పోరస్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) సిరామిక్ ప్లేట్లు: సెమీకండక్టర్ తయారీలో అధిక-పనితీరు పదార్థాలు

. పోరస్ సిక్ సిరామిక్ ప్లేట్ అంటే ఏమిటి?

పోరస్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ ప్లేట్ అనేది ప్రత్యేక ప్రక్రియల ద్వారా సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) తో చేసిన పోరస్ నిర్మాణం సిరామిక్ పదార్థం (ఫోమింగ్, 3 డి ప్రింటింగ్ లేదా రంధ్రాల ఏర్పడే ఏజెంట్లను జోడించడం వంటివి). దీని ప్రధాన లక్షణాలు:

● నియంత్రించదగిన సచ్ఛిద్రత: 30% -70% వేర్వేరు అనువర్తన దృశ్యాల అవసరాలను తీర్చడానికి సర్దుబాటు.

● ఏకరీతి రంధ్రాల పరిమాణం పంపిణీ: గ్యాస్/ద్రవ ప్రసార స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించుకోండి.

● తేలికపాటి డిజైన్: పరికరాల శక్తి వినియోగాన్ని తగ్గించండి మరియు ఆపరేటింగ్ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచండి.

Ⅱ. ఫైవ్ కోర్ భౌతిక లక్షణాలు మరియు పోరస్ SIC సిరామిక్ ప్లేట్ల వినియోగదారు విలువ

1. అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు ఉష్ణ నిర్వహణ (ప్రధానంగా పరికరాల సమస్యను పరిష్కరించడానికి థర్మల్ వైఫల్యం)

ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: నిరంతర పని ఉష్ణోగ్రత 1600 ° C కి చేరుకుంటుంది (అల్యూమినా సిరామిక్స్ కంటే 30% ఎక్కువ).

అధిక సామర్థ్యం గల ఉష్ణ వాహకత: ఉష్ణ వాహకత గుణకం 120 W/(M · K), వేగవంతమైన వేడి వెదజల్లడం సున్నితమైన భాగాలను రక్షిస్తుంది.

అల్ట్రా-తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ.

2. రసాయన స్థిరత్వం (తినివేయు వాతావరణంలో నిర్వహణ ఖర్చులను తగ్గించడం)

● బలమైన ఆమ్లాలు మరియు ఆల్కాలిస్లకు నిరోధకత: HF మరియు H₂SO₄ వంటి తినివేయు మాధ్యమాన్ని తట్టుకోగలదు

● ప్లాస్మా కోతకు నిరోధకత: డ్రై ఎచింగ్ పరికరాలలో జీవితం 3 రెట్లు ఎక్కువ పెరుగుతుంది

3. యాంత్రిక బలం (పరికరాల జీవితాన్ని విస్తరించడం)

● అధిక కాఠిన్యం: మోహ్స్ కాఠిన్యం 9.2 వరకు ఎక్కువ, మరియు స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ కంటే దుస్తులు నిరోధకత మంచిది

● బెండింగ్ బలం: 300-400 MPa, వార్పింగ్ లేకుండా మద్దతు ఇస్తుంది

4. పోరస్ నిర్మాణాల ఫంక్షనలైజేషన్ (ప్రక్రియ దిగుబడిని మెరుగుపరచడం)

● ఏకరీతి వాయువు పంపిణీ: సివిడి ప్రాసెస్ ఫిల్మ్ ఏకరూపత 98%కి పెరిగింది.

● ఖచ్చితమైన అధిశోషణం నియంత్రణ: ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC) యొక్క పొజిషనింగ్ ఖచ్చితత్వం ± 0.01 మిమీ.

5. పరిశుభ్రత హామీ (సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా)

● జీరో మెటల్ కాలుష్యం: స్వచ్ఛత> 99.99%, పొర కాలుష్యాన్ని నివారించడం

● స్వీయ శుభ్రపరిచే లక్షణాలు: మైక్రోపోరస్ నిర్మాణం కణ నిక్షేపణను తగ్గిస్తుంది

Iii. సెమీకండక్టర్ తయారీలో పోరస్ SIC ప్లేట్ల యొక్క నాలుగు ముఖ్య అనువర్తనాలు

దృష్టాంతం 1: అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ పరికరాలు (డిఫ్యూజన్ కొలిమి/ఎనియలింగ్ కొలిమి)

User యూజర్ పెయిన్ పాయింట్: సాంప్రదాయ పదార్థాలు సులభంగా వైకల్యం చెందుతాయి, ఫలితంగా పొర స్క్రాపింగ్ జరుగుతుంది

పరిష్కారం: క్యారియర్ ప్లేట్‌గా, ఇది 1200 ° C పర్యావరణం కింద స్థిరంగా పనిచేస్తుంది

పోలిక: ఉష్ణ వైకల్యం అల్యూమినా కంటే 80% తక్కువ

దృష్టాంతం 2: రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి)

User యూజర్ పెయిన్ పాయింట్: అసమాన గ్యాస్ పంపిణీ చలన చిత్ర నాణ్యతను ప్రభావితం చేస్తుంది

పరిష్కారం: పోరస్ నిర్మాణం ప్రతిచర్య గ్యాస్ వ్యాప్తి ఏకరూపత 95% కి చేరుకుంటుంది

● పరిశ్రమ కేసు: 3 డి నాండ్ ఫ్లాష్ మెమరీ సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్‌కు వర్తించబడుతుంది

దృష్టాంతం 3: డ్రై ఎచింగ్ పరికరాలు

User యూజర్ పెయిన్ పాయింట్: ప్లాస్మా ఎరోషన్ షోrtens కాంపోనెంట్ లైఫ్

పరిష్కారం: ప్లాస్మా వ్యతిరేక పనితీరు నిర్వహణ చక్రాన్ని 12 నెలలకు విస్తరించింది

● ఖర్చు-ప్రభావం: పరికరాల పనికిరాని సమయం 40% తగ్గించబడుతుంది

దృష్టాంతం 4: పొర శుభ్రపరిచే వ్యవస్థ

User యూజర్ పెయిన్ పాయింట్: ఆమ్లం మరియు ఆల్కలీ తుప్పు కారణంగా భాగాలను తరచుగా మార్చడం

పరిష్కారం: HF ఆమ్ల నిరోధకత సేవా జీవితం 5 సంవత్సరాలకు పైగా చేరుకుంటుంది

● ధృవీకరణ డేటా: బలం నిలుపుదల రేటు> 1000 శుభ్రపరిచే చక్రాల తర్వాత 90%

Iv. సాంప్రదాయ పదార్థాలతో పోలిస్తే 3 ప్రధాన ఎంపిక ప్రయోజనాలు

పరిశ్రమ వినియోగదారుల కోసం V. FAQ

Q1: పోరస్ SIC సిరామిక్ ప్లేట్ గల్లియం నైట్రైడ్ (GAN) పరికర ఉత్పత్తికి అనుకూలంగా ఉందా?

సమాధానం.

Q2: సచ్ఛిద్ర పరామితిని ఎలా ఎంచుకోవాలి?

సమాధానం: అప్లికేషన్ దృష్టాంతం ప్రకారం ఎంచుకోండి:

● పంపిణీ వాయువుtion: 40% -50% ఓపెన్ సచ్ఛిద్రత సిఫార్సు చేయబడింది

● వాక్యూమ్ శోషణ: 60% -70% అధిక సచ్ఛిద్రత సిఫార్సు చేయబడింది

Q3: ఇతర సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్‌తో తేడా ఏమిటి?

సమాధానం: దట్టంతో పోలిస్తేSic సిరామిక్స్, పోరస్ నిర్మాణాలు ఈ క్రింది ప్రయోజనాలను కలిగి ఉన్నాయి:

● 50% బరువు తగ్గింపు

ఉపరితల వైశాల్యంలో 20 రెట్లు పెరుగుతుంది

The ఉష్ణ ఒత్తిడిలో 30% తగ్గింపు