ఉత్పత్తులు

వెటెక్సెమికాన్ యొక్క సివిడి సిక్ కోటెడ్ పొర ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలకు కట్టింగ్-ఎడ్జ్ పరిష్కారం, ఇది అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ (≤100 పిపిబి, ఐసిపి-ఇ 10 సర్టిఫైడ్) మరియు గాన్‌, ఎస్‌ఐసి మరియు సిలికాన్-బిస్డ్ ఎపి-లియర్స్ యొక్క కాంటామినేషన్-రెసిస్టెంట్ పెరుగుదల కోసం అసాధారణమైన ఉష్ణ/రసాయన స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ప్రెసిషన్ సివిడి టెక్నాలజీతో ఇంజనీరింగ్ చేయబడిన ఇది 6 ”/8”/12 ”పొరలకు మద్దతు ఇస్తుంది, కనీస ఉష్ణ ఒత్తిడిని నిర్ధారిస్తుంది మరియు 1600 ° C వరకు తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకుంటుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలో మా SIC పూత ప్లానెటరీ ససెప్టర్ ఒక ప్రధాన భాగం. థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ పనితీరు, రసాయన స్థిరత్వం మరియు యాంత్రిక బలం యొక్క సమగ్ర ఆప్టిమైజేషన్‌ను సాధించడానికి దీని డిజైన్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో గ్రాఫైట్ ఉపరితలాన్ని మిళితం చేస్తుంది.

మా పోరస్ SIC సిరామిక్ ప్లేట్లు సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో తయారు చేసిన పోరస్ సిరామిక్ పదార్థాలు ప్రధాన భాగం మరియు ప్రత్యేక ప్రక్రియల ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడతాయి. అవి సెమీకండక్టర్ తయారీ, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) మరియు ఇతర ప్రక్రియలలో అనివార్యమైన పదార్థాలు.

ఎపిటాక్సీ కోసం మా SIC కోటెడ్ సీలింగ్ రింగ్ అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ద్వారా అధిక-ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) తో పూసిన గ్రాఫైట్ లేదా కార్బన్-కార్బన్ మిశ్రమాల ఆధారంగా అధిక-పనితీరు గల సీలింగ్ భాగం, ఇది గ్రాఫైట్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని SIC యొక్క విపరీతమైన పర్యావరణ నిరోధకతతో మిళితం చేస్తుంది.

మా హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ పడవ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ (SIO₂ కంటెంట్ ≥ 99.99%) తో తయారు చేయబడింది. విపరీతమైన వాతావరణాలు, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం మరియు దీర్ఘ జీవిత చక్రాలకు దాని అద్భుతమైన ప్రతిఘటనతో, ఇది సెమీకండక్టర్ మరియు కొత్త ఇంధన పరిశ్రమలలో భర్తీ చేయలేని కీగా మారింది.

ప్రాసెస్ ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి ఎచింగ్ కోసం ఫోకస్ రింగ్ ముఖ్య భాగం. ప్లాస్మా పంపిణీ, అంచు ఉష్ణోగ్రత మరియు విద్యుత్ క్షేత్ర ఏకరూపత యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ ద్వారా పొర ఉపరితలంపై నానోస్కేల్ నిర్మాణాల యొక్క ఏకరీతి మ్యాచింగ్ సాధించడానికి ఈ భాగాలు ఖచ్చితంగా వాక్యూమ్ చాంబర్‌లో సమావేశమవుతాయి.