ఉత్పత్తులు

మా పోరస్ SIC సిరామిక్ ప్లేట్లు సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో తయారు చేసిన పోరస్ సిరామిక్ పదార్థాలు ప్రధాన భాగం మరియు ప్రత్యేక ప్రక్రియల ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడతాయి. అవి సెమీకండక్టర్ తయారీ, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) మరియు ఇతర ప్రక్రియలలో అనివార్యమైన పదార్థాలు.

ఎపిటాక్సీ కోసం మా SIC కోటెడ్ సీలింగ్ రింగ్ అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ద్వారా అధిక-ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) తో పూసిన గ్రాఫైట్ లేదా కార్బన్-కార్బన్ మిశ్రమాల ఆధారంగా అధిక-పనితీరు గల సీలింగ్ భాగం, ఇది గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని SIC యొక్క విపరీతమైన పర్యావరణ నిరోధకతతో మిళితం చేస్తుంది.

మా హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ పడవ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ (SIO₂ కంటెంట్ ≥ 99.99%) తో తయారు చేయబడింది. విపరీతమైన వాతావరణాలు, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం మరియు దీర్ఘ జీవిత చక్రాలకు దాని అద్భుతమైన ప్రతిఘటనతో, ఇది సెమీకండక్టర్ మరియు కొత్త ఇంధన పరిశ్రమలలో భర్తీ చేయలేని కీగా మారింది.

ప్రాసెస్ ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి ఎచింగ్ కోసం ఫోకస్ రింగ్ ముఖ్య భాగం. ప్లాస్మా పంపిణీ, అంచు ఉష్ణోగ్రత మరియు విద్యుత్ క్షేత్ర ఏకరూపత యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ ద్వారా పొర ఉపరితలంపై నానోస్కేల్ నిర్మాణాల యొక్క ఏకరీతి మ్యాచింగ్ సాధించడానికి ఈ భాగాలు ఖచ్చితంగా వాక్యూమ్ చాంబర్‌లో సమావేశమవుతాయి.

వెటెక్సెమికన్ సింగిల్ పొర EPI గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ హై-పెర్ఫార్మెన్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC), గాలియం నైట్రైడ్ (GAN) మరియు ఇతర మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడింది మరియు ఇది ద్రవ్యరాశి ఉత్పత్తిలో అధిక-ఖచ్చితమైన ఎపిటాక్సియల్ షీట్ యొక్క ప్రధాన భాగం. మీ తదుపరి విచారణ.

వెటెక్సెమికాన్ చైనాలో ఒక ప్రముఖ వాక్యూమ్ చక్ తయారీదారు, మా సిరామిక్ వాక్యూమ్ చక్ అధిక -ముగింపు వాక్యూమ్ అధిశోషణం పరికరంగా పనిచేస్తుంది. మీ విచారణను స్వాగతించండి.