ఎచింగ్ కోసం ఫోకస్ రింగ్

మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగులు ప్లాస్మా పర్యావరణ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించడం, పరికరాలు మరియు పొరలను రక్షించడం, వనరుల వినియోగాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయడం మరియు అధునాతన ప్రక్రియ అవసరాలకు అనుగుణంగా సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ ప్రక్రియలలో అవసరమైన భాగాలు. దీని పనితీరు చిప్ తయారీ యొక్క దిగుబడి మరియు ఖర్చును ప్రత్యక్షంగా ప్రభావితం చేస్తుంది.

ఎచెడ్ ఫోకస్ రింగ్, ఎలక్ట్రోడ్ మరియు మొదలైనవి (ఎడ్జ్ టెంపరేచర్ కంట్రోలర్) ప్లాస్మా ఏకరూపత, ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ మరియు ప్రక్రియ పునరావృతతను నిర్ధారించడానికి ప్రధాన వినియోగ వస్తువులు. ఈ భాగాలు ఖచ్చితంగా సివిడి, ఎచింగ్ మరియు ఫిల్మ్ ఎక్విప్‌మెంట్ యొక్క వాక్యూమ్ ఛాంబర్‌లో సమావేశమవుతాయి మరియు ఎడ్జ్ నుండి పొర మధ్య వరకు ఎచింగ్ యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు దిగుబడిని నేరుగా నిర్ణయిస్తాయి.

హై-ఎండ్ తయారీ ప్రక్రియలలో భౌతిక లక్షణాల కోసం కఠినమైన డిమాండ్‌కు ప్రతిస్పందనగా, వెటెక్సేమి అధిక-స్వచ్ఛత మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్‌ను 10-20Ω · సెం.మీ.ల రెసిస్టివిటీతో ఉపయోగించడం ద్వారా ఫోకస్ చేసే రింగులు తయారీకి మరియు సహాయక వినియోగ వస్తువులను ఉపయోగించడం ద్వారా ఆవిష్కరిస్తుంది. మెటీరియల్ సైన్స్, ఎలక్ట్రికల్ డిజైన్ మరియు థర్మోడైనమిక్స్ యొక్క సహకార ఆప్టిమైజేషన్ ద్వారా, వెటెక్సెమి ఫోకస్ చేసే రింగులను తయారు చేయగలదు మరియు వినియోగ వస్తువులను సహాయపడుతుంది. దీర్ఘాయువు, ఖచ్చితత్వం మరియు వ్యయ ప్రభావంలో పురోగతి మెరుగుదలలను సాధించడానికి సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పరిష్కారాలను సమగ్రంగా అధిగమించండి.

ప్రధాన పదార్థాల పోలిక మరియు రెసిస్టివిటీ ఆప్టిమైజేషన్

మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ Vs. క్వార్ట్జ్

ఉత్పత్తి కోర్ ప్రయోజనంe

1. అణు స్థాయి ప్రక్రియ ఖచ్చితత్వం

రెసిస్టివిటీ ఆప్టిమైజేషన్ + అల్ట్రా-ప్రెసిషన్ పాలిషింగ్ (రా <0.1μm) సెమీ ఎఫ్ 47 ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా మైక్రో-డిశ్చార్జ్ మరియు కణ కాలుష్యాన్ని తొలగిస్తుంది.

విద్యుద్వాహక నష్టం (TANΔ <0.001) పొర విద్యుద్వాహక వాతావరణంతో ఎక్కువగా సరిపోతుంది, అంచు విద్యుత్ క్షేత్ర వక్రీకరణను నివారిస్తుంది మరియు 3D NAND 89.5 ± 0.3 ° నిలువు లోతైన రంధ్రం చెక్కడానికి మద్దతు ఇస్తుంది.

2. ఇంటెలిజెంట్ సిస్టమ్ అనుకూలత

ETC అంచు ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ మాడ్యూల్‌తో అనుసంధానించబడిన, ఛాంబర్ థర్మల్ డ్రిఫ్ట్‌ను భర్తీ చేయడానికి శీతలీకరణ గాలి ప్రవాహం థర్మోకపుల్ మరియు AI అల్గోరిథం ద్వారా డైనమిక్‌గా సర్దుబాటు చేయబడుతుంది.

అనుకూలీకరించిన RF మ్యాచింగ్ నెట్‌వర్క్‌కు మద్దతు ఇవ్వండి, ఇది అమాట్ సెంచూరా, లామ్ రీసెర్చ్ కియో మరియు ఐసిపి/సిసిపి ప్లాస్మా మూలాలు వంటి ప్రధాన స్రవంతి యంత్రాలకు అనువైనది.

3. సమగ్ర ఖర్చు-ప్రభావం

మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ యొక్క జీవితం క్వార్ట్జ్ కంటే 275% ఎక్కువ, నిర్వహణ చక్రం 3,000 గంటలకు మించి ఉంటుంది మరియు యాజమాన్యం యొక్క సమగ్ర వ్యయం (TCO) 30% తగ్గింది.

రెసిస్టివిటీ ప్రవణత అనుకూలీకరణ సేవ (5-100Ω · cm), కస్టమర్ ప్రాసెస్ విండోతో ఖచ్చితంగా సరిపోతుంది (GAN/SIC వైడ్ బ్యాండ్ గ్యాప్ మెటీరియల్ ఎచింగ్ వంటివి).

రెసిస్టివిటీ ప్రభావం

ఉత్పత్తి వాణిజ్య నిబంధనలు

కనీస ఆర్డర్ పరిమాణం	1 సెట్
ధర	అనుకూలీకరించిన కొటేషన్ కోసం సంప్రదించండి
ప్యాకేజింగ్ వివరాలు	ప్రామాణిక ఎగుమతి ప్యాకేజీ
డెలివరీ సమయం	డెలివరీ సమయం: ఆర్డర్ నిర్ధారణ తర్వాత 30-35 రోజులు
చెల్లింపు నిబంధనలు	T/t
సరఫరా సామర్థ్యం	600 సెట్లు/నెల