సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ వేఫర్ బోట్ అంటే ఏమిటి?

సెమీకండక్టర్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో, పొరల నిర్వహణ, మద్దతు మరియు ఉష్ణ చికిత్స ఒక ప్రత్యేక సహాయక భాగం-వేఫర్ బోట్‌పై ఆధారపడతాయి. ప్రక్రియ ఉష్ణోగ్రతలు పెరగడం మరియు శుభ్రత మరియు కణ నియంత్రణ అవసరాలు పెరిగేకొద్దీ, సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పొర పడవలు క్రమంగా స్వల్ప సేవా జీవితం, అధిక రూపాంతరం రేట్లు మరియు పేలవమైన తుప్పు నిరోధకత వంటి సమస్యలను వెల్లడిస్తాయి.సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సిరామిక్ పొర పడవలుఈ సందర్భంలో ఉద్భవించింది మరియు హై-ఎండ్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలలో కీలక క్యారియర్‌గా మారింది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) అనేది ఇంజనీరింగ్ సిరామిక్ పదార్థం, ఇది అధిక కాఠిన్యం, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వాన్ని మిళితం చేస్తుంది. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ ద్వారా ఏర్పడిన SiC సెరామిక్స్, ఉన్నతమైన థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్‌ను ప్రదర్శించడమే కాకుండా ఆక్సీకరణ మరియు తినివేయు వాతావరణాలలో స్థిరమైన నిర్మాణం మరియు పరిమాణాన్ని కూడా నిర్వహిస్తుంది. తత్ఫలితంగా, పొర పడవ రూపంలో తయారు చేయబడినప్పుడు, ఇది వ్యాప్తి, ఎనియలింగ్ మరియు ఆక్సీకరణ వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలకు విశ్వసనీయంగా మద్దతు ఇస్తుంది, ఇది 1100 ° C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పనిచేసే ఉష్ణ ప్రక్రియలకు ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా ఉంటుంది.

పొర పడవల నిర్మాణం సాధారణంగా బహుళ-లేయర్డ్, సమాంతర గ్రిడ్ కాన్ఫిగరేషన్‌తో రూపొందించబడింది, డజన్ల కొద్దీ లేదా వందల కొద్దీ పొరలను ఏకకాలంలో పట్టుకోగలదు. థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లను నియంత్రించడంలో SiC సెరామిక్స్ యొక్క ప్రయోజనాలు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ర్యాంప్-అప్ మరియు ర్యాంప్-డౌన్ ప్రక్రియల సమయంలో వాటిని థర్మల్ డిఫార్మేషన్ లేదా మైక్రోక్రాకింగ్‌కు తక్కువ అవకాశం కల్పిస్తాయి. అదనంగా, మెటల్ మలినాలను ఖచ్చితంగా నియంత్రించవచ్చు, అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద కాలుష్య ప్రమాదాలను గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది. పవర్ పరికరాలు, SiC MOSFETలు, MEMS మరియు ఇతర ఉత్పత్తుల తయారీ వంటి శుభ్రతకు అత్యంత సున్నితమైన ప్రక్రియలకు ఇది వాటిని అత్యంత అనుకూలంగా చేస్తుంది.

సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పొర పడవలతో పోలిస్తే, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు సాధారణంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత, తరచుగా థర్మల్ సైక్లింగ్ పరిస్థితులలో 3-5 రెట్లు ఎక్కువ సేవా జీవితాన్ని కలిగి ఉంటాయి. వాటి అధిక దృఢత్వం మరియు వైకల్యానికి నిరోధకత మరింత స్థిరమైన పొర అమరికను అనుమతిస్తుంది, ఇది దిగుబడిని మెరుగుపరచడంలో సహాయపడుతుంది. మరీ ముఖ్యంగా, SiC పదార్థాలు తరచుగా వేడెక్కడం మరియు శీతలీకరణ చక్రాల సమయంలో కనిష్ట డైమెన్షనల్ మార్పులను నిర్వహిస్తాయి, పొర అంచు చిప్పింగ్ లేదా పొర పడవ వైకల్యం వల్ల ఏర్పడే కణాల తొలగింపును తగ్గిస్తుంది.

తయారీ పరంగా, సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర పడవలు సాధారణంగా రియాక్షన్ సింటరింగ్ (RBSiC), దట్టమైన సింటరింగ్ (SSiC) లేదా ఒత్తిడి-సహాయక సింటరింగ్ ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడతాయి. కొన్ని హై-ఎండ్ ఉత్పత్తులు పొర-స్థాయి ఖచ్చితత్వ అవసరాలను తీర్చడానికి ఖచ్చితమైన CNC మ్యాచింగ్ మరియు ఉపరితల పాలిషింగ్‌ను కూడా ఉపయోగిస్తాయి. వివిధ తయారీదారుల మధ్య ఫార్ములా నియంత్రణ, అశుద్ధ నిర్వహణ మరియు సింటరింగ్ ప్రక్రియలలో సాంకేతిక వ్యత్యాసాలు నేరుగా పొర పడవల తుది పనితీరును ప్రభావితం చేస్తాయి.

పారిశ్రామిక అనువర్తనాల్లో, సాంప్రదాయ సిలికాన్ పరికరాల నుండి మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌ల వరకు థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియలలో సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు అత్యాధునిక పరికరాల తయారీదారులకు క్రమంగా ప్రాధాన్య ఎంపికగా మారుతున్నాయి. అవి నిలువు ట్యూబ్ ఫర్నేసులు మరియు క్షితిజ సమాంతర ఆక్సీకరణ ఫర్నేసులు వంటి వివిధ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలకు మాత్రమే సరిపోవు, కానీ అధిక-ఉష్ణోగ్రత, అత్యంత తినివేయు వాతావరణంలో వాటి స్థిరమైన పనితీరు ప్రక్రియ స్థిరత్వం మరియు పరికరాల సామర్థ్యానికి బలమైన హామీలను అందిస్తుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు క్రమంగా ప్రాచుర్యం పొందడం సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క ప్రధాన మద్దతు భాగాలలోకి చొచ్చుకుపోయే అధునాతన సిరామిక్ పదార్థాల త్వరణాన్ని సూచిస్తుంది. సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పదార్థాలతో పోలిస్తే, అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం, నిర్మాణ దృఢత్వం మరియు ఉష్ణ అలసట నిరోధకతలో వాటి ప్రయోజనాలు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు మరింత కఠినమైన ప్రక్రియ విండోల యొక్క నిరంతర పరిణామానికి నమ్మదగిన మెటీరియల్ పునాదిని అందిస్తాయి. ప్రస్తుతం, 6-అంగుళాల మరియు 8-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విద్యుత్ పరికరాల యొక్క భారీ ఉత్పత్తి ఉష్ణ చికిత్స ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. 12-అంగుళాల స్పెసిఫికేషన్ క్రమంగా అధిక-ముగింపు ప్రక్రియలు మరియు అధునాతన ఉత్పత్తి మార్గాలలో ప్రవేశపెట్టబడుతోంది, ఇది తదుపరి దశ పరికరాలు మరియు మెటీరియల్ సహకారానికి ముఖ్యమైన దిశగా మారింది. అదే సమయంలో, LED సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ప్రాసెస్ వెరిఫికేషన్ వంటి పరిశోధనా ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు మరియు నిర్దిష్ట ప్రక్రియ దృశ్యాలలో 2-4 అంగుళాల పొర పడవలు పాత్రను కొనసాగిస్తాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు స్థిరత్వం, పరిమాణ నియంత్రణ మరియు పొర సామర్థ్యంలో ఎక్కువ ప్రయోజనాలను ప్రదర్శిస్తాయి, సంబంధిత సిరామిక్ మెటీరియల్స్ టెక్నాలజీ యొక్క నిరంతర పరిణామాన్ని నడిపిస్తాయి.