.

ఇతర కొలిచే పరికరాలు

• ఆప్టికల్ మైక్రోస్కోప్: పొర ఉపరితలంపై మైక్రోస్ట్రక్చర్ మరియు లోపాలను గమనించడానికి ఉపయోగిస్తారు.

• స్కానింగ్ ఎలక్ట్రాన్ మైక్రోస్కోప్ (SEM): పొర ఉపరితలం యొక్క సూక్ష్మ పదనిర్మాణ శాస్త్రాన్ని గమనించడానికి అధిక రిజల్యూషన్ చిత్రాలను అందించగలదు.

• అటామిక్ ఫోర్స్ మైక్రోస్కోప్ (AFM): పొర ఉపరితలం యొక్క కరుకుదనం వంటి సమాచారాన్ని కొలవవచ్చు.

• ఎలిప్సోమీటర్: ఫోటోరేసిస్ట్ యొక్క మందాన్ని కొలవడంతో పాటు, సన్నని చిత్రాల మందం మరియు వక్రీభవన సూచిక వంటి పారామితులను కొలవడానికి కూడా దీనిని ఉపయోగించవచ్చు.

• నాలుగు-ప్రోబ్ టెస్టర్: పొర యొక్క రెసిస్టివిటీ వంటి విద్యుత్ పనితీరు పారామితులను కొలవడానికి ఉపయోగిస్తారు.

• ఎక్స్-రే డిఫ్రాక్టోమీటర్ (XRD): పొర పదార్థాల క్రిస్టల్ నిర్మాణం మరియు ఒత్తిడి స్థితిని విశ్లేషించవచ్చు.

• ఎక్స్-రే ఫోటోఎలెక్ట్రాన్ స్పెక్ట్రోమీటర్ (XPS): పొర ఉపరితలం యొక్క మౌళిక కూర్పు మరియు రసాయన స్థితిని విశ్లేషించడానికి ఉపయోగిస్తారు.

• ఫోకస్డ్ అయాన్ బీమ్ మైక్రోస్కోప్ (FIB): పొరలపై మైక్రో-నానో ప్రాసెసింగ్ మరియు విశ్లేషణ చేయవచ్చు.

• స్థూల ఆది పరికరాలు: సర్కిల్ మెషిన్ వంటివి, లితోగ్రఫీ తర్వాత నమూనా లోపాలను స్థూల గుర్తింపు కోసం ఉపయోగిస్తారు.

• మాస్క్ లోపం గుర్తించే పరికరాలు: లితోగ్రఫీ నమూనా యొక్క ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి ముసుగుపై లోపాలను గుర్తించండి.

• ట్రాన్స్మిషన్ ఎలక్ట్రాన్ మైక్రోస్కోప్ (TEM): పొర లోపల మైక్రోస్ట్రక్చర్ మరియు లోపాలను గమనించవచ్చు.

• వైర్‌లెస్ ఉష్ణోగ్రత కొలత పొర సెన్సార్: వివిధ రకాల ప్రాసెస్ పరికరాలకు అనువైనది, ఉష్ణోగ్రత ఖచ్చితత్వం మరియు ఏకరూపతను కొలుస్తుంది.