ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు

ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్

VeTek సెమీకండక్టర్ సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ అనేది ప్లాస్మా ఎచింగ్ పరికరాలలో ఒక ముఖ్యమైన సిరామిక్ భాగం, ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్(CVD సిలికాన్ కార్బైడ్) చెక్కే పరికరాలలో భాగాలు ఉన్నాయిఫోకస్ రింగ్స్, గ్యాస్ షవర్ హెడ్, ట్రే, ఎడ్జ్ రింగులు, మొదలైనవి భాగాలు.


ఉదాహరణకు, ఫోకస్ రింగ్ అనేది పొర వెలుపల మరియు పొరతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలో ఉంచబడిన ఒక ముఖ్యమైన భాగం, రింగ్ గుండా వెళుతున్న ప్లాస్మాను ఫోకస్ చేయడానికి రింగ్‌కు వోల్టేజ్‌ని వర్తింపజేయడం ద్వారా, తద్వారా ప్లాస్మాను పొరపై కేంద్రీకరించడం ద్వారా ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది. ప్రాసెసింగ్. సాంప్రదాయ ఫోకస్ రింగ్ సిలికాన్ లేదా తయారు చేయబడిందిక్వార్ట్జ్, ఒక సాధారణ ఫోకస్ రింగ్ మెటీరియల్‌గా వాహక సిలికాన్, ఇది సిలికాన్ పొరల యొక్క వాహకతకు దాదాపు దగ్గరగా ఉంటుంది, అయితే కొరత ఫ్లోరిన్-కలిగిన ప్లాస్మాలో పేలవమైన ఎచింగ్ రెసిస్టెన్స్, ఎచింగ్ మెషిన్ పార్ట్స్ మెటీరియల్‌లను తరచుగా కొంత కాలం పాటు ఉపయోగిస్తారు, తీవ్రమైన ఉంటుంది. తుప్పు దృగ్విషయం, దాని ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని తీవ్రంగా తగ్గిస్తుంది.


Sఒలిడ్ SiC ఫోకస్ రింగ్పని సూత్రం

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


మరియు ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SiC ఫోకస్ రింగ్ పోలిక:

మరియు ఆధారిత ఫోకస్ రింగ్ మరియు CVD SiC ఫోకస్ రింగ్ పోలిక
అంశం మరియు CVD SiC
సాంద్రత (గ్రా/సెం3) 2.33 3.21
బ్యాండ్ గ్యాప్ (eV) 1.12 2.3
ఉష్ణ వాహకత (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
సాగే మాడ్యులస్ (GPa) 150 440
కాఠిన్యం (GPa) 11.4 24.5
ధరించడానికి మరియు తుప్పుకు నిరోధకత పేద అద్భుతమైన


VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం SiC ఫోకస్ చేసే రింగుల వంటి అధునాతన ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ (CVD సిలికాన్ కార్బైడ్) భాగాలను అందిస్తుంది. మా ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫోకస్ రింగ్‌లు యాంత్రిక బలం, రసాయన నిరోధకత, ఉష్ణ వాహకత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత మన్నిక మరియు అయాన్ ఎచింగ్ నిరోధకత పరంగా సాంప్రదాయ సిలికాన్‌ను అధిగమిస్తాయి.


మా SiC ఫోకస్ రింగ్‌ల యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు ఉన్నాయి:

తగ్గిన ఎచింగ్ రేట్ల కోసం అధిక సాంద్రత.

అధిక బ్యాండ్‌గ్యాప్‌తో అద్భుతమైన ఇన్సులేషన్.

అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం.

సుపీరియర్ మెకానికల్ ప్రభావ నిరోధకత మరియు స్థితిస్థాపకత.

అధిక కాఠిన్యం, దుస్తులు నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత.

ఉపయోగించి తయారు చేస్తారుప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (PECVD)పద్ధతులు, మా SiC ఫోకస్ రింగ్‌లు సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఎచింగ్ ప్రక్రియల పెరుగుతున్న డిమాండ్‌లను తీరుస్తాయి. అవి అధిక ప్లాస్మా శక్తి మరియు శక్తిని తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయికెపాసిటివ్ కపుల్డ్ ప్లాస్మా (CCP)వ్యవస్థలు.

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క SiC ఫోకస్ రింగ్‌లు సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీలో అసాధారణమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతను అందిస్తాయి. అత్యుత్తమ నాణ్యత మరియు సామర్థ్యం కోసం మా SiC భాగాలను ఎంచుకోండి.


View as  
 
సిలికాన్ కార్బోడ్ సీల్ రింగ్

సిలికాన్ కార్బోడ్ సీల్ రింగ్

చైనాలో ప్రొఫెషనల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సీల్ రింగ్ ఉత్పత్తి తయారీదారు మరియు ఫ్యాక్టరీగా, వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సీల్ రింగ్ దాని అద్భుతమైన ఉష్ణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, యాంత్రిక బలం మరియు ఉష్ణ వాహకత కారణంగా సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. సివిడి, పివిడి మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్ వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రియాక్టివ్ వాయువులతో కూడిన ప్రక్రియలకు ఇది ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా ఉంటుంది మరియు ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో కీలక పదార్థ ఎంపిక. మీ తదుపరి విచారణలు స్వాగతం.
SIC క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం CVD SIC బ్లాక్

SIC క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం CVD SIC బ్లాక్

SIC క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం CVD SIC బ్లాక్, వెటెక్ సెమీకండక్టర్ అభివృద్ధి చేసిన కొత్త అధిక స్వచ్ఛత ముడి పదార్థం. ఇది అధిక ఇన్పుట్-అవుట్పుట్ నిష్పత్తిని కలిగి ఉంది మరియు అధిక-నాణ్యత, పెద్ద-పరిమాణ సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ స్ఫటికాలను పెంచుతుంది, ఇది ఈ రోజు మార్కెట్లో ఉపయోగించిన పొడిని భర్తీ చేయడానికి రెండవ తరం పదార్థం. సాంకేతిక సమస్యలను చర్చించడానికి స్వాగతం.
Sic క్రిస్టల్ గ్రోత్ న్యూ టెక్నాలజీ

Sic క్రిస్టల్ గ్రోత్ న్యూ టెక్నాలజీ

రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) చేత ఏర్పడిన వెటెక్ సెమీకండక్టర్ యొక్క అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (సిఐసి) భౌతిక ఆవిరి రవాణా (పివిటి) ద్వారా సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాలను పెంచడానికి మూల పదార్థంగా ఉపయోగించమని సిఫార్సు చేయబడింది. SIC క్రిస్టల్ గ్రోత్ న్యూ టెక్నాలజీలో, సోర్స్ మెటీరియల్ ఒక క్రూసిబుల్‌లోకి లోడ్ చేయబడి, విత్తన క్రిస్టల్‌పై ఉత్కృష్టమైనది. పెరుగుతున్న SIC స్ఫటికాలకు మూలంగా ఉండటానికి అధిక స్వచ్ఛత CVD-SIC బ్లాక్‌లను ఉపయోగించండి. మాతో భాగస్వామ్యాన్ని స్థాపించడానికి స్వాగతం.
సివిడి సిక్ షవర్ హెడ్

సివిడి సిక్ షవర్ హెడ్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ చైనాలో ఒక ప్రముఖ సివిడి షవర్ హెడ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా SIC పదార్థాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము. సి.వి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావాలని మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
Sic షవర్ హెడ్

Sic షవర్ హెడ్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ చైనాలో ఒక ప్రముఖ SIC షవర్ హెడ్ తయారీదారు మరియు ఆవిష్కర్త. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా SIC పదార్థాలలో ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాము. SIC షవర్ హెడ్ దాని అద్భుతమైన థర్మోకెమికల్ స్థిరత్వం, అధిక యాంత్రిక బలం మరియు ప్లాస్మా ఎరోషన్ కోసం ప్రతిఘటన కారణంగా ఫోకస్ చేసే రింగ్ పదార్థంగా ఎంపిక చేయబడింది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్

సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్

సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్ CVD ప్రక్రియలో గ్యాస్ ఏకరీతిగా చేయడంలో ప్రధాన పాత్ర పోషిస్తుంది, తద్వారా సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క ఏకరీతి వేడిని నిర్ధారిస్తుంది. VeTek సెమీకండక్టర్ అనేక సంవత్సరాలుగా ఘన SiC పరికరాల రంగంలో లోతుగా నిమగ్నమై ఉంది మరియు వినియోగదారులకు అనుకూలీకరించిన సాలిడ్ SiC గ్యాస్ షవర్ హెడ్‌లను అందించగలదు. మీ అవసరాలు ఏమైనప్పటికీ, మేము మీ విచారణ కోసం ఎదురుచూస్తున్నాము.
చైనాలో ప్రొఫెషనల్ ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, మాకు మా స్వంత కర్మాగారం ఉంది. మీ ప్రాంతం యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి మీకు అనుకూలీకరించిన సేవలు అవసరమా లేదా చైనాలో తయారు చేసిన అధునాతన మరియు మన్నికైన {77 by కొనాలనుకుంటున్నారా, మీరు మాకు సందేశాన్ని పంపవచ్చు.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept