ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు

ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ ప్లాస్మా ఎచింగ్ పరికరాలు, సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (సివిడి సిలికాన్ కార్బైడ్) ఎచింగ్ పరికరాలలో భాగాలు ఉన్నాయిఫోకస్ రింగ్స్.


ఉదాహరణకు, ఫోకస్ రింగ్ అనేది పొర వెలుపల మరియు పొరతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలో ఉంచిన ఒక ముఖ్యమైన భాగం, రింగ్ గుండా వెళుతున్న ప్లాస్మాను కేంద్రీకరించడానికి రింగ్‌కు వోల్టేజ్‌ను వర్తింపజేయడం ద్వారా, తద్వారా ప్రాసెసింగ్ యొక్క ఏకరూపతను మెరుగుపరచడానికి ప్లాస్మాను పొరపై కేంద్రీకరిస్తుంది. సాంప్రదాయ ఫోకస్ రింగ్ సిలికాన్ లేదాక్వార్ట్జ్.


Sఒళ్ళతో కూడిన ఫోకస్ రింగవర్కింగ్ సూత్రం

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


SI ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SIC ఫోకస్ రింగ్ యొక్క పోలిక

SI ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SIC ఫోకస్ రింగ్ యొక్క పోలిక
అంశం మరియు CVD sic
సాంద్రత (g/cm3) 2.33 3.21
బ్యాండ్ గ్యాప్ (EV) 1.12 2.3
ఉష్ణ వాహకత (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (X10-6/℃) 2.6 4
సాగేలాడి మాడ్యులస్ 150 440
కాఠిన్యం 11.4 24.5
దుస్తులు మరియు తుప్పుకు ప్రతిఘటన పేద అద్భుతమైనది


వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం SIC ఫోకస్ రింగ్స్ వంటి అధునాతన సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (సివిడి సిలికాన్ కార్బైడ్) భాగాలను అందిస్తుంది. మా ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగులు సాంప్రదాయ సిలికాన్‌ను యాంత్రిక బలం, రసాయన నిరోధకత, ఉష్ణ వాహకత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత మన్నిక మరియు అయాన్ ఎచింగ్ నిరోధకత పరంగా అధిగమించాయి.


మా SIC ఫోకస్ రింగ్స్ యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు ఉన్నాయి:

తగ్గిన ఎచింగ్ రేట్ల కోసం అధిక సాంద్రత.

అధిక బ్యాండ్‌గ్యాప్‌తో అద్భుతమైన ఇన్సులేషన్.

అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం.

ఉన్నతమైన యాంత్రిక ప్రభావ నిరోధకత మరియు స్థితిస్థాపకత.

అధిక కాఠిన్యం, ధరించే నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత.

ఉపయోగించి తయారు చేయబడిందిప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (పిఇసివిడి)పద్ధతులు, మా SIC ఫోకస్ రింగులు సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఎచింగ్ ప్రక్రియల యొక్క పెరుగుతున్న డిమాండ్లను కలుస్తాయి. ఇవి అధిక ప్లాస్మా శక్తి మరియు శక్తిని తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయి, ప్రత్యేకంగాకెపాసిటిగా కపుల్డ్ ప్లాస్మా (సిసిపి)వ్యవస్థలు.

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ యొక్క SIC ఫోకస్ రింగులు సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీలో అసాధారణమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతను అందిస్తాయి. ఉన్నతమైన నాణ్యత మరియు సామర్థ్యం కోసం మా SIC భాగాలను ఎంచుకోండి.


View as  
 
సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్

సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్

సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్ అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత సహనం, రసాయన స్థిరత్వం, ఉష్ణ వాహకత మరియు మంచి గ్యాస్ పంపిణీ పనితీరును కలిగి ఉంది, ఇది ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీని సాధించగలదు మరియు చలనచిత్ర నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది. అందువల్ల, ఇది సాధారణంగా రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) లేదా భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (పివిడి) ప్రక్రియలు వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడుతుంది. వెటెక్ సెమీకండక్టర్, మీ తదుపరి సంప్రదింపులను మాకు స్వాగతించండి.
సిలికాన్ కార్బోడ్ సీల్ రింగ్

సిలికాన్ కార్బోడ్ సీల్ రింగ్

చైనాలో ప్రొఫెషనల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సీల్ రింగ్ ఉత్పత్తి తయారీదారు మరియు ఫ్యాక్టరీగా, వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సీల్ రింగ్ దాని అద్భుతమైన ఉష్ణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, యాంత్రిక బలం మరియు ఉష్ణ వాహకత కారణంగా సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. సివిడి, పివిడి మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్ వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రియాక్టివ్ వాయువులతో కూడిన ప్రక్రియలకు ఇది ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా ఉంటుంది మరియు ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో కీలక పదార్థ ఎంపిక. మీ తదుపరి విచారణలు స్వాగతం.
SIC క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం CVD SIC బ్లాక్

SIC క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం CVD SIC బ్లాక్

SIC క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం CVD SIC బ్లాక్, వెటెక్ సెమీకండక్టర్ అభివృద్ధి చేసిన కొత్త అధిక స్వచ్ఛత ముడి పదార్థం. ఇది అధిక ఇన్పుట్-అవుట్పుట్ నిష్పత్తిని కలిగి ఉంది మరియు అధిక-నాణ్యత, పెద్ద-పరిమాణ సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ స్ఫటికాలను పెంచుతుంది, ఇది ఈ రోజు మార్కెట్లో ఉపయోగించిన పొడిని భర్తీ చేయడానికి రెండవ తరం పదార్థం. సాంకేతిక సమస్యలను చర్చించడానికి స్వాగతం.
Sic క్రిస్టల్ గ్రోత్ న్యూ టెక్నాలజీ

Sic క్రిస్టల్ గ్రోత్ న్యూ టెక్నాలజీ

రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) చేత ఏర్పడిన వెటెక్ సెమీకండక్టర్ యొక్క అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (సిఐసి) భౌతిక ఆవిరి రవాణా (పివిటి) ద్వారా సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాలను పెంచడానికి మూల పదార్థంగా ఉపయోగించమని సిఫార్సు చేయబడింది. SIC క్రిస్టల్ గ్రోత్ న్యూ టెక్నాలజీలో, సోర్స్ మెటీరియల్ ఒక క్రూసిబుల్‌లోకి లోడ్ చేయబడి, విత్తన క్రిస్టల్‌పై ఉత్కృష్టమైనది. పెరుగుతున్న SIC స్ఫటికాలకు మూలంగా ఉండటానికి అధిక స్వచ్ఛత CVD-SIC బ్లాక్‌లను ఉపయోగించండి. మాతో భాగస్వామ్యాన్ని స్థాపించడానికి స్వాగతం.
సివిడి సిక్ షవర్ హెడ్

సివిడి సిక్ షవర్ హెడ్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ చైనాలో ఒక ప్రముఖ సివిడి షవర్ హెడ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా SIC పదార్థాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము. సి.వి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావాలని మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
Sic షవర్ హెడ్

Sic షవర్ హెడ్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ చైనాలో ఒక ప్రముఖ SIC షవర్ హెడ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా SIC పదార్థాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము. SIC షవర్ హెడ్ దాని అద్భుతమైన థర్మోకెమికల్ స్థిరత్వం, అధిక యాంత్రిక బలం మరియు ప్లాస్మా ఎరోషన్ కోసం ప్రతిఘటన కారణంగా ఫోకస్ చేసే రింగ్ పదార్థంగా ఎంపిక చేయబడింది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


చైనాలో ప్రొఫెషనల్ ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత కర్మాగారం ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేసిన అధునాతన మరియు మన్నికైన {77 by కొనాలనుకుంటున్నారా, మీరు మాకు సందేశాన్ని పంపవచ్చు.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept