ఉత్పత్తులు

పొర ట్రాకింగ్ జోన్‌ను చుట్టుముట్టేలా రూపొందించబడిన, సాలిడ్ SiC ఫోకస్ రింగ్ లీనియర్ ప్లాస్మా పంపిణీని మరియు ఖచ్చితమైన అంచు నుండి మధ్యలోకి ఎట్చ్ ప్రొఫైల్‌లను నిర్ధారిస్తుంది. ఈ ప్రీమియం β-SiC భాగాలు Vetek సెమీకండక్టర్ (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) ద్వారా నిర్మించబడ్డాయి. ముడి పదార్థాలను దట్టమైన, బైండర్‌లెస్ మ్యాట్రిక్స్‌గా ఆవిరి చేయడం ద్వారా, పాత పదార్థాలలో ఉండే పోరస్ సూక్ష్మ అంతరాలను Vetek తొలగిస్తుంది. ప్రామాణిక క్వార్ట్జ్ లేదా సిలికాన్ షీల్డింగ్‌తో పోలిస్తే, మా CVD SiC భాగాలు తినివేయు హాలోజన్ వాయువులకు చాలా మెరుగ్గా నిలుస్తాయి, లోతైన సబ్-7nm లాజిక్ మరియు దట్టమైన మెమరీ చిప్ తయారీలో పొరను రక్షిస్తాయి. మీ తదుపరి విచారణ కోసం ఎదురుచూస్తున్నాము.

VeTek నుండి ఈ AMAT 0200-03201 వేఫర్ లిఫ్ట్ పిన్ అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌తో ప్రారంభమవుతుంది, ఆపై మేము పైన దట్టమైన CVD SiC కోటింగ్‌ను జోడిస్తాము. ఇది 300mm ఎపిటాక్సీ సిస్టమ్‌లు మరియు అప్లైడ్ మెటీరియల్స్ EPI రియాక్టర్‌ల కోసం తయారు చేయబడింది. ఎందుకు గ్రాఫైట్ మరియు SiC? గ్రాఫైట్ బాగా వేడిని నిర్వహిస్తుంది. SiC పొర తినివేయు వాయువులను తీసుకుంటుంది మరియు వేగంగా అరిగిపోదు. సన్నని గోడ డిజైన్? ఇది క్లీనర్ వేఫర్ ట్రైనింగ్ మరియు పొజిషనింగ్, తక్కువ కణాలు మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల క్రింద ఎక్కువ భాగం జీవితం కోసం. మేము ASM, Aixtron మరియు LPE సిస్టమ్‌ల కోసం ఇలాంటి SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ భాగాలను కూడా తయారు చేస్తాము. మీ విచారణ కోసం ఎదురు చూస్తున్నాను.

Vetek సెమీకండక్టర్ VEECO MOCVD సిస్టమ్‌ల కోసం వేఫర్ క్యారియర్‌లను తయారు చేస్తుంది, ప్రత్యేకంగా GaN LEDలు, బ్లూ-గ్రీన్ LEDలు మరియు లోతైన UV LED గ్రోత్ వంటి LED ఎపిటాక్సీ పని కోసం నిర్మించబడింది. ఈ వాహకాలు అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌తో ప్రారంభమవుతాయి మరియు దట్టమైన CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతను పొందుతాయి. MOCVDలో మీరు చూసే అధిక ఉష్ణోగ్రతల క్రింద ఆ కలయిక బాగా ఉంటుంది - మంచి ఉష్ణ స్థిరత్వం, తుప్పు నిరోధకత మరియు పూత కొనసాగుతుంది.

హాఫ్‌మూన్ అనేది LPE SiC రియాక్టర్‌లలో ఉపయోగించే గ్రాఫైట్ భాగం, ప్రధానంగా చాంబర్ హాట్ జోన్ చుట్టూ వ్యవస్థాపించబడింది. ఇది పొరను నేరుగా సంప్రదించనప్పటికీ, ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో గ్యాస్ ప్రవాహ స్థిరత్వం మరియు రియాక్టర్ ఆపరేషన్‌లో ఇది ఇప్పటికీ పాత్ర పోషిస్తుంది. అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రియాక్టివ్ ప్రక్రియ పరిస్థితులను నిర్వహించడానికి, భాగం సాధారణంగా CVD SiC పూతతో రక్షించబడుతుంది, అయితే TaC పూత కొన్ని అనువర్తనాలకు కూడా అందుబాటులో ఉంటుంది. VETEK SiC ఎపిటాక్సీ సిస్టమ్‌ల కోసం గ్రాఫైట్ ఫీల్డ్ ఇన్సులేషన్ మరియు ఇతర పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలను కూడా సరఫరా చేస్తుంది.

8-అంగుళాల SiC ఎపి టాప్ రింగ్ అనేది సెమీకండక్టర్ రియాక్టర్‌ల కోసం హార్డ్‌వేర్ భాగం. ఇది Si/SiC ఎపిటాక్సీ మరియు MOCVD/CVD సిస్టమ్‌లలో పని చేస్తుంది. ఈ రింగ్ చాంబర్ లోపల వేడిని స్థిరీకరిస్తుంది. ఇది వాయువుల ప్రవాహాన్ని కూడా నియంత్రిస్తుంది. పదార్థం అధిక స్వచ్ఛత CVD సిలికాన్ కార్బైడ్. ఇది గ్రాఫైట్ యొక్క అవుట్‌గ్యాసింగ్ సమస్యలను కలిగి ఉండదు. ఇది ఉత్పత్తి సమయంలో కణాల కాలుష్యాన్ని కూడా తగ్గిస్తుంది. మేము మీ విచారణలను స్వాగతిస్తున్నాము.

VETEK ప్రెసిషన్ కార్డింగ్ మరియు ఎయిర్-జెట్ టెక్నాలజీ కలయికను ఉపయోగించి మా కార్బన్ ఫైబర్ సాఫ్ట్ ఫీల్‌ను అభివృద్ధి చేసింది. మేము పదార్థం అంతటా అత్యంత ఏకరీతి ఫైబర్ నిర్మాణం హామీ చేయవచ్చు. ఇది చాలా తేలికగా ఉండి పారిశ్రామిక ఫర్నేసుల యొక్క తీవ్రమైన వేడిని తట్టుకునేలా నిర్మించబడింది. అటువంటి తక్కువ ఉష్ణ ద్రవ్యరాశి మరియు సౌకర్యవంతమైన ఆకృతి ద్వారా, ఇది వ్యవస్థాపించడం సులభం మరియు ఫర్నేస్ మూలల్లోకి సున్నితంగా సరిపోతుంది, ఇది ప్రతి చక్రంలో శక్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచడంలో సహాయపడుతుంది.