ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్
  • SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్

SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్

Veteksemicon SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్ అనేది డిమాండ్ సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్‌ల కోసం రూపొందించబడిన ఒక ప్రధాన భాగం. అధునాతన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD)ని ఉపయోగించి, ఈ ఉత్పత్తి అధిక-శక్తి గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్‌పై దట్టమైన, అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూతను ఏర్పరుస్తుంది, దీని ఫలితంగా ఉన్నతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం మరియు తుప్పు నిరోధకత ఏర్పడుతుంది. ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ పరిసరాలలో రియాక్టెంట్ వాయువుల యొక్క తినివేయు ప్రభావాలను సమర్థవంతంగా నిరోధిస్తుంది, కణాల కాలుష్యాన్ని గణనీయంగా అణిచివేస్తుంది, స్థిరమైన ఎపిటాక్సియల్ మెటీరియల్ నాణ్యత మరియు అధిక దిగుబడిని నిర్ధారిస్తుంది మరియు రియాక్షన్ ఛాంబర్ యొక్క నిర్వహణ చక్రం మరియు జీవితకాలాన్ని గణనీయంగా పొడిగిస్తుంది. SiC మరియు GaN వంటి వైడ్-బ్యాండ్‌గ్యాప్ సెమీకండక్టర్ల తయారీ సామర్థ్యాన్ని మరియు విశ్వసనీయతను మెరుగుపరచడానికి ఇది ఒక కీలక ఎంపిక.

సాధారణ ఉత్పత్తి సమాచారం

మూల ప్రదేశం:
చైనా
బ్రాండ్ పేరు:
నా ప్రత్యర్థి
మోడల్ సంఖ్య:
SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ ఛాంబర్-01
ధృవీకరణ:
ISO9001

ఉత్పత్తి వ్యాపార నిబంధనలు

కనిష్ట ఆర్డర్ పరిమాణం:
చర్చలకు లోబడి ఉంటుంది
ధర:
అనుకూలీకరించిన కొటేషన్ కోసం సంప్రదించండి
ప్యాకేజింగ్ వివరాలు:
ప్రామాణిక ఎగుమతి ప్యాకేజీ
డెలివరీ సమయం:
డెలివరీ సమయం: ఆర్డర్ నిర్ధారణ తర్వాత 30-45 రోజులు
చెల్లింపు నిబంధనలు:
T/T
సరఫరా సామర్థ్యం:
100యూనిట్లు/నెల

అప్లికేషన్: Veteksemicon SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్ డిమాండ్ సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడింది. అత్యంత స్వచ్ఛమైన మరియు స్థిరమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాన్ని అందించడం ద్వారా, ఇది SiC మరియు GaN ఎపిటాక్సియల్ పొరల నాణ్యతను గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది, ఇది అధిక-పనితీరు గల పవర్ చిప్‌లు మరియు RF పరికరాల తయారీకి కీలకమైన మూలస్తంభంగా మారుతుంది.

అందించగల సేవలు: కస్టమర్ అప్లికేషన్ దృష్టాంతం విశ్లేషణ, సరిపోలే పదార్థాలు, సాంకేతిక సమస్య పరిష్కారం.

కంపెనీ ప్రొఫైల్వెటెక్సెమికాన్ 2 ప్రయోగశాలలను కలిగి ఉంది, 20 సంవత్సరాల మెటీరియల్ అనుభవం కలిగిన నిపుణుల బృందం, R&D మరియు ఉత్పత్తి, పరీక్ష మరియు ధృవీకరణ సామర్థ్యాలతో.


సాంకేతిక పారామితులు

ప్రాజెక్ట్
పరామితి
బేస్ మెటీరియల్
అధిక బలం గల గ్రాఫైట్
పూత ప్రక్రియ
CVD SiC పూత
పూత మందం
కస్టమర్ ప్రక్రియకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరణ అందుబాటులో ఉందిఅవసరాలు (సాధారణ విలువ: 100±20μm).
స్వచ్ఛత
> 99.9995% (SiC పూత)
గరిష్ట ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత
> 1650°C
ఉష్ణ వాహకత
120 W/m·K
వర్తించే ప్రక్రియలు
SiC ఎపిటాక్సీ, GaN ఎపిటాక్సీ, MOCVD/CVD
అనుకూల పరికరాలు
ప్రధాన స్రవంతి ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్లు (ఐక్స్ట్రాన్ మరియు ASM వంటివి)


నా ప్రత్యర్థి SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ ఛాంబర్ కోర్ ప్రయోజనాలు


1. సూపర్ తుప్పు నిరోధకత

నా ప్రత్యర్థి యొక్క రియాక్షన్ ఛాంబర్ సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై అత్యంత దట్టమైన, అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతను జమ చేయడానికి యాజమాన్య CVD ప్రక్రియను ఉపయోగిస్తుంది. ఈ పూత HCl మరియు H2 వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత తినివేయు వాయువుల కోతను సమర్థవంతంగా నిరోధిస్తుంది, సాధారణంగా SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో ఎదుర్కొంటుంది, దీర్ఘకాలిక ఉపయోగం తర్వాత సాంప్రదాయ గ్రాఫైట్ భాగాలలో సంభవించే ఉపరితల సచ్ఛిద్రత మరియు కణాల తొలగింపు సమస్యలను ప్రాథమికంగా పరిష్కరిస్తుంది. వందల గంటల నిరంతర ఆపరేషన్ తర్వాత కూడా రియాక్షన్ ఛాంబర్ లోపలి గోడ మృదువైనదిగా ఉండేలా ఈ లక్షణం నిర్ధారిస్తుంది, ఛాంబర్ కాలుష్యం వల్ల ఏర్పడే పొర లోపాలను గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది.


2. అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం

సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క అద్భుతమైన ఉష్ణ లక్షణాలకు ధన్యవాదాలు, ఈ ప్రతిచర్య గది 1600 ° C వరకు నిరంతర ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రతలను సులభంగా తట్టుకోగలదు. థర్మల్ విస్తరణ యొక్క అతి తక్కువ గుణకం, భాగాలు పదేపదే వేగవంతమైన వేడి మరియు శీతలీకరణ సమయంలో ఉష్ణ ఒత్తిడిని చేరడం, మైక్రోక్రాక్‌లు లేదా థర్మల్ అలసట వల్ల ఏర్పడే నిర్మాణ నష్టాన్ని నివారిస్తుందని నిర్ధారిస్తుంది. ఈ అత్యుత్తమ ఉష్ణ స్థిరత్వం ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలకు కీలకమైన ప్రక్రియ విండో మరియు విశ్వసనీయత హామీని అందిస్తుంది, ప్రత్యేకించి అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలు అవసరమయ్యే SiC హోమోపిటాక్సీ.


3. అధిక స్వచ్ఛత మరియు తక్కువ కాలుష్యం

తుది పరికరం పనితీరుపై ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ నాణ్యత యొక్క నిర్ణయాత్మక ప్రభావం గురించి మాకు బాగా తెలుసు. అందువల్ల, Veteksemicon అత్యధిక పూత స్వచ్ఛతను అనుసరిస్తుంది, ఇది 99.9995% కంటే ఎక్కువ స్థాయికి చేరుకుంటుంది. అటువంటి అధిక స్వచ్ఛత అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ప్రక్రియ వాతావరణంలోకి లోహ మలినాలను (Fe, Cr, Ni మొదలైనవి) తరలించడాన్ని సమర్థవంతంగా అణిచివేస్తుంది, తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ క్రిస్టల్ నాణ్యతపై ఈ మలినాలు యొక్క ప్రాణాంతక ప్రభావాన్ని నివారిస్తుంది. ఇది అధిక-పనితీరు, అధిక-విశ్వసనీయ శక్తి సెమీకండక్టర్‌లు మరియు రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ పరికరాల తయారీకి ఘనమైన మెటీరియల్ పునాదిని వేస్తుంది.


4. లాంగ్ లైఫ్ డిజైన్

అన్‌కోటెడ్ లేదా సాంప్రదాయ గ్రాఫైట్ భాగాలతో పోలిస్తే, SiC పూతలతో రక్షించబడిన ప్రతిచర్య గదులు అనేక రెట్లు ఎక్కువ సేవా జీవితాన్ని అందిస్తాయి. ఇది ప్రాథమికంగా ఉపరితలం యొక్క పూత యొక్క సమగ్ర రక్షణ కారణంగా, తినివేయు ప్రక్రియ వాయువులతో ప్రత్యక్ష సంబంధాన్ని నిరోధించడం. ఈ పొడిగించిన జీవితకాలం నేరుగా గణనీయమైన వ్యయ ప్రయోజనాలకు అనువదిస్తుంది-కస్టమర్‌లు పరికరాల పనికిరాని సమయం, విడిభాగాల సేకరణ మరియు ఛాంబర్ భాగాలను కాలానుగుణంగా భర్తీ చేయడంతో సంబంధం ఉన్న నిర్వహణ లేబర్ ఖర్చులను గణనీయంగా తగ్గించవచ్చు, తద్వారా మొత్తం ఉత్పత్తి నిర్వహణ ఖర్చులను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది.


5. ఎకోలాజికల్ చైన్ వెరిఫికేషన్ ఎండార్స్‌మెంట్

నా ప్రత్యర్థి SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్' ఎకోలాజికల్ చైన్ వెరిఫికేషన్ ఉత్పత్తికి ముడి పదార్థాలను కవర్ చేస్తుంది, అంతర్జాతీయ ప్రమాణాల ధృవీకరణను ఆమోదించింది మరియు సెమీకండక్టర్ మరియు కొత్త శక్తి క్షేత్రాలలో దాని విశ్వసనీయత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి అనేక పేటెంట్ టెక్నాలజీలను కలిగి ఉంది.


వివరణాత్మక సాంకేతిక లక్షణాలు, శ్వేతపత్రాలు లేదా నమూనా పరీక్ష ఏర్పాట్ల కోసం, Veteksemicon మీ ప్రాసెస్ సామర్థ్యాన్ని ఎలా మెరుగుపరుస్తుందో అన్వేషించడానికి దయచేసి మా సాంకేతిక మద్దతు బృందాన్ని సంప్రదించండి.


ప్రధాన అప్లికేషన్ ఫీల్డ్‌లు

అప్లికేషన్ దిశ
విలక్షణ దృశ్యం
పవర్ సెమీకండక్టర్ తయారీ
SiC MOSFET మరియు డయోడ్ ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల
RF పరికరాలు
GaN-on-SiC RF పరికరం ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ
ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్స్
LED మరియు లేజర్ ఎపిటాక్సియల్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్రాసెసింగ్

హాట్ ట్యాగ్‌లు: SiC కోటెడ్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇ-మెయిల్

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు.గోప్యతా విధానం
తిరస్కరించుఅంగీకరించు