పోరస్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) కోటెడ్ గ్రాఫైట్ రింగ్

ఉత్పత్తి లక్షణాలు

• ప్రధాన సామగ్రి:PVT టెక్నాలజీతో పనిచేసే SiC సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్‌ల కోసం ఉద్దేశించబడింది.
• ప్రాథమిక అప్లికేషన్:మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్‌లో థర్మల్ ఫీల్డ్ సిస్టమ్‌లకు అనుకూలం.
• అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం:TaC పూత అతి-అధిక ఉష్ణోగ్రతల క్రింద నిర్మాణ సమగ్రతను కలిగి ఉంటుంది, డిమాండ్ థర్మల్ పరిసరాలలో పొడిగించిన ఆపరేషన్‌కు మద్దతు ఇస్తుంది.
• తుప్పు రక్షణ:దట్టమైన CVD TaC పొర గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను సిలికాన్ ఆవిరి, కార్బన్-బేరింగ్ వాయువులు మరియు SiC పెరుగుదల సమయంలో ఎదురయ్యే ఇతర తినివేయు జాతుల నుండి రక్షిస్తుంది.
• థర్మల్ ఫీల్డ్ పనితీరు:పోరస్ గ్రాఫైట్ బేస్ ఉష్ణ పంపిణీ మరియు ఆవిరి రవాణాలో సహాయపడుతుంది, ఇది స్థిరమైన వృద్ధి పరిస్థితులను నిర్వహించడానికి సహాయపడుతుంది.
• తక్కువ కాలుష్యం:అధిక-స్వచ్ఛత ప్రారంభ పదార్థాలు మరియు దట్టమైన పూత మలినాలను విడుదల చేయడం మరియు కణాల తొలగింపును పరిమితం చేస్తాయి, ఇది క్రిస్టల్ నాణ్యతకు ప్రయోజనం చేకూరుస్తుంది.
• పొడిగించిన జీవితకాలం:TaC పొర ఆక్సీకరణ నిరోధకతను, ఉపరితల కాఠిన్యాన్ని మరియు ఎత్తైన ఉష్ణోగ్రతల వద్ద మొత్తం మన్నికను మెరుగుపరుస్తుంది.
• పూత సంశ్లేషణ:CVD ప్రక్రియ TaC ఫిల్మ్ మరియు గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య బలమైన బంధాన్ని అందిస్తుంది.
• అనుకూల ఎంపికలు:వివిధ SiC గ్రోత్ ఫర్నేస్ అవసరాలకు సరిపోయేలా కొలతలు, నిర్మాణ వివరాలు మరియు పూత లక్షణాలు సర్దుబాటు చేయబడతాయి.

సాంకేతిక లక్షణాలు

అప్లికేషన్లు

VETEK పోరస్ TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ రింగ్ ప్రధానంగా ఇందులో ఉపయోగించబడుతుంది:

• PVT ద్వారా SiC సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల
• మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ తయారీ
• SiC ఉపరితల ఉత్పత్తి
• క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్‌లలో థర్మల్ ఫీల్డ్ సిస్టమ్స్
• అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్
• అధునాతన గ్రాఫైట్ హాట్-జోన్ భాగాలు

తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు

1. పోరస్ TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ రింగ్ అంటే ఏమిటి?

ఇది SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్‌లకు థర్మల్ ఫీల్డ్ భాగం. ఇది థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత తుప్పు నుండి రక్షణను అందించడానికి CVD TaC పూతతో పోరస్ గ్రాఫైట్ నిర్మాణాన్ని మిళితం చేస్తుంది.

2. SiC క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు TaC కోటింగ్‌ను ఎందుకు ఉపయోగించాలి?

TaC అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం మరియు రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది. ఇది సిలికాన్ ఆవిరి దాడి నుండి గ్రాఫైట్‌ను రక్షిస్తుంది మరియు శుభ్రమైన, స్థిరమైన వృద్ధి వాతావరణాన్ని నిర్వహించడానికి సహాయపడుతుంది.

3. పోరస్ గ్రాఫైట్ నిర్మాణం ఏమి అందిస్తుంది?

పోరస్ డిజైన్ ఫర్నేస్ లోపల ఉష్ణ పంపిణీ మరియు గ్యాస్ రవాణాకు మద్దతు ఇస్తుంది, ఇది స్థిరమైన SiC క్రిస్టల్ పెరుగుదల పరిస్థితులకు దోహదం చేస్తుంది.

4. VETEK అనుకూలీకరించిన TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ రింగులను ఉత్పత్తి చేయగలదా?

అవును. VETEK కస్టమర్ డ్రాయింగ్‌లు, ఫర్నేస్ డిజైన్‌లు మరియు కొలతలు, సబ్‌స్ట్రేట్ కాన్ఫిగరేషన్ మరియు పూత పారామితులతో సహా ప్రాసెస్ అవసరాల ఆధారంగా అనుకూలీకరణను అందిస్తుంది.