వార్తలు
ఉత్పత్తులు

PECVD గ్రాఫైట్ బోట్ అంటే ఏమిటి?

. PECVD గ్రాఫైట్ బోట్ యొక్క పదార్థం ఏమిటి?


యొక్క ప్రధాన పదార్థంPECVD గ్రాఫైట్ బోట్(ప్లాస్మా మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ గ్రాఫైట్ బోట్) అధిక-స్వచ్ఛతతో తయారు చేయబడిందిఐసోట్రోపిక్ గ్రాఫైట్ పదార్థం(స్వచ్ఛత సాధారణంగా ≥99.999%), మరియు ఇది ప్రత్యేక ప్రక్రియల ద్వారా సవరించబడుతుంది (రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ CVD లేదా ఉపరితల పూత వంటివి). అద్భుతమైన విద్యుత్ వాహకత మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకత (80 ~ 150 W/M · K) కారణంగా PECVD వ్యవస్థలలో అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఇదిఅధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ పదార్థంఅధిక ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో మంచి నిర్మాణ స్థిరత్వం మరియు రసాయన స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించగలదు మరియు రియాక్టివ్ వాయువులు మరియు ప్లాస్మా నుండి తుప్పును నిరోధించవచ్చు.


. గ్రాఫైట్ పడవ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు ఏమిటి?


PECVD గ్రాఫైట్ బోట్ల యొక్క భౌతిక లక్షణాలు:


● విద్యుత్ వాహకత: ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్ అద్భుతమైన విద్యుత్ వాహకతను కలిగి ఉంది, ఇది విద్యుత్ శక్తిని సమర్థవంతంగా నిర్వహించడానికి మరియు PECVD ప్రక్రియలో ప్లాస్మా యొక్క తరం మరియు నిర్వహణను ప్రోత్సహించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది.

●  ఉష్ణ వాహకత.

●  సాంద్రత: వాణిజ్య పాలీక్రిస్టలైన్ గ్రాఫైట్ యొక్క సాంద్రత 1.30 గ్రా/సెం.మీ నుండి 1.88 గ్రా/సెం.మీ. ఎక్కువ సాంద్రత, మంచి భౌతిక మరియు యాంత్రిక లక్షణాలు, ఇది ఉత్పత్తి యొక్క సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.


. సాధారణ గ్రాఫైట్ పడవతో పోలిస్తే PECVD గ్రాఫైట్ బోట్ యొక్క ప్రయోజనాలు ఏమిటి?


సాధారణ గ్రాఫైట్ పడవలతో పోలిస్తే, PECVD గ్రాఫైట్ బోట్లకు ఈ క్రింది ప్రయోజనాలు ఉన్నాయి:


కొలతలు
PECVD గ్రాఫైట్ బోట్
సాధారణ గ్రాఫైట్ పడవ
స్వచ్ఛత మరియు సాంద్రత
≥99.99%, సచ్ఛిద్రత <5%
తక్కువ స్వచ్ఛత (95 ~ 99%), అధిక సచ్ఛిద్రత (> 10%)
ఖర్చు
అధిక ప్రారంభ ఖర్చు, కానీ తక్కువ సమగ్ర నిర్వహణ ఖర్చు
తక్కువ ప్రారంభ వ్యయం, కానీ తరచుగా భర్తీ మొత్తం ఖర్చును పెంచుతుంది
కాలుష్య నియంత్రణ
అశుద్ధత కంటెంట్ <1ppm, తక్కువ కణ షెడ్డింగ్ రేటు
అధిక లోహ మలినాలు, కణ కాలుష్యం యొక్క అధిక ప్రమాదం
తుప్పు నిరోధకత
ప్లాస్మా/రసాయన తుప్పుకు వ్యతిరేకంగా పూత రక్షణ
రియాక్టివ్ వాయువుల ద్వారా సులభంగా క్షీణిస్తుంది (CL₂, O₂ వంటివి)
ప్రాసెస్ అనుకూలత
తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత, అధిక-శక్తి ప్లాస్మా పర్యావరణానికి అనుగుణంగా ఉంటుంది
అధిక-ఉష్ణోగ్రత CVD లేదా వ్యాప్తి ప్రక్రియలకు మాత్రమే అనుకూలంగా ఉంటుంది
జీవితకాలం
> 1000 ప్రాసెస్ చక్రాలు (పూత విఫలమైంది)
< 500 చక్రాల తర్వాత పొడి మరియు పగుళ్లు

. వెటెక్సెమికన్ యొక్క PECVD గ్రాఫైట్ పడవను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?


మనందరికీ తెలిసినట్లుగా, వెటెక్సెమాన్ సెమీకండక్టర్ పూత ఉత్పత్తుల యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు మరియుగ్రాఫైట్ ఉత్పత్తులుచైనాలో. మాPECVD గ్రాఫైట్ బోట్లుప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమలలో, ముఖ్యంగా PECVD మరియు CVD ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడతాయి.


గ్రాఫైట్ బోట్లను సాధారణంగా సిలికాన్ పొరలు లేదా ఇతర పదార్థాలను తీసుకెళ్లడానికి క్యారియర్‌లుగా ఉపయోగిస్తారు, ఈ పదార్థాల సురక్షితమైన నిర్వహణ మరియు రవాణాను అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు ప్లాస్మా పరిసరాలలో నిర్ధారించడానికి. ఉదాహరణకు, సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, వెటెక్సెమికన్ యొక్క PECVD గ్రాఫైట్ బోట్లు ప్లాస్మా మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడ్డాయి. గ్రాఫైట్ పడవ సిలికాన్ నైట్రైడ్ (సిన్) నిష్క్రియాత్మక పొరలు మరియు తక్కువ విద్యుద్వాహక స్థిరాంకం (తక్కువ-కె) చిత్రాలను జమ చేసే పాత్రను పోషిస్తుంది.


కాంతివిపీడన క్షేత్రంలో, సిలికాన్-ఆధారిత సన్నని-ఫిల్మ్ సౌర ఘటాలను (నిరాకార సిలికాన్ A-SI: H వంటివి) మరియు పెర్క్ సెల్ బ్యాక్ నిష్క్రియాత్మక పొరలను తయారు చేయడానికి PECVD గ్రాఫైట్ పడవలను ఉపయోగిస్తారు. వెటెక్సెమికాన్ యొక్క PECVD గ్రాఫైట్ బోట్ సిలికాన్ పొరలను సమర్థవంతంగా అంతరం చేయడం ద్వారా మరియు ఏకరీతి పూత నిక్షేపణను సాధించడానికి గ్లో ఉత్సర్గను ప్రేరేపించడం ద్వారా పూత ప్రక్రియను ఆప్టిమైజ్ చేస్తుంది.


మరీ ముఖ్యంగా, వెటెక్సెమికాన్ అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తులు మరియు సాంకేతిక సేవలను అందించగలదు మరియు మీ వాస్తవ ప్రక్రియ అవసరాలకు అనుగుణంగా వేర్వేరు స్పెసిఫికేషన్ల గ్రాఫైట్ బోట్ ఉత్పత్తులను రూపొందించవచ్చు మరియు తయారు చేయవచ్చు. వెటెక్సెమికన్‌ను ఎంచుకోవడం అంటే సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమలలో బలమైన బలం ఉన్న పరిశ్రమ నాయకుడిని ఎన్నుకోవడం. మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావడానికి మేము హృదయపూర్వకంగా ఎదురుచూస్తున్నాము.


what is a PECVD graphite boat?

సంబంధిత వార్తలు
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept