సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్

సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి ప్రక్రియలు, ముఖ్యంగా పొర ప్రాసెసింగ్, వాక్యూమ్ వాతావరణంలో జరుగుతాయి మరియు యాంత్రికంగా బిగింపు పొరలు క్యారీలు 

కొన్ని ప్రమాదాలు. శక్తి బిగింపు బిందువుపై కేంద్రీకృతమై ఉన్నప్పుడు, పెళుసైన సిలికాన్ పొరలు చిన్న శకలాలు చిందించవచ్చు, దీనివల్ల పొర ఉత్పత్తికి తీవ్రమైన నష్టం జరుగుతుంది.

ఈ సందర్భంలో, సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ మంచి ఎంపిక అవుతుంది, ఇది ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫోర్స్ ద్వారా పొరను పరిష్కరిస్తుంది. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫోర్స్ పొరపై సమానంగా పనిచేస్తుంది, కాబట్టి పొరలను సరళంగా పరిష్కరించవచ్చు, ఇది ప్రక్రియ యొక్క ఖచ్చితత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

సంబంధిత పరిశోధనా పత్రాల ప్రకారం, సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ఇతర ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ కంటే బలమైన చూషణను కలిగి ఉంటుంది. ఉదాహరణకు, సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ పెట్ ఫిల్మ్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ కంటే చాలా బలమైన చూషణను కలిగి ఉంది.

సిరామిక్స్ చక్ సాధారణంగా అధిక-పనితీరు గల సిరామిక్ పదార్థాలతో కూడిన AL2O3, ALN లేదా SIC వంటివి, ఇది అధిక ఉష్ణ నిరోధకత, ఇన్సులేషన్ మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. పోరస్ SIC సిరామిక్ చక్ తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రతలలో స్థిరంగా ఉండటమే కాకుండా, ఉత్పాదక ప్రక్రియలో రసాయన కారకాలు మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్ కారణంగా సిరామిక్ ఇ-చక్ క్షీణించకుండా సమర్థవంతంగా నిరోధిస్తుంది.

ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ.

వాక్యూమ్ అనుకూలత: సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ వాక్యూమ్ పరిసరాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది, ముఖ్యంగా తక్కువ-పీడన మరియు అధిక-ఖచ్చితమైన చెక్కడం ప్రక్రియలలో.

తక్కువ కణ తరం.

అప్లికేషన్: ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ తయారీ, వేరు చేయగలిగిన సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లో ఖచ్చితమైన పొజిషనింగ్ మరియు స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది, ఇది లితోగ్రఫీ, ఎచింగ్ మరియు ఇతర సెమీకండక్టర్ పొర ప్రాసెసింగ్ తయారీ ప్రక్రియలకు చాలా సహాయపడుతుంది. ప్రాసెసింగ్ సమయంలో పొర చెక్కుచెదరకుండా ఉందని నిర్ధారించుకోండి మరియు చిప్ ఉత్పత్తి నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.

ఇది సెమీకండక్టర్సిరామిక్ ఇ-చక్ ప్రొడక్షన్ షాపులు: