సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్ ప్రధానంగా SIC తో తయారు చేయబడింది. సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో, సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్ యొక్క ప్రధాన పని ఏమిటంటే, ఏకరీతి చిత్రం ఏర్పడటానికి ప్రతిచర్య వాయువును సమానంగా పంపిణీ చేయడంరసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి)లేదాభౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (పివిడి)ప్రక్రియలు. అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన స్థిరత్వం వంటి SIC యొక్క అద్భుతమైన లక్షణాల కారణంగా, SIC షవర్ హెడ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద సమర్థవంతంగా పనిచేయగలదు, సమయంలో గ్యాస్ ప్రవాహం యొక్క అసమానతను తగ్గిస్తుందినిక్షేపణ ప్రక్రియ, తద్వారా ఫిల్మ్ పొర యొక్క నాణ్యతను మెరుగుపరచండి.

సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్ ఒకే ఎపర్చరుతో బహుళ నాజిల్స్ ద్వారా ప్రతిచర్య వాయువును సమానంగా పంపిణీ చేయగలదు, ఏకరీతి వాయువు ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించగలదు, చాలా ఎక్కువ లేదా చాలా తక్కువగా ఉన్న స్థానిక సాంద్రతలను నివారించగలదు మరియు తద్వారా సినిమా నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది. అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు రసాయన స్థిరత్వంతో కలిపిCVD sic, సమయంలో కణాలు లేదా కలుషితాలు విడుదల చేయబడవుఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ప్రాసెస్, ఇది సినిమా నిక్షేపణ యొక్క స్వచ్ఛతను కాపాడుకోవడంలో కీలకం.

కోర్ పెర్ఫార్మెన్స్ మ్యాట్రిక్స్

కీ సూచికలు సాంకేతిక లక్షణాలు పరీక్ష ప్రమాణాలు

బేస్ మెటీరియల్ 6 ఎన్ గ్రేడ్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ సిలికాన్ కార్బైడ్ సెమీ ఎఫ్ 47-0703

ఉష్ణ వాహకత (25 ℃) 330 w/(m · k) ± 5%ASTM E1461

ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత పరిధి -196 ℃ ~ ~ 1650 ℃ సైకిల్ స్టెబిలిటీ MIL-STD-883 పద్ధతి

ఎపర్చరు మ్యాచింగ్ ఖచ్చితత్వం ± 0.005 మిమీ (లేజర్ మైక్రోహోల్ మ్యాచింగ్ టెక్నాలజీ) ISO 286-2

ఉపరితల కరుకుదనం RA ≤0.05μm (మిర్రర్ గ్రేడ్ ట్రీట్మెంట్) JIS B 0601: 2013

ట్రిపుల్ ప్రాసెస్ ఇన్నోవేషన్ ప్రయోజనం

నానోస్కేల్ వాయు ప్రవాహ నియంత్రణ

1080 హోల్ మ్యాట్రిక్స్ డిజైన్: 95.7% గ్యాస్ పంపిణీ ఏకరూపతను సాధించడానికి అసమాన తేనెగూడు నిర్మాణాన్ని అవలంబిస్తుంది (కొలిచిన డేటా)

ప్రవణత ఎపర్చరు టెక్నాలజీ: 0.35 మిమీ బాహ్య రింగ్ → 0.2 మిమీ సెంటర్ ప్రగతిశీల లేఅవుట్, ఎడ్జ్ ప్రభావాన్ని తొలగిస్తుంది

సున్నా కాలుష్యం డిపాజిట్ రక్షణ

అల్ట్రా-క్లీన్ ఉపరితల చికిత్స:

అయాన్ బీమ్ ఎచింగ్ ఉప ఉపరితలం దెబ్బతిన్న పొరను తొలగిస్తుంది

అటామిక్ లేయర్ డిపాజిషన్ (ALD) AL₂O₃ ప్రొటెక్టివ్ ఫిల్మ్ (ఐచ్ఛికం)

థర్మల్ యాంత్రిక స్థిరత్వం

ఉష్ణ వైకల్య గుణకం: ≤0.8μm/m · · (సాంప్రదాయ పదార్థాల కంటే 73% తక్కువ)

ఉత్తీర్ణత 3000 థర్మల్ షాక్ పరీక్షలు (RT↔1450 ℃ చక్రం)

యొక్క SEM డేటాసివిడి సిక్ ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్：

సివిడి యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు Sic పూత：

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ షవర్ హెడ్ షాపులు.