ఘన SiC ఫోకస్ రింగ్

6.ప్రధాన అప్లికేషన్ ఫీల్డ్‌లు

7. Veteksemi ఘన SiC దృష్టి రింగ్ కోర్ ప్రయోజనాలు

అద్భుతమైన ప్లాస్మా తుప్పు నిరోధకత

CF4, O2 మరియు Cl2 వంటి అత్యంత తినివేయు, అధిక-సాంద్రత కలిగిన ప్లాస్మాలకు దీర్ఘకాలం బహిర్గతం అయినప్పుడు, సాంప్రదాయ పదార్థాలు వేగవంతమైన దుస్తులు మరియు కణ కాలుష్యానికి గురవుతాయి. మా ఘనమైన SiC ఫోకస్ రింగ్ అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తుంది, క్వార్ట్జ్ లేదా అల్యూమినా వంటి పదార్థాల కంటే తుప్పు రేటు చాలా తక్కువగా ఉంటుంది. దీని అర్థం ఇది కాలక్రమేణా మృదువైన ఉపరితలాన్ని నిర్వహిస్తుంది, కాంపోనెంట్ వేర్ మరియు కన్నీటి వలన ఏర్పడే పొర లోపాల ప్రమాదాన్ని గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది, నిరంతర మరియు స్థిరమైన భారీ ఉత్పత్తిని నిర్ధారిస్తుంది.

అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం మరియు ఉష్ణ నిర్వహణ పనితీరు

సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ ప్రక్రియ గణనీయమైన వేడిని ఉత్పత్తి చేస్తుంది, దీని వలన చాంబర్ భాగాలు నాటకీయ ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులను అనుభవిస్తాయి. మా ఫోకస్ రింగ్‌లు థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ యొక్క అత్యంత తక్కువ గుణకాన్ని కలిగి ఉంటాయి, పగుళ్లు లేదా వైకల్యం లేకుండా 1600°C వరకు తాత్కాలిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలవు. ఇంకా, వాటి స్వాభావికమైన అధిక ఉష్ణ వాహకత వేడిని సమానంగా మరియు త్వరగా వెదజల్లడానికి సహాయపడుతుంది, పొర అంచు వద్ద ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది, తద్వారా మెరుగుపరుస్తుందిng మొత్తం పొర అంతటా క్లిష్టమైన కొలతలు యొక్క ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వం చెక్కడం.

అసాధారణ పదార్థ స్వచ్ఛత మరియు నిర్మాణ సాంద్రత

మేము సిలికాన్ కార్బైడ్ ముడి పదార్ధాల (≥99.999%) స్వచ్ఛతను ఖచ్చితంగా నియంత్రిస్తాము మరియు ట్రేస్ అశుద్ధ నియంత్రణ కోసం అధునాతన తయారీ ప్రక్రియల యొక్క కఠినమైన అవసరాలను తీర్చడానికి సింటరింగ్ ప్రక్రియలో లోహ కాలుష్యాన్ని తొలగిస్తాము. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ ద్వారా ఏర్పడిన దట్టమైన నిర్మాణం చాలా తక్కువ సచ్ఛిద్రతను కలిగి ఉంటుంది, ప్రక్రియ వాయువులు మరియు ఉప-ఉత్పత్తుల వ్యాప్తిని దాదాపు పూర్తిగా నిరోధిస్తుంది. ఇది పనితీరు క్షీణత మరియు అంతర్గత పదార్థ క్షీణత వలన ఏర్పడే కణాల పెరుగుదలను నిరోధిస్తుంది, స్వచ్ఛమైన ప్రక్రియ గది వాతావరణాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

దీర్ఘకాలిక యాంత్రిక జీవితం మరియు సమగ్ర ఖర్చు-ప్రభావం

తరచుగా రీప్లేస్మెంట్ అవసరమయ్యే సంప్రదాయ వినియోగ వస్తువులతో పోలిస్తే, Veteksemi ఘన SiC ఫోకస్ రింగ్‌లు అసాధారణమైన మన్నికను అందిస్తాయి. వారు తమ సేవా జీవితంలో స్థిరమైన పనితీరును కలిగి ఉంటారు, భర్తీ చక్రాలను అనేక సార్లు పొడిగిస్తారు. ఇది నేరుగా విడిభాగాల సేకరణ ఖర్చులను తగ్గించడమే కాకుండా, నిర్వహణ కోసం పరికరాల పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గించడం ద్వారా యంత్ర వినియోగాన్ని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది, ఫలితంగా వినియోగదారులకు గణనీయమైన మొత్తం ఖర్చు ప్రయోజనాలు కలుగుతాయి.

ఖచ్చితమైన పరిమాణ నియంత్రణ మరియు సౌకర్యవంతమైన అనుకూలీకరణ సేవలు

వినియోగ వస్తువుల కోసం వివిధ యంత్రాలు మరియు ప్రక్రియల యొక్క ఖచ్చితమైన అవసరాలను మేము అర్థం చేసుకున్నాము. ప్రతి ఫోకస్ రింగ్ ±0.05mm లోపల క్లిష్టమైన డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్‌లను నిర్ధారించడానికి ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ మరియు కఠినమైన పరీక్షలకు లోనవుతుంది. మేము అనుకూల పరిమాణాలు, ఉపరితల ముగింపులు (Ra ≤ 0.2μm వరకు పాలిష్ చేయడం) మరియు మీ నిర్దిష్ట ప్రాసెస్ అవసరాలు మరియు అప్లికేషన్ దృశ్యాలకు సరిగ్గా సరిపోయేలా వాహకత సర్దుబాటులతో సహా అనుకూలీకరించిన సేవలను కూడా అందిస్తాము.

వివరణాత్మక సాంకేతిక లక్షణాలు, శ్వేతపత్రాలు లేదా నమూనా పరీక్ష ఏర్పాట్ల కోసం, Veteksemi మీ ప్రాసెస్ సామర్థ్యాన్ని ఎలా మెరుగుపరుస్తుందో అన్వేషించడానికి దయచేసి మా సాంకేతిక మద్దతు బృందాన్ని సంప్రదించండి.