CVD సిలికాన్ కార్బైడ్(SiC) కోటెడ్ గ్రాఫైట్ షవర్ హెడ్

కీ ఫీచర్లు

• అల్ట్రా-అధిక స్వచ్ఛత - SiC పూత గ్రాఫైట్‌ను పూర్తిగా మూసివేస్తుంది, కాబట్టి అవుట్‌గ్యాసింగ్ లేదా లోహ కాలుష్యం ఉండదు.

• అద్భుతమైన గ్యాస్ పంపిణీ - ప్రతి షవర్ హెడ్ మొత్తం పొర అంతటా స్థిరమైన గ్యాస్ వేగాన్ని అందించడానికి మెషిన్ చేయబడింది.

• సుపీరియర్ తుప్పు నిరోధకత - CVD SiC హాలోజన్‌లు లేదా ప్రాసెస్ అవశేషాలతో చర్య తీసుకోదు. ఇది బేర్ గ్రాఫైట్ లేదా క్వార్ట్జ్ కంటే ఎక్కువ కాలం ఉంటుంది.

• అత్యుత్తమ ఉష్ణ పనితీరు - పూత గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ విస్తరణకు దగ్గరగా సరిపోతుంది, కాబట్టి వేగవంతమైన ఉష్ణోగ్రత ర్యాంప్‌ల సమయంలో పగుళ్లు ఉండవు.

• ఖచ్చితమైన తయారీ – మేము CNC మ్యాచింగ్ మరియు అంతర్గత CVD కోటింగ్‌ని ఉపయోగిస్తాము. రంధ్రపు వ్యాసాలు మరియు నమూనాలు గట్టి సహనానికి ఉంచబడతాయి.

సాంకేతిక లక్షణాలు

అప్లికేషన్లు

ఈ షవర్ హెడ్‌లు ఇందులో ఉపయోగించబడతాయి:

• సెమీకండక్టర్ CVD సిస్టమ్స్ (ఉత్పత్తి మరియు R&D రెండూ)

• PECVD పరికరాలు - తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత విద్యుద్వాహకములు

• MOCVD రియాక్టర్లు – GaN, InP వంటి III‑V సమ్మేళనాలు

• సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ (Si Epi) – పవర్ పరికరాలు మరియు CMOS కోసం

• SiC ఎపిటాక్సీ - అధిక-వోల్టేజ్ పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్

• కాంపౌండ్ సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్స్

• అధునాతన ప్యాకేజింగ్ (ఉదా., TSV లైనర్ డిపాజిషన్)

• తుప్పు-నిరోధకత, అధిక-స్వచ్ఛత గల గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూటర్ అవసరమయ్యే ఏదైనా సన్నని-ఫిల్మ్ సాధనం

VETEKని ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

• మేము వ్యాపార సంస్థ కాదు. గ్రాఫైట్ మ్యాచింగ్ నుండి చివరి CVD SiC పూత వరకు ప్రతిదీ - ఇంట్లోనే జరుగుతుంది. అంటే మేము నాణ్యత, ప్రధాన సమయం మరియు ఖర్చును నియంత్రిస్తాము.

• అంతర్గత తయారీని పూర్తి చేయండి - అవుట్‌సోర్సింగ్ ఆశ్చర్యం లేదు

• అధునాతన పూత సాంకేతికత - దట్టమైన, పిన్-హోల్ లేని CVD SiC

• కస్టమ్ ఇంజనీరింగ్ మద్దతు - మాకు మీ షవర్ హెడ్ డ్రాయింగ్ లేదా రియాక్టర్ మోడల్‌ను పంపండి

• నమ్మదగిన సెమీకండక్టర్ సరఫరా గొలుసు - మేము సంవత్సరాలుగా ఫ్యాబ్‌లు మరియు OEMలను సరఫరా చేస్తున్నాము

• మీరు ప్రతిసారీ కొత్త డిజైన్‌కు మళ్లీ అర్హత పొందాల్సిన అవసరం లేదు. మేము ఇప్పటికే అనేక సాధారణ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల (AMAT, TEL, LAM, ASM, మొదలైనవి) కోసం షవర్ హెడ్‌లను పూసుకున్నాము.