సాలిడ్ సిక్ ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్

VeTek సెమీకండక్టర్ CVD సాలిడ్ SiC సాంకేతికతలో గొప్ప పురోగతిని సాధించింది మరియు ఇప్పుడు ప్రపంచ-ప్రధాన స్థాయితో సాలిడ్ SiC ఎచింగ్ ఫోకసింగ్ రింగ్‌ను ఉత్పత్తి చేయగలదు. VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క సాలిడ్ SiC ఎచింగ్ ఫోకసింగ్ రింగ్ అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియ ద్వారా సృష్టించబడిన అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ ఉత్పత్తి.

సాలిడ్ SiC ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో, ముఖ్యంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ సిస్టమ్‌లలో ఉపయోగించబడుతుంది. SiC ఫోకస్ రింగ్ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పొరల యొక్క ఖచ్చితమైన మరియు నియంత్రిత ఎచింగ్‌ను సాధించడంలో సహాయపడే కీలకమైన భాగం.

ప్లాస్మా ఎచింగ్ ప్రక్రియలో, ఫోకస్ రింగ్ ఈ క్రింది విధంగా బహుళ పాత్రలను పోషిస్తుంది:

● ప్లాస్మాను కేంద్రీకరిస్తుంది: ఘనమైన SiC ఎచింగ్ ఫోకసింగ్ రింగ్ పొర చుట్టూ ప్లాస్మాను ఆకృతి చేయడంలో మరియు కేంద్రీకరించడంలో సహాయపడుతుంది, చెక్కడం ప్రక్రియ ఏకరీతిగా మరియు సమర్ధవంతంగా జరిగేలా చూస్తుంది. ఇది ప్లాస్మాను కావలసిన ప్రాంతానికి పరిమితం చేయడంలో సహాయపడుతుంది, విచ్చలవిడి చెక్కడం లేదా పరిసర ప్రాంతాలకు నష్టం జరగకుండా చేస్తుంది.

●  గది గోడలను రక్షించడం: ఫోకస్ చేసే రింగ్ ప్లాస్మా మరియు గది గోడల మధ్య అవరోధంగా పనిచేస్తుంది, ప్రత్యక్ష సంబంధాన్ని మరియు సంభావ్య నష్టాన్ని నివారిస్తుంది. SIC ప్లాస్మా కోతకు అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు గది గోడలకు అద్భుతమైన రక్షణను అందిస్తుంది.

●  Temperature నియంత్రణ: sic ఫోకస్ రింగ్ ఎచింగ్ ప్రక్రియలో పొర అంతటా ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్వహించడంలో సహాయపడుతుంది. ఇది వేడిని వెదజల్లడానికి సహాయపడుతుంది మరియు ఎచింగ్ ఫలితాలను ప్రభావితం చేసే స్థానికీకరించిన వేడెక్కడం లేదా ఉష్ణ ప్రవణతలను నిరోధిస్తుంది.

సాలిడ్ SIC దాని అత్యుత్తమ ఉష్ణ మరియు రసాయన స్థిరత్వం, అధిక యాంత్రిక బలం మరియు ప్లాస్మా కోతకు నిరోధకత కారణంగా ఫోకస్ రింగ్స్ కోసం ఎంపిక చేయబడింది. ఈ లక్షణాలు ప్లాస్మా ఎచింగ్ వ్యవస్థల లోపల కఠినమైన మరియు డిమాండ్ పరిస్థితులకు తగిన పదార్థంగా ఉంటాయి.

నిర్దిష్ట ప్లాస్మా ఎచింగ్ సిస్టమ్ మరియు ప్రాసెస్ అవసరాలను బట్టి ఫోకస్ రింగుల రూపకల్పన మరియు లక్షణాలు మారవచ్చు. వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సరైన ఎచింగ్ పనితీరు మరియు దీర్ఘాయువును నిర్ధారించడానికి ఫోకస్ రింగుల ఆకారం, కొలతలు మరియు ఉపరితల లక్షణాలను ఆప్టిమైజ్ చేస్తుంది. సాలిడ్ SIC ను పొర క్యారియర్లు, ససెప్టర్లు, డమ్మీ పొర, గైడ్ రింగులు, ఎచింగ్ ప్రాసెస్ కోసం భాగాలు, సివిడి ప్రాసెస్ మొదలైన వాటి కోసం విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తారు.