Sic edge రింగ్

సెమీకండక్టర్ తయారీ రంగంలో, SIC ఎడ్జ్ రింగులు, పొర ప్రాసెసింగ్ పరికరాల యొక్క ప్రధాన భాగాలుగా, పారిశ్రామిక ప్రకృతి దృశ్యాన్ని వాటి భౌతిక లక్షణాలతో విప్లవాత్మకంగా మారుస్తున్నాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ స్ఫటికాలతో తయారు చేసిన ఈ ఖచ్చితమైన భాగం యొక్క విలువ దాని హైటెక్ కంటెంట్‌లోనే కాకుండా, చిప్ తయారీదారులకు తీసుకురాగల దిగుబడిలో గణనీయమైన మెరుగుదల మరియు నిర్వహణ వ్యయాల ఆప్టిమైజేషన్‌లో కూడా ఉంది.

సిక్ ఎడ్జ్ రింగ్ నిర్మాణ లక్షణాలు

సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎడ్జ్ రింగులు సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ పరికరాలలో కీలకమైన భాగాలు మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) పద్ధతి ద్వారా తయారు చేయబడిన అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థాలతో తయారు చేయబడతాయి. దాని వార్షిక నిర్మాణం యొక్క వ్యాసం సాధారణంగా 200-450 మిమీ, మరియు మందం 5-15 మిమీ లోపల నియంత్రించబడుతుంది, ఇది ఈ క్రింది లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది:

1.ఎక్స్ట్రీమ్ టాలరెన్స్: 1500 of యొక్క అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాన్ని తట్టుకోగలదు

2. ప్లాస్మా స్థిరత్వం: విద్యుద్వాహక స్థిరాంకం 9.7, బ్రేక్‌డౌన్ వోల్టేజ్ 3 ఎంవి/సెం.మీ.

3. రేఖాగణిత ఖచ్చితత్వం: రౌండ్నెస్ లోపం ≤0.05 మిమీ, ఉపరితల కరుకుదనం రా <0.2μm

ఉత్పాదక ప్రక్రియలో పురోగతి

ఆధునిక తయారీ ప్రక్రియ మూడు-దశల పద్ధతిని అవలంబిస్తుంది:

1. మాతృక ఏర్పడటం: ఐసోస్టాటిక్ నొక్కడం ఏర్పడటం ఏకరీతి సాంద్రతను నిర్ధారిస్తుంది

2. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్: 2100 వద్ద జడ వాతావరణంలో సాంద్రత చికిత్స

3. ఉపరితల సవరణ: రియాక్టివ్ అయాన్ ఎచింగ్ (RIE) ద్వారా నానోస్కేల్ రక్షణ పొరలు ఏర్పడతాయి. 3% బోరాన్‌తో డోప్ చేసిన సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎడ్జ్ రింగుల సేవా జీవితం 40% పెరుగుతుందని, మరియు పొర కాలుష్యం రేటు 0.01ppm స్థాయికి తగ్గించబడిందని తాజా పరిశోధన చూపిస్తుంది.

అప్లికేషన్ దృశ్యాలు

ఇది 5nm కంటే తక్కువ ప్రక్రియలలో అసంబద్ధతను చూపిస్తుంది:

2. ఎచింగ్ ఏకరూపత: ఇది పొర అంచు వద్ద ± 1.5% ఎచింగ్ రేట్ విచలనాన్ని నిర్వహించగలదు

3. కాలుష్య నియంత్రణ: సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పదార్థాలతో పోలిస్తే ఇది లోహ కాలుష్యాన్ని 92% తగ్గిస్తుంది

4. నిర్వహణ చక్రం: ఇది CF4/O2 ప్లాస్మాలో 1500 గంటలు నిరంతరం పనిచేయగలదు

SIC ఎడ్జ్ రింగుల యొక్క దేశీయ ఉత్పత్తిలో వెటెక్సెమికాన్ పురోగతిని సాధించింది, ఇది చాలా ఖర్చు ఖర్చులను ఆదా చేస్తుంది. ఎప్పుడైనా మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి స్వాగతం!