డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ కోసం క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్

1. ముఖ్య లక్షణాలు & ప్రయోజనాలు

• అల్ట్రా-అధిక స్వచ్ఛత డీహైడ్రాక్సిలేటెడ్ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ (SiO₂ ≥ 99.999%) లోహపు మలినాలు ppb స్థాయిలలో నియంత్రించబడతాయి మరియు చాలా తక్కువ హైడ్రాక్సిల్ కంటెంట్

• 1100 °C వరకు దీర్ఘకాలిక ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత; 1200 °Cకి స్వల్పకాలిక గరిష్ట నిరోధకత

• పూర్తి స్ట్రెస్-రిలీఫ్ ఎనియలింగ్ తర్వాత అద్భుతమైన థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్-వేగవంతమైన ఉష్ణోగ్రత మార్పులలో పగుళ్లను తట్టుకుంటుంది

• ఆక్సీకరణం, తగ్గించడం మరియు హాలోజన్ కలిగిన ప్రక్రియ వాయువులకు వ్యతిరేకంగా అత్యుత్తమ రసాయన జడత్వం; ప్లాస్మా మరియు తినివేయు వాతావరణాలకు అనుకూలం

• చాలా తక్కువ వాక్యూమ్ అవుట్‌గ్యాసింగ్; మృదువైన లోపలి గోడ ఉపఉత్పత్తి నిర్మాణాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు ప్రక్రియ పునరావృతతకు మద్దతు ఇస్తుంది

• నమ్మకమైన సీలింగ్ కోసం ఏకరీతి గోడ మందం, అధిక కోక్సియాలిటీ మరియు ఖచ్చితత్వంతో పూర్తి చేసిన చివరలతో ఒక-ముక్క ఏర్పడుతుంది

• అనుకూలీకరించదగిన నిర్మాణాలు: స్ట్రెయిట్ ట్యూబ్‌లు, రీడ్యూసర్ ట్యూబ్‌లు, ఫ్లాంగ్డ్ ట్యూబ్‌లు, పొడిగించిన పొడవులు మరియు నిలువు లేదా క్షితిజ సమాంతర ఫర్నేస్‌ల కోసం ప్రత్యేక ముగింపు కాన్ఫిగరేషన్‌లు

2. సాధారణ అప్లికేషన్లు

VeTek క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు ఇందులో కోర్ రియాక్షన్ ఛాంబర్‌గా విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి:

• థర్మల్ ఆక్సీకరణ ఫర్నేసులు (పొడి/తడి ఆక్సీకరణ)

• డోపాంట్ పరిచయం కోసం డిఫ్యూజన్ ఫర్నేసులు (B, P, As, మొదలైనవి)

• సన్నని-ఫిల్మ్ నిక్షేపణ కోసం LPCVD వ్యవస్థలు

• వాక్యూమ్ ఎనియలింగ్ మరియు ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఉష్ణ-చికిత్స ప్రక్రియలు

• 4-అంగుళాల, 6-అంగుళాల, 8-అంగుళాల మరియు 12-అంగుళాల వేఫర్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లకు (Si, SiC, GaN, నీలమణి సబ్‌స్ట్రేట్‌లు) అనుకూలమైనది

ఇవి లాజిక్, మెమరీ, పవర్ డివైస్, MCU, LED, MEMS మరియు స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత, గ్యాస్-ఫ్లో కంట్రోల్ మరియు అల్ట్రా-క్లీన్ ప్రాసెస్ ఎన్విరాన్‌మెంట్‌లు అవసరమయ్యే వైడ్-బ్యాండ్‌గ్యాప్ సెమీకండక్టర్ తయారీ లైన్‌లకు మద్దతు ఇస్తాయి.

3. కీ సాంకేతిక పారామితులు

• మెటీరియల్: సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ డీహైడ్రాక్సిలేటెడ్ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ (SiO₂ ≥ 99.999%), తక్కువ హైడ్రాక్సిల్, తక్కువ మెటాలిక్ మలినాలు

• పొర అనుకూలత: 4 / 6 / 8 / 12 అంగుళాలు

• దీర్ఘకాలిక పని ఉష్ణోగ్రత: −20 °C నుండి 1100 °C; 1200 °C వరకు స్వల్పకాలిక గరిష్ట స్థాయి

• ప్రక్రియ: వన్-పీస్ థర్మల్ ఫార్మింగ్, వాల్ హోమోజెనైజేషన్, ఎండ్ ఫినిషింగ్, స్ట్రెస్-రిలీఫ్ ఎనియలింగ్, హీలియం లీక్ టెస్ట్, అల్ట్రా-క్లీన్ క్లీనింగ్

• అందుబాటులో ఉన్న నిర్మాణాలు: స్ట్రెయిట్ ట్యూబ్, రీడ్యూసర్ ట్యూబ్, ఫ్లాంగ్డ్ ట్యూబ్, ఎక్స్‌టెండెడ్ / కస్టమ్-లెంగ్త్ ట్యూబ్, స్పెషల్-ఎండ్ కాన్ఫిగరేషన్‌లు

• అనుకూలీకరణ: లోపలి/బయటి వ్యాసం, పొడవు, గోడ మందం, ఫ్లాంజ్ స్పెక్స్ మరియు ఒక్కో కస్టమర్ డ్రాయింగ్‌లకు ప్రత్యేక జ్యామితులు

4. VeTek క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

సెమీకండక్టర్ క్వార్ట్జ్ భాగాల యొక్క ప్రొఫెషనల్ తయారీదారుగా, VeTek సెమీకండక్టర్ అందిస్తుంది:

• ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, LPCVD మరియు ఎనియలింగ్ పరికరాల కోసం రూపొందించిన అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు

• క్లాస్ 10 / క్లాస్ 100 క్లీన్‌రూమ్ ఉత్పత్తికి అనువైన ఖచ్చితమైన స్వచ్ఛత నియంత్రణ, డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం మరియు శుభ్రత

• నిలువు మరియు క్షితిజ సమాంతర ట్యూబ్ ఫర్నేస్‌ల కోసం పూర్తి అనుకూలీకరణ మరియు OEM-అనుకూల డిజైన్‌లు

• వేఫర్ బోట్లు, క్రూసిబుల్స్, లైనర్లు మరియు ఇతర ప్రక్రియ భాగాలతో సహా కాంప్లిమెంటరీ సెమీకండక్టర్ క్వార్ట్జ్ ఉత్పత్తులు

మా క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు స్థిరమైన థర్మల్ మరియు గ్యాస్-ఫ్లో పరిస్థితులను నిర్వహించడానికి, కణ మరియు లోహ కాలుష్యాన్ని తగ్గించడానికి మరియు నిరంతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత సైక్లింగ్‌లో సేవా జీవితాన్ని పొడిగించడంలో సహాయపడతాయి-అధిక దిగుబడికి మరియు సెమీకండక్టర్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్‌లో యాజమాన్యం యొక్క తక్కువ ధరకు మద్దతు ఇస్తుంది.