8-అంగుళాల CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) కోటెడ్ ఎపిటాక్సీ టాప్ రింగ్

8 అంగుళాల SiC ఎపి టాప్ రింగ్ యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు

● అధిక స్వచ్ఛత: 99.9995% కనిష్టం. మెటల్ ఎపి-లేయర్‌లోకి మారదు. ఇది పొర క్యారియర్ ఏకాగ్రతను అవసరమైన చోట ఉంచుతుంది.

● పార్టికల్ సప్రెషన్: CVD నిర్మాణం దట్టంగా ఉంటుంది. రంధ్రాలు లేవు. సాధనం నడుస్తున్నప్పుడు ఇది కణాలను పోగొట్టదు. ఫ్యాక్టరీలు ఈ విధంగా మెరుగైన దిగుబడిని చూస్తాయి.

● హీట్ రెసిస్టెన్స్: రింగ్ 1500°C వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది. తక్కువ CTE (థర్మల్ విస్తరణ) అంటే వేగవంతమైన హీట్-అప్/కూల్-డౌన్ సైకిల్స్ సమయంలో వార్పింగ్ ఉండదు.

● రసాయన స్థిరత్వం: ఘన CVD SiC H2 మరియు HCl వాయువులను నిరోధిస్తుంది. ఇది NH3ని కూడా నిరోధిస్తుంది. ఇది ఒలిచేందుకు పూత లేదు. ఇది కఠినమైన CVD పరిసరాలలో క్షీణించదు.

● కాంపోనెంట్ లైఫ్: ఉపరితలం చాలా గట్టిగా ఉంటుంది. ఇది పదేపదే HF/HCl రసాయన క్లీనింగ్ నుండి బయటపడుతుంది. ఇది భర్తీ ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గిస్తుంది. ఇది ఫ్యాబ్ కోసం యాజమాన్యం యొక్క మొత్తం ఖర్చును కూడా తగ్గిస్తుంది.

సాంకేతిక లక్షణాలు

బ్యాచ్‌ల మధ్య పూత మందం యొక్క ఏకరూపత 10um వద్ద నియంత్రించబడుతుంది

అప్లికేషన్లు

CVD SiC ఎపి టాప్ రింగ్ ఇందులో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది:

● సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ (Si Epi) రియాక్టర్లు

● సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ (SiC Epi)

● MOCVD వ్యవస్థలు

● CVD నిక్షేపణ పరికరాలు

సాధారణంగా జత చేయబడింది:

● ససెప్టర్లు

● పొర వాహకాలు

● రింగ్‌లను ముందుగా వేడి చేయండి

● ఎపిటాక్సీ రియాక్టర్లు

VETEK SiC ఎపి టాప్ రింగ్ ఎందుకు హుస్?

● పూర్తి తయారీ సామర్థ్యం: 

ముడి పదార్థాల శుద్దీకరణ నుండి ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ మరియు CVD పూత వరకు, స్థిరమైన సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి VETEK మొత్తం ఉత్పత్తి ప్రక్రియను నియంత్రిస్తుంది.

● అధిక ఖచ్చితత్వం: 

మేము మైక్రాన్-స్థాయి మ్యాచింగ్‌ని ఉపయోగిస్తాము. CVD మందం చాలా ఏకరీతిగా ఉంటుంది. ఇది ప్రతి రింగ్ సరిగ్గా అదే విధంగా పని చేస్తుంది.

తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు

(1) SiC ఎపి టాప్ రింగ్ ఏమి చేస్తుంది?

రింగ్ వేడి మరియు వాయువు ప్రవాహాన్ని నిర్వహిస్తుంది. ఇది సన్నని పొర పొర అంతటా సమానంగా పెరిగేలా చేస్తుంది.

(2) గ్రాఫైట్ కంటే CVD SiC ఎందుకు మంచిది?

గ్రాఫైట్ పోరస్. గ్రాఫైట్ రంధ్రాలను కలిగి ఉంటుంది మరియు వాయువును విడుదల చేస్తుంది. ఘన CVD SiC దట్టంగా మరియు శుభ్రంగా ఉంటుంది. తినివేయు సాధనాల్లో ఇది చాలా కాలం పాటు ఉంటుంది.

(3).8 అంగుళాల SiC టాప్ రింగ్‌ని అనుకూలీకరించవచ్చా?

అవును. మేము మీ నిర్దిష్ట టూల్ డ్రాయింగ్‌లను రూపొందించాము. మేము మీ ప్రక్రియ ఆధారంగా జ్యామితిని సర్దుబాటు చేయవచ్చు.

(4) ఏ పరిశ్రమలు SiC ఎపిటాక్సీ రింగులను ఉపయోగిస్తాయి?

విద్యుత్ పరికరాలు, RF పరికరాలు మరియు SiC పొర ఉత్పత్తితో సహా సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఇవి ప్రధానంగా ఉపయోగించబడతాయి.