CVD టాంటాలమ్ కార్బైడ్(TaC) కోటెడ్ ససెప్టర్

కీ ఫీచర్లు

అప్లికేషన్లు

సాధారణ అప్లికేషన్లు ఉన్నాయి:

• SiC ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్

• GaN MOCVD ఎపిటాక్సీ

• AlN ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్

• మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ తయారీ

• హై-పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్

• RF పరికరాలు

• MicroLED ఉత్పత్తి

• పరిశోధన మరియు పైలట్ ఉత్పత్తి వ్యవస్థలు

అనుకూలమైన పరికరాలు

అనుకూల ప్లాట్‌ఫారమ్‌లలో ఇవి ఉన్నాయి:

• Aixtron

• LPE

• వీకో

• AMEC

• NuFlare

• అనుకూల CVD & MOCVD రియాక్టర్లు

ఇవి కూడా అందుబాటులో ఉన్నాయి:

• వేఫర్ క్యారియర్లు

• ప్లానెటరీ ససెప్టర్లు

• బారెల్ ససెప్టర్లు

• రొటేషన్ డిస్క్‌లు

• హాఫ్-మూన్ భాగాలు

• కవర్ ప్లేట్లు

• గ్రాఫైట్ అసెంబ్లీలు

• కస్టమ్ థర్మల్ ఫీల్డ్ భాగాలు

సాంకేతిక లక్షణాలు

తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు

1. CVD TaC కోటెడ్ ససెప్టర్ అంటే ఏమిటి?

ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో పొర క్యారియర్‌గా ఉపయోగించే దట్టమైన CVD TaC పూతతో రక్షించబడిన అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ భాగం.

2. TaC coa ఎందుకు ఉపయోగించాలిSiC పూతకు బదులుగా టింగ్ చేయాలా?

TaC అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, ఉన్నతమైన రసాయన స్థిరత్వం మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని అందిస్తుంది.

3.ఏ సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలు TaC-cని ఉపయోగిస్తాయిఓటెడ్ ససెప్టార్స్?

SiC ఎపిటాక్సీ, GaN MOCVD, AlN ఎపిటాక్సీ మరియు ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్రిస్టల్ వృద్ధి ప్రక్రియలు.

4. VETEK అనుకూలీకరించిన ససెప్టర్లను తయారు చేయగలదా?

అవును. మేము కస్టమర్ డ్రాయింగ్‌లు మరియు ప్రాసెస్ అవసరాల ఆధారంగా అనుకూలీకరించిన డిజైన్‌లను అందిస్తాము.

5. ఏ రియాక్టర్ బ్రాండ్‌లకు మద్దతు ఉంది?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare మరియు ఇతర ప్రధాన స్రవంతి వ్యవస్థలు.