MOCVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్

సాంకేతిక పారామితులు

CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్

ఉత్పత్తి నిర్వచనం మరియు కూర్పు

VETEK MOCVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది GaN మరియు SiC వంటి మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ల యొక్క ఎపిటాక్సియల్ ప్రాసెసింగ్ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన ప్రీమియం పొర-వాహక భాగం. ఈ ఉత్పత్తి రెండు అధిక-పనితీరు గల పదార్థాల యొక్క ఉన్నతమైన భౌతిక లక్షణాలను అనుసంధానిస్తుంది:

హై-ప్యూరిటీ గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్: బేస్ మెటీరియల్ అసాధారణమైన నిర్మాణ సమగ్రత, అధిక సాంద్రత మరియు థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉండేలా ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించి తయారు చేయబడింది.

CVD SiC పూత: ఆధునిక రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) సాంకేతికత ద్వారా గ్రాఫైట్ ఉపరితలంపై దట్టమైన, ఒత్తిడి లేని సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) రక్షిత పొరను పెంచుతారు.

VETEK ఎందుకు మీ దిగుబడి గ్యారెంటీ

థర్మల్ యూనిఫార్మిటీ కంట్రోల్‌లో అల్టిమేట్ ప్రెసిషన్: సాంప్రదాయిక క్యారియర్‌ల వలె కాకుండా, VETEK ససెప్టర్లు పూత మందం మరియు ఉష్ణ నిరోధకత యొక్క నానోమీటర్-స్కేల్ ఖచ్చితమైన నియంత్రణ ద్వారా మొత్తం ఉపరితలం అంతటా అత్యంత సమకాలీకరించబడిన ఉష్ణ బదిలీని సాధిస్తాయి. ఈ అధునాతన థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ పొర ఉపరితలంపై తరంగదైర్ఘ్యం ప్రమాణ విచలనాన్ని (STD) సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది, సింగిల్-వేఫర్ నాణ్యత మరియు మొత్తం బ్యాచ్ అనుగుణ్యత రెండింటినీ గణనీయంగా పెంచుతుంది.

జీరో పార్టికల్ కాలుష్యంతో దీర్ఘకాలిక రక్షణ: అత్యంత తినివేయు వాయువులను కలిగి ఉన్న MOCVD రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లలో, సాధారణ గ్రాఫైట్ పీఠాలు కణ ఫ్లేకింగ్‌కు గురవుతాయి. VETEK యొక్క CVD SiC పూత అసాధారణమైన రసాయన జడత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది, గ్రాఫైట్ మైక్రోపోర్‌లను మూసివేసే అభేద్యమైన షీల్డ్‌గా పనిచేస్తుంది. ఇది GaN లేదా SiC ఎపిటాక్సియల్ పొరల కలుషితాన్ని నివారిస్తుంది, సబ్‌స్ట్రేట్ మలినాలను పూర్తిగా వేరుచేయడాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

అసాధారణమైన అలసట నిరోధకత మరియు సేవా జీవితం:VETEK యొక్క యాజమాన్య ఇంటర్‌ఫేస్ చికిత్స ప్రక్రియకు ధన్యవాదాలు, మా SiC పూత గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్‌తో ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ మ్యాచ్‌ను సాధించింది. విపరీతమైన ఉష్ణోగ్రతల మధ్య అధిక-పౌనఃపున్య థర్మల్ సైక్లింగ్‌లో కూడా, పూత పై తొక్కకుండా లేదా మైక్రో క్రాక్‌లను అభివృద్ధి చేయకుండా ఉన్నతమైన సంశ్లేషణను నిర్వహిస్తుంది. ఇది విడిభాగాల నిర్వహణ యొక్క ఫ్రీక్వెన్సీని గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది మరియు మీ మొత్తం యాజమాన్య వ్యయాన్ని తగ్గిస్తుంది.

మా వర్క్‌షాప్