AMAT 0200-03201 CVD SiC వేఫర్ లిఫ్ట్ పిన్

ఉత్పత్తి లక్షణాలు

 ● అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ కోర్ + CVD SiC పూత - నిజమైన సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి కోసం నిర్మించబడింది.

 ● చక్రం తర్వాత యాంత్రిక స్థిరత్వ చక్రాన్ని కోల్పోకుండా అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎపిటాక్సీ పరుగులను నిర్వహిస్తుంది.

 ● సన్నని గోడ ఆకృతి ఉష్ణ ద్రవ్యరాశిని తగ్గిస్తుంది మరియు పొర నిర్వహణ ఖచ్చితత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

 ● SiC పొర దూకుడు ప్రక్రియ వాయువులు మరియు రసాయన శుభ్రపరచడం కోసం నిలుస్తుంది.

 ● స్మూత్, యూనిఫాం పూత అంటే తక్కువ పార్టికల్ షెడ్డింగ్ మరియు మరింత స్థిరమైన ప్రాసెసింగ్. మేము క్లిష్టమైన సెమీకండక్టర్ భాగాల కోసం CNC మ్యాచింగ్‌తో గట్టి సహనాన్ని కలిగి ఉంటాము.

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు

అప్లికేషన్లు

 ● సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ (Si EPI) - 300mm రియాక్టర్‌ల లోపల వేఫర్‌లను ఎత్తడం, ఉంచడం మరియు కదిలించడం.

 ● మీకు వేడి స్థిరత్వం, తుప్పు నిరోధకత, తక్కువ కణాలు మరియు దీర్ఘకాల జీవితకాలం అవసరమయ్యే సాధారణ సెమీకండక్టర్ పొర ప్రాసెసింగ్.

 ● AMAT ఎపిటాక్సీ ఛాంబర్‌లు మరియు అనుకూలమైన పొర నిర్వహణ వ్యవస్థలు.

VeTek సెమీకండక్టర్‌ను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి

 ● సెమీకండక్టర్ ఉపయోగం కోసం ఉద్దేశించిన అధిక స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్.

 ● ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు రసాయన నిరోధకత రెండూ ఘనమైనవి.

 ● టాలరెన్స్‌లను గట్టిగా ఉంచండి — ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ మా విషయం.

 ● AMAT, ASM, Aixtron మరియు LPEకి అనుకూలమైనది.