అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ వేఫర్ క్యారియర్

1. ముఖ్య లక్షణాలు & ప్రయోజనాలు

• అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ డీహైడ్రాక్సిలేటెడ్ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ (SiO₂ ≥ 99.999%) లోహపు మలినాలు ppb స్థాయిలలో నియంత్రించబడతాయి-వేఫర్ కాలుష్యాన్ని తగ్గించడం

• 1100 °C వరకు దీర్ఘకాలిక ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత; 1200 °Cకి స్వల్పకాలిక గరిష్ట నిరోధకత

• తరచుగా ఉష్ణోగ్రత సైక్లింగ్ కింద అద్భుతమైన థర్మల్ షాక్ నిరోధకత మరియు డైమెన్షనల్ స్థిరత్వం

• ఆక్సీకరణ ప్రక్రియ వాయువులు మరియు సాధారణ తడి-ప్రక్రియ రసాయనాలకు వ్యతిరేకంగా బలమైన రసాయన జడత్వం (HF, H₂O₂, ఆమ్లాలు/క్షారాలు)

• ఏకరీతి పొర మద్దతు మరియు తగ్గిన అంచు నష్టం కోసం గుండ్రని అంచులతో అధిక ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు ఖచ్చితత్వంతో కూడిన నేల ఉపరితలం

• తక్కువ వాక్యూమ్ అవుట్‌గ్యాసింగ్ మరియు తక్కువ ఉపరితల శోషణం-ఖచ్చితమైన వాక్యూమ్ ప్రక్రియలకు అనుకూలం

• పూర్తిగా అనుకూలీకరించదగిన నిర్మాణాలు: ఘన వాహకాలు, చిల్లులు/వెంటెడ్ డిజైన్‌లు, స్టెప్డ్ లొకేటింగ్ ఫీచర్‌లు, పొజిషనింగ్ హోల్స్, మల్టీ-పాయింట్ సపోర్ట్‌లు మరియు 2–12 అంగుళాల పొరల కోసం మందమైన యాంటీ డిఫార్మేషన్ డిజైన్‌లు

2. సాధారణ అప్లికేషన్లు

ఈ క్యారియర్‌లు వేఫర్‌లకు క్లీన్, డైమెన్షనల్‌గా స్థిరమైన మద్దతు అవసరమైన చోట ఎలివేటెడ్ ఉష్ణోగ్రత లేదా దూకుడు కెమిస్ట్రీలో ఉపయోగించబడతాయి:

• డిఫ్యూజన్ మరియు ఎనియలింగ్ ఫర్నేస్ లోడింగ్

• PECVD మరియు LPCVD ఫిల్మ్ గ్రోత్ ప్రాసెస్ సపోర్ట్

• వాక్యూమ్ చాంబర్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ సాధనం

• పోస్ట్-ఎచ్ ఎండబెట్టడం మరియు తడి-క్లీన్ స్టేషన్ క్యారియర్లు

• SiC మరియు GaN పవర్-డివైస్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్

• ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ సబ్‌స్ట్రేట్ హ్యాండ్లింగ్ మరియు లాబొరేటరీ థర్మల్ టూల్స్

3. కీ సాంకేతిక పారామితులు

• బేస్ మెటీరియల్: సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ డీహైడ్రాక్సిలేటెడ్ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్, SiO₂ ≥ 99.999%

• అనుకూల పొర పరిమాణాలు: 2, 4, 6, 8, మరియు 12 అంగుళాలు (Si, SiC, GaN, నీలమణి)

• సిఫార్సు చేయబడిన నిరంతర ఉష్ణోగ్రత పరిధి: −20 °C నుండి 1100 °C; దాదాపు 1200 °C వరకు స్వల్పకాలిక గరిష్ట స్థాయి

• తయారీ మార్గం: వన్-పీస్ ఫార్మింగ్, ప్రెసిషన్ సర్ఫేస్ గ్రౌండింగ్, ఎడ్జ్ రౌండింగ్, స్ట్రెస్-రిలీఫ్ ఎనియలింగ్ మరియు అల్ట్రా-క్లీన్ ఫైనల్ క్లీనింగ్

• అందుబాటులో ఉన్న కాన్ఫిగరేషన్‌లు: ఘన, వెంటెడ్/రంధ్రాలు, స్టెప్డ్ లొకేటింగ్, హోల్-ప్యాటర్న్డ్ మరియు పూర్తిగా కస్టమ్ జ్యామితులు

• పనితీరు దృష్టి: అధిక స్వచ్ఛత, ఉష్ణ స్థిరత్వం, తుప్పు నిరోధకత, ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్, తక్కువ అవుట్‌గ్యాసింగ్ మరియు దీర్ఘకాలిక డైమెన్షనల్ రిటెన్షన్

• అనుకూలీకరణ పరిధి: బయటి కొలతలు, మందం, మద్దతు జ్యామితి, రంధ్రం లేఅవుట్ మరియు కస్టమర్ డ్రాయింగ్‌ల ఆధారంగా ప్రత్యేక లక్షణాలు

4. VeTek హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ వేఫర్ క్యారియర్‌లను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

సెమీకండక్టర్ క్వార్ట్జ్ భాగాల యొక్క ప్రొఫెషనల్ తయారీదారుగా, VeTek సెమీకండక్టర్ అందిస్తుంది:

• అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ వేఫర్ క్యారియర్లు థర్మల్, వాక్యూమ్ మరియు వెట్-ప్రాసెస్ పరిసరాల కోసం రూపొందించబడ్డాయి

• అధునాతన సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తికి అనుకూలమైన ఖచ్చితమైన స్వచ్ఛత నియంత్రణ, ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు శుభ్రత

• ఫర్నేస్, ఛాంబర్ మరియు ప్రాసెస్-స్టేషన్ టూలింగ్ కోసం పూర్తి అనుకూలీకరణ మరియు OEM-అనుకూల డిజైన్‌లు

• కొలిమి గొట్టాలు, పొర పడవలు, క్రూసిబుల్స్ మరియు ఇతర ప్రక్రియ భాగాలతో సహా కాంప్లిమెంటరీ సెమీకండక్టర్ క్వార్ట్జ్ ఉత్పత్తులు

మా అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ వేఫర్ క్యారియర్లు ఏకరీతి ఉష్ణ సంబంధాన్ని నిర్వహించడానికి, కణ మరియు లోహ కాలుష్యాన్ని తగ్గించడానికి మరియు నిరంతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు ప్రక్రియ పరిస్థితులలో టూలింగ్ జీవితాన్ని పొడిగించడంలో సహాయపడతాయి-అధిక దిగుబడి మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీలో యాజమాన్యం యొక్క తక్కువ ధరకు మద్దతు ఇస్తుంది.