VEECO MOCVD కోసం వేఫర్ క్యారియర్ (LED ఎపిటాక్సీ)

ఉత్పత్తి లక్షణాలు:

1. దట్టమైన CVD SiC పొరతో అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ బేస్
2. స్థిరమైన LED ఎపిటాక్సీ కోసం మంచి ఉష్ణ ఏకరూపత
3. ప్రక్రియలో ఉపయోగించే NH₃, HCl మరియు ఇతర తినివేయు వాయువుల వరకు నిలుస్తుంది
4. తక్కువ కణాల తొలగింపు మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితం
5. వివిధ పొర పరిమాణాలు మరియు రియాక్టర్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల కోసం పాకెట్ డిజైన్‌లను అనుకూలీకరించవచ్చు
6. దీర్ఘకాలిక, అధిక-ఉష్ణోగ్రత MOCVD ఆపరేషన్ కోసం బాగా పనిచేస్తుంది

అప్లికేషన్లు:
ఈ పొర క్యారియర్లు LED మరియు కాంపౌండ్ సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వీటిలో:

• GaN LED ఎపిటాక్సీ
• బ్లూ-గ్రీన్ LED ఎపిటాక్సీ
• లోతైన UV LED పెరుగుదల
• Si-ఆధారిత GaN ఎపిటాక్సీ
• సాధారణ సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ తయారీ

కస్టమ్ క్యారియర్ సొల్యూషన్‌లు బహుళ LED MOCVD ప్లాట్‌ఫారమ్‌లకు సరిపోతాయి, అవి:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

సాంకేతిక ప్రయోజనాలు:

1. CVD SiC పూతమీకు మంచి సాంద్రత మరియు స్వచ్ఛతను అందించే సాంకేతికత
2. ±10 μm లోపల ఉండే పూత మందం వైవిధ్యం - థర్మల్ పనితీరు స్థిరంగా ఉండటానికి సహాయపడుతుంది
3. మంచి పొర ఫిట్ మరియు భ్రమణ స్థిరత్వం కోసం CNC మ్యాచింగ్ 3 μm ఖచ్చితత్వంతో ఉంటుంది
4. పూత బాగా అంటుకుంటుంది మరియు పునరావృతమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత MOCVD చక్రాల తర్వాత పగుళ్లను నిరోధిస్తుంది
5. NH₃, HCl మరియు ఇతర కఠినమైన ఎపిటాక్సీ పరిసరాలను ఇబ్బంది లేకుండా నిర్వహిస్తుంది
6. తక్కువ కణ ఉత్పత్తి మరియు అధిక-దిగుబడికి తోడ్పడేందుకు శుభ్రమైన ఉపరితలంLED ఎపిటాక్సీ
7. వివిధ రియాక్టర్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు మరియు పొర లేఅవుట్‌ల కోసం పెద్ద లేదా అనుకూల పరిమాణాలను పూయవచ్చు
8. తో సుదీర్ఘ అనుభవంకస్టమ్ గ్రాఫైట్ మరియు SiC-పూత భాగాలుLED మరియు సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ కోసం

తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు:
1. వేఫర్ క్యారియర్ ఏమి చేస్తుందిMOCVDLED ఎపిటాక్సీ?

A: ఇది MOCVD రియాక్టర్ లోపల పొరలను పట్టుకుని తిప్పుతుంది మరియు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో ఉష్ణోగ్రతను స్థిరంగా ఉంచడంలో సహాయపడుతుంది.

2. MOCVD కోసం SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ క్యారియర్‌లను ఎందుకు ఉపయోగించాలి?

జ: దిCVD SiC పూతమెరుగైన తుప్పు నిరోధకత, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు మన్నికను ఇస్తుంది. ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎపిటాక్సీలో కణ కాలుష్యాన్ని తగ్గించడంలో కూడా సహాయపడుతుంది.

3. Vetek సెమీకండక్టర్ అనుకూల పొర క్యారియర్‌లను తయారు చేస్తుందా?
జ: అవును. మేము మీ రియాక్టర్ ప్లాట్‌ఫారమ్, పొర పరిమాణం, పాకెట్ లేఅవుట్ మరియు ఇతర ప్రాసెస్ అవసరాల ఆధారంగా అనుకూల క్యారియర్‌లను రూపొందించవచ్చు.