పొర హ్యాండ్లింగ్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్

పొర హ్యాండ్లింగ్ ఎండ్ ఎఫెక్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించిన ఒక రకమైన రోబోట్ హ్యాండ్, సాధారణంగా నిర్వహించడానికి మరియు బదిలీ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారుపొరలు. పొరల యొక్క ఉత్పత్తి వాతావరణానికి చాలా ఎక్కువ శుభ్రత అవసరం, ఎందుకంటే చిన్న కణాలు లేదా కలుషితాలు ప్రాసెసింగ్ సమయంలో చిప్స్ విఫలమవుతాయి. 

సిరామిక్ పదార్థాలు అద్భుతమైన భౌతిక మరియు రసాయన లక్షణాల కారణంగా ఈ చేతుల తయారీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి.

స్వచ్ఛత మరియు కూర్పు

అల్యూమినా యొక్క స్వచ్ఛత సాధారణంగా ≥99.9%, మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్‌కు నిరోధకతను మెరుగుపరచడానికి లోహ మలినాలు (MGO, CAO, SIO₂ వంటివి) 0.05% నుండి 0.8% వరకు నియంత్రించబడతాయి.

α- దశ అల్యూమినా (కొరండం నిర్మాణం) ప్రధానమైనది, క్రిస్టల్ రకం స్థిరంగా ఉంటుంది, సాంద్రత 3.98 గ్రా/సెం.మీ., మరియు సింటరింగ్ తర్వాత వాస్తవ సాంద్రత 3.6 ~ 3.9 గ్రా/సెం.మీ.

యాంత్రిక ఆస్తి

కాఠిన్యం: మోహ్స్ కాఠిన్యం 9 ~ 9.5, విక్కర్స్ కాఠిన్యం 1800 ~ 2100 హెచ్‌వి, స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ మరియు మిశ్రమం కంటే ఎక్కువ.

బెండింగ్ బలం: 300 ~ 400 MPa, ఇది పొర యొక్క అధిక వేగం నిర్వహణ యొక్క యాంత్రిక ఒత్తిడిని తట్టుకోగలదు.

సాగే మాడ్యులస్: 380 ~ 400 GPA, నిర్వహణ చేయి దృ g ంగా మరియు వైకల్యం చేయడం సులభం కాదని నిర్ధారించడానికి.

ఉష్ణ, విద్యుత్ లక్షణాలు

ఉష్ణ వాహకత.

ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: దీర్ఘకాలిక వినియోగ ఉష్ణోగ్రత 850 ~ 1300 to చేరుకోవచ్చు, ఇది వాక్యూమ్ అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణానికి అనువైనది.

ఉపరితల లక్షణం

ఉపరితల కరుకుదనం: పొర గీతలు నివారించడానికి RA≤ 0.2μm (పాలిషింగ్ తరువాత)

వాక్యూమ్ అధిశోషణం సచ్ఛిద్రత: ఐసోస్టాటిక్ నొక్కడం, సచ్ఛిద్రత <0.5%ద్వారా సాధించిన బోలు నిర్మాణం.

రెండవది, నిర్మాణ రూపకల్పన లక్షణాలు

తేలికపాటి మరియు బలం ఆప్టిమైజేషన్

ఇంటిగ్రేటెడ్ అచ్చు ప్రక్రియను ఉపయోగించి, బరువు మెటల్ ఆర్మ్‌లో 1/3 మాత్రమే, జడత్వం వల్ల కలిగే పొజిషనింగ్ లోపాన్ని తగ్గిస్తుంది.

ఎండ్-ఎఫెక్టర్ గ్రిప్పర్ లేదా వాక్యూమ్ అబ్జార్బర్‌గా రూపొందించబడింది, మరియు కాంటాక్ట్ ఉపరితలం యాంటిస్టాటిక్ పూతతో పూత పూయబడుతుంది, ఇది ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శోషణ ద్వారా 710 ను కలుషితం చేయకుండా నిరోధించడానికి.

కాలుష్య నిరోధకత

అధిక స్వచ్ఛత అల్యూమినా రసాయనికంగా జడమైనది, లోహ అయాన్లను విడుదల చేయదు మరియు సెమీ ఎఫ్ 47 పరిశుభ్రత ప్రమాణాన్ని (కణ కాలుష్యం <10 పిపిఎమ్) కలుస్తుంది.

మూడవది, తయారీ ప్రక్రియ అవసరాలు

ఏర్పడటం మరియు సింటరింగ్

పదార్థ సాంద్రతను నిర్ధారించడానికి ఐసోస్టాటిక్ ప్రెస్సింగ్ (పీడనం 200 ~ 300 MPa)> 99.5%.

అధిక ఉష్ణోగ్రత సింటరింగ్ (1600 ~ 1800 ℃), బలం మరియు మొండితనం సమతుల్యం చేయడానికి 1 ~ 5μm లో ధాన్యం పరిమాణ నియంత్రణ.

ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్

డైమండ్ గ్రౌండింగ్ ప్రాసెసింగ్, డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం ± 0.01 మిమీ, ఫ్లాట్‌నెస్ ≤ 0.05 మిమీ/మీ

సెమికాన్ ఉత్పత్తుల షాపులు: