అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ ఎట్చ్ రింగ్

1.ముఖ్య లక్షణాలు & ప్రయోజనాలు

• SiO₂ ≥ 99.999%తో సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ డీహైడ్రాక్సిలేటెడ్ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ మరియు కఠినంగా నియంత్రించబడిన లోహ మలినాలు

• 1100 °C వరకు స్థిరమైన నిరంతర ఆపరేషన్, 1200 °C సమీపంలో స్వల్పకాలిక సామర్థ్యం

• ఫ్లోరిన్- మరియు క్లోరిన్-ఆధారిత ఎట్చ్ కెమిస్ట్రీలు మరియు హై-ఎనర్జీ ప్లాస్మా ఎక్స్‌పోజర్‌కు బలమైన ప్రతిఘటన

• తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ మరియు రిపీటెడ్ ఛాంబర్ ఉష్ణోగ్రత చక్రాల కింద మంచి థర్మల్-షాక్ పనితీరు

• చాంబర్ బేస్ ప్రెజర్ మరియు ప్రాసెస్ గ్యాస్ కూర్పును రక్షించడానికి తక్కువ వాక్యూమ్ అవుట్‌గ్యాసింగ్

• స్థిరమైన చాంబర్ ఫిట్ మరియు ప్లాస్మా సరిహద్దు నిర్వచనం కోసం మెరుగుపెట్టిన కాంటాక్ట్ సర్ఫేస్‌లతో మైక్రో-లెవల్ డైమెన్షనల్ కంట్రోల్

• కాన్ఫిగర్ చేయగల డిజైన్‌లు: ఫ్లాట్ రింగ్‌లు, స్టెప్డ్ ఎట్చ్ రింగ్‌లు, లొకేటింగ్/రిటైనింగ్ రింగ్‌లు మరియు ప్రధాన ఎట్చ్ టూల్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల కోసం పూర్తిగా అనుకూల ప్రొఫైల్‌లు

2.సాధారణ అప్లికేషన్లు

హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ ఎట్చ్ రింగ్స్ డ్రై ప్లాస్మా ఎట్చ్ ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌లలో వీటిని ఉపయోగిస్తారు:

• లాజిక్ మరియు మెమరీ పరికరం ప్లాస్మా ఎట్చ్ దశలు

• SiC మరియు GaN పవర్-డివైస్ ఎట్చ్ ప్రక్రియలు

• అధిక-కారక-నిష్పత్తి నిర్మాణం etch

• ఆప్టికల్ మరియు కాంపౌండ్-సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్ ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్

• అధునాతన ప్యాకేజింగ్ ప్లాస్మా ఎట్చ్ మరియు సంబంధిత శుభ్రపరిచే దశలు

• RIE / ICP ప్రయోగశాల మరియు ఉత్పత్తి ఎట్చ్ సాధనాలు

3.కీ సాంకేతిక పారామితులు

• మెటీరియల్: సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ డీహైడ్రాక్సిలేటెడ్ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్, SiO₂ ≥ 99.999%

• పొర అనుకూలత: 2 / 4 / 6 / 8 / 12 అంగుళాల సిలికాన్, SiC, GaN మరియు నీలమణి

• ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత: −20 °C నుండి 1100 °C వరకు నిరంతరాయంగా; స్వల్పకాలిక గరిష్ట స్థాయి సుమారు 1200 °C

• ప్రాథమిక విధులు: ప్లాస్మా అంచు నిర్బంధం, గ్యాస్-ఫ్లో గైడెన్స్, ఎడ్జ్ ప్రొటెక్షన్ మరియు ఛాంబర్ ఐసోలేషన్

• మ్యాచింగ్ నాణ్యత: మైక్రాన్-స్థాయి సహనం, మెరుగుపెట్టిన ఉపరితలాలు, నియంత్రిత అంచులు మరియు శుభ్రమైన ముగింపు

• నిర్మాణ ఎంపికలు: ఫ్లాట్ రింగ్, స్టెప్డ్ ఎట్చ్ రింగ్, లొకేటింగ్/రిటైనింగ్ రింగ్ మరియు కస్టమ్ జ్యామితులు

• అనుకూలీకరణ: బయటి/లోపలి వ్యాసం, మందం, దశల ఎత్తు, లొకేటింగ్ ఫీచర్‌లు, ఛాంఫర్‌లు మరియు ప్రతి డ్రాయింగ్‌కు ఇంటర్‌ఫేస్ వివరాలు

4.VeTek హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ ఎట్చ్ రింగులను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

VeTek సెమీకండక్టర్ ఎట్చ్ మరియు థర్మల్ టూల్స్ కోసం ప్రాసెస్-క్రిటికల్ క్వార్ట్జ్ హార్డ్‌వేర్‌ను సరఫరా చేస్తుంది. ఎట్చ్ రింగ్‌ల కోసం, వీటిపై దృష్టి కేంద్రీకరించబడింది:

• మెటీరియల్ స్వచ్ఛత మరియు ఉపరితల శుభ్రత అధునాతన డ్రై-ఎచ్ పరిసరాలకు సరిపోతాయి

• స్థిరమైన ప్లాస్మా సరిహద్దు నియంత్రణ మరియు పునరావృత ఛాంబర్ ఫిట్‌కు మద్దతు ఇచ్చే డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం

• OEM-శైలి భర్తీ మరియు పూర్తిగా అనుకూల ఛాంబర్ ఇంటర్‌ఫేస్‌ల కోసం డిజైన్ సౌలభ్యం

• పూర్తి క్వార్ట్జ్ కాంపోనెంట్ శ్రేణి, ఇందులో పొర క్యారియర్లు, ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు, బోట్లు మరియు సంబంధిత ప్రక్రియ భాగాలు ఉంటాయి

అధిక స్వచ్ఛత, ప్లాస్మా మన్నిక మరియు గట్టి జ్యామితి నియంత్రణను కలపడం ద్వారా, VeTek హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ Etch రింగ్‌లు అంతటా-వేఫర్ ఎట్చ్ ఏకరూపతను మెరుగుపరచడంలో, అంచు-సంబంధిత లోపాలను తగ్గించడంలో మరియు పొడి ప్లాస్మా ఎట్చ్ టూల్స్‌లో సుదీర్ఘమైన, మరింత స్థిరమైన ఉత్పత్తి చక్రాలకు మద్దతు ఇవ్వడంలో సహాయపడతాయి.