ఉత్పత్తులు

VETEK CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) కోటెడ్ గ్రాఫైట్ RTP RTA క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఉపయోగించే వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) మరియు ర్యాపిడ్ థర్మల్ ఎనియలింగ్ (RTA) సిస్టమ్‌ల కోసం రూపొందించబడింది. దట్టమైన CVD SiC పూతతో అధిక-స్వచ్ఛత ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్ నుండి తయారు చేయబడింది, ఇది అత్యుత్తమ ఉష్ణ స్థిరత్వం, అద్భుతమైన ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత, ఉన్నతమైన రసాయన నిరోధకత మరియు అల్ట్రా-తక్కువ కణాల ఉత్పత్తిని అందిస్తుంది. పునరావృత వేగవంతమైన తాపన మరియు శీతలీకరణ చక్రాలను తట్టుకునేలా రూపొందించబడిన క్యారియర్, సిలికాన్ వేఫర్ ఎనియలింగ్ మరియు ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్‌ల కోసం నమ్మకమైన పొర మద్దతు మరియు స్థిరమైన ప్రక్రియ పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.

VETEK CVD TaC కోటెడ్ ససెప్టర్ అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను దట్టమైన CVD టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూతతో మిళితం చేసి అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, తుప్పు నిరోధకత మరియు సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ డిమాండ్ కోసం తక్కువ కణాల ఉత్పత్తిని అందిస్తుంది. SiC, GaN మరియు AlN ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల కోసం రూపొందించబడింది, ఇది కాలుష్యాన్ని తగ్గిస్తుంది, పొర ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత MOCVD మరియు CVD ప్రక్రియలలో కాంపోనెంట్ సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది.

VeTek సెమీకండక్టర్ నుండి CVD SiC కోటెడ్ RTP ససెప్టర్ సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఉపయోగించే వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) మరియు వేగవంతమైన థర్మల్ ఎనియలింగ్ (RTA) పరికరాలను అందిస్తుంది. సబ్‌స్ట్రేట్ అధిక-స్వచ్ఛత ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్ నుండి తయారు చేయబడింది, దీని మీద దట్టమైన CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పొర నిక్షిప్తం చేయబడుతుంది. ఈ నిర్మాణం పునరావృతమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత సైక్లింగ్‌లో అధిక ఉష్ణ వాహకత, బలమైన రసాయన జడత్వం మరియు స్థిరమైన డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది.

డిమాండ్ సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ అప్లికేషన్‌ల కోసం, VETEK త్రీ-పీస్ గ్రాఫైట్ క్రూసిబుల్ ప్రక్రియకు అవసరమైన స్థిరత్వం, స్వచ్ఛత మరియు ఉష్ణ సమానత్వాన్ని అందిస్తుంది. ఐచ్ఛిక SiC, TaC లేదా PyC కోటింగ్‌లతో హై-గ్రేడ్ ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్ నుండి తయారు చేయబడింది-దీని స్ప్లిట్ డిజైన్ సౌలభ్యం కోసం మాత్రమే కాదు. ఇది ఉష్ణ ఒత్తిడిని చురుకుగా తగ్గిస్తుంది, నిర్వహణను వేగవంతం చేస్తుంది మరియు చక్రం తర్వాత చక్రాన్ని నిర్వహిస్తుంది.

VETEK PG (పైరోలైటిక్ గ్రాఫైట్) కోటెడ్ రింగ్ అనేది సెమీకండక్టర్ థర్మల్ ఫీల్డ్ మరియు ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీ మరియు స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రతలు చర్చించలేని స్ఫటిక పెరుగుదల వాతావరణాల కోసం ఉద్దేశించబడింది. అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన గ్రాఫైట్ బేస్‌తో ప్రారంభించి, దట్టమైన పైరోలైటిక్ గ్రాఫైట్ పూతతో పూర్తయింది, ఈ భాగం అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకతను అందిస్తుంది, తీవ్రమైన థర్మల్ షాక్‌ను తట్టుకుంటుంది మరియు తీవ్ర ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఎక్కువ కాలం పాటు దాని కొలతలు నిలుపుకుంటుంది. మీరు క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్‌లు, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఓవెన్‌లు మరియు సెమీకండక్టర్‌ల కోసం థర్మల్ ఫీల్డ్ అసెంబ్లీలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించే ఈ రింగ్‌లను మీరు కనుగొంటారు-ఎక్కడైనా ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ నేరుగా ప్రక్రియ పునరావృతతను మరియు తుది ఉత్పత్తి నాణ్యతను నడిపిస్తుంది.

డిపాజిషన్ ఛాంబర్‌లో మీరు ఎప్పుడైనా అసమాన వాయువు ప్రవాహం లేదా కణ కాలుష్యంతో వ్యవహరించినట్లయితే, VETEK CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ షవర్ హెడ్ దానిని పరిష్కరించడానికి రూపొందించబడింది. ఇది థర్మల్ స్టెబిలిటీ మరియు సులభమైన మ్యాచింగ్ కోసం అధిక-స్వచ్ఛత ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్‌తో మొదలవుతుంది, ఆపై ఉపరితలాన్ని మూసివేసే, తినివేయు వాయువులను (HCl లేదా NF₃ వంటివి) నిరోధించే దట్టమైన CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతను పొందుతుంది మరియు అవుట్‌గ్యాసింగ్‌ను నిరోధిస్తుంది. ఫలితంగా పొర అంతటా ఏకరీతి ప్రవాహాన్ని అందించే గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ప్లేట్, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎపిటాక్సీని నిర్వహిస్తుంది మరియు బేర్ గ్రాఫైట్ లేదా క్వార్ట్జ్ కంటే చాలా ఎక్కువసేపు ఉంటుంది - ఇది CVD, PECVD, MOCVD, సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ మరియు SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలకు విశ్వసనీయమైన భాగం. మేము కస్టమ్ హోల్ నమూనాలు మరియు పరిమాణాలను కూడా అందిస్తాము, ఎందుకంటే ఏ రెండు రియాక్టర్‌లు సరిగ్గా ఒకేలా ఉండవు.