ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం

ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం

చైనాలో ప్రొఫెషనల్ ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం ఉత్పత్తుల తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా, వెటెక్ సెమీకండక్టర్ ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం ప్రత్యేకంగా అటామిక్ లేయర్ డిపాజిషన్ (ALD), తక్కువ-పీడన రసాయన ఆవిరి డిపాజిషన్ (LPCVD) లో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడింది, అలాగే డిఫ్యూజన్ పొర ప్రక్రియ పొర ఉపరితలాలపై సన్నని చిత్రాల ఏకరీతి నిక్షేపణ. మీ తదుపరి విచారణలకు స్వాగతం.

VeTek సెమీకండక్టర్ ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.క్వార్ట్జ్ పడవ, ఇది పట్టుకోవడానికి ఉపయోగిస్తారుపొర. ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రతను నిర్వహించడం ద్వారా ఏకరీతి చలనచిత్ర నిక్షేపణను సాధించడంలో సహాయపడుతుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరాల పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతను ప్రత్యక్షంగా ప్రభావితం చేస్తుంది. అదనంగా, క్వార్ట్జ్ పీఠం ప్రాసెస్ చాంబర్‌లో వేడి మరియు కాంతి యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క మొత్తం నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.


ALD fused silica susceptor is used to support the quartz boat on which the wafer is placed

ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ మెటీరియల్ ప్రయోజనాలు


అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం యొక్క మృదుత్వం స్థానం దాదాపు 1730°C వరకు ఉంటుంది మరియు ఇది 1100°C నుండి 1250°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల ఆపరేషన్‌ను ఎక్కువ కాలం తట్టుకోగలదు మరియు 1450°C వరకు విపరీతమైన ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాలకు బహిర్గతమవుతుంది. కొద్దికాలం పాటు.


అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత: ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ హైడ్రోఫ్లోరిక్ ఆమ్లం మినహా దాదాపు అన్ని ఆమ్లాలకు రసాయనికంగా జడమైనది. దీని ఆమ్ల నిరోధకత సిరామిక్స్ కంటే 30 రెట్లు ఎక్కువ మరియు స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ కంటే 150 రెట్లు ఎక్కువ. ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద రసాయనికంగా సరిపోలలేదు, ఇది సంక్లిష్ట రసాయన ప్రక్రియలకు అనువైన పదార్థంగా మారుతుంది.


ఉష్ణ స్థిరత్వం: ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం పదార్థం యొక్క ముఖ్య లక్షణం థర్మల్ విస్తరణ యొక్క చాలా తక్కువ గుణకం. దీని అర్థం ఇది పగుళ్లు లేకుండా నాటకీయ ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులను సులభంగా నిర్వహించగలదు. ఉదాహరణకు, ఫ్యూజ్డ్ సిలికా క్వార్ట్జ్‌ను త్వరగా 1100 ° C కు వేడి చేసి, నష్టం లేకుండా నేరుగా చల్లటి నీటిలో ముంచెత్తవచ్చు, అధిక-ఒత్తిడి తయారీ పరిస్థితులలో ఇది ఒక ముఖ్యమైన లక్షణం.


కఠినమైన తయారీ ప్రక్రియ: ఫ్యూజ్డ్ సిలికా పీఠాల ఉత్పత్తి ప్రక్రియ ఖచ్చితంగా అధిక నాణ్యత ప్రమాణాలకు కట్టుబడి ఉంటుంది. ఉత్పత్తి ప్రక్రియ హాట్ ఫార్మింగ్ మరియు వెల్డింగ్ ప్రక్రియలను ఉపయోగిస్తుంది, ఇవి సాధారణంగా 10,000 తరగతి క్లీన్‌రూమ్ వాతావరణంలో పూర్తవుతాయి. తరువాత, ఉత్పత్తి స్వచ్ఛత మరియు సరైన పనితీరును నిర్ధారించడానికి ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ పీఠాన్ని అల్ట్రాపుర్ వాటర్ (18 MΩ)తో పూర్తిగా శుభ్రం చేస్తారు. సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క ఉన్నత ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ప్రతి తుది ఉత్పత్తిని 1,000 తరగతి లేదా అంతకంటే ఎక్కువ క్లీన్‌రూమ్‌లో కఠినంగా తనిఖీ చేసి, శుభ్రం చేసి, ప్యాక్ చేస్తారు.


అధిక స్వచ్ఛత అపారదర్శక సిలికా క్వార్ట్జ్ పదార్థం


VeTeksemi ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ వేడి మరియు కాంతిని సమర్థవంతంగా వేరుచేయడానికి అధిక స్వచ్ఛత అపారదర్శక క్వార్ట్జ్ పదార్థాన్ని ఉపయోగిస్తుంది. దాని అద్భుతమైన హీట్ షీల్డింగ్ మరియు లైట్ షీల్డింగ్ లక్షణాలు ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌లో ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్వహించడానికి, సన్నగా ఉండే ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తాయి.చిత్రం నిక్షేపణపొర ఉపరితలంపై.


దరఖాస్తు ఫీల్డ్‌లు


ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠాలు వాటి అద్భుతమైన పనితీరు కారణంగా సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలోని అనేక రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. లోఅణు పొర నిక్షేపణ (ALD) ప్రక్రియ, ఇది ఫిల్మ్ పెరుగుదలపై ఖచ్చితమైన నియంత్రణకు మద్దతు ఇస్తుంది మరియు సెమీకండక్టర్ పరికరాల పురోగతిని నిర్ధారిస్తుంది. లోఅల్ప పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (LPCVD) ప్రక్రియ, అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ పెడెస్టల్ యొక్క ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు తేలికపాటి షీల్డింగ్ సామర్థ్యం సన్నని ఫిల్మ్‌ల ఏకరీతి నిక్షేపణకు హామీని అందిస్తాయి, తద్వారా పరికరం పనితీరు మరియు దిగుబడి మెరుగుపడుతుంది.


అదనంగా, వ్యాప్తి పొర ప్రక్రియలో, ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకత సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్ డోపింగ్ ప్రక్రియ యొక్క విశ్వసనీయత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఈ కీలక ప్రక్రియలు సెమీకండక్టర్ పరికరాల విద్యుత్ పనితీరును నిర్ణయిస్తాయి మరియు ఈ ప్రక్రియల యొక్క ఉత్తమ ఫలితాలను సాధించడంలో అధిక-నాణ్యత ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పదార్థాలు అనివార్యమైన పాత్రను పోషిస్తాయి.


వెటెక్ సెమీకండక్టర్ ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం షాపులు:


Fused Quartz Pedestal shops

హాట్ ట్యాగ్‌లు: ALD ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ పీఠం
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇమెయిల్

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు. గోప్యతా విధానం
తిరస్కరించుఅంగీకరించు