ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్
  • CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్

CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ మరియు ప్రాసెసింగ్ కోసం రూపొందించబడిన ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్ సాధనం. ఈ SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ సన్నని ఫిల్మ్‌లు, ఎపిలేయర్‌లు మరియు ఇతర పూతలను వృద్ధి చేయడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత మరియు పదార్థ లక్షణాలను ఖచ్చితంగా నియంత్రించగలదు. మీ తదుపరి విచారణలకు స్వాగతం.

Veteksemicon యొక్క CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం రూపొందించబడిన ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్ సాధనం. ఈ SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ సన్నని ఫిల్మ్‌లు, ఎపిలేయర్‌లు మరియు ఇతర పూతలను వృద్ధి చేయడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత మరియు పదార్థ లక్షణాలను ఖచ్చితంగా నియంత్రించగలదు. మీ తదుపరి విచారణలకు స్వాగతం.



ప్రాథమికCVD SiC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు:

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి
సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం
FCC β ఫేజ్ పాలీక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఓరియెంటెడ్
సాంద్రత
3.21 గ్రా/సెం³
కాఠిన్యం
2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం
2~10μm
రసాయన స్వచ్ఛత
99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం
640 J·kg-1·కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత
2700℃
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్
415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్
430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత
300W·m-1·కె-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE)
4.5×10-6K-1

CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు:


● ఖచ్చితమైన నిక్షేపణ: సబ్‌స్ట్రేట్‌లకు (నీలమణి, SiC లేదా GaN వంటివి) స్థిరమైన మద్దతు ప్లాట్‌ఫారమ్‌ను అందించడానికి Susceptor అధిక ఉష్ణ వాహక గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను SiC పూతతో మిళితం చేస్తుంది. దీని అధిక ఉష్ణ వాహకత (SiC 120 W/m·K వంటివి) త్వరగా వేడిని బదిలీ చేయగలదు మరియు ఉపరితల ఉపరితలంపై ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క అధిక-నాణ్యత పెరుగుదలను ప్రోత్సహిస్తుంది.

● తగ్గిన కాలుష్యం: CVD ప్రక్రియ ద్వారా తయారు చేయబడిన SiC పూత చాలా ఎక్కువ స్వచ్ఛతను కలిగి ఉంటుంది (అశుద్ధ కంటెంట్ <5 ppm) మరియు తినివేయు వాయువులకు (Cl₂, NH₃ వంటివి) అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క కాలుష్యాన్ని నివారిస్తుంది.

● మన్నిక: SiC యొక్క అధిక కాఠిన్యం (Mohs కాఠిన్యం 9.5) మరియు వేర్ రెసిస్టెన్స్ పదేపదే ఉపయోగించే సమయంలో బేస్ యొక్క యాంత్రిక నష్టాన్ని తగ్గిస్తాయి మరియు అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి ప్రక్రియలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి.



VeTeksemicon అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులు మరియు పోటీ ధరలను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది. మేము  చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా ఉండటానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.


VeTek సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి దుకాణాలు:

graphite-epi-susceptormocvd-led-epi-susceptorgraphite-epitaxygraphite-epitaxy-susceptor


హాట్ ట్యాగ్‌లు: CVD SiC కోటింగ్ ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇ-మెయిల్

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు.గోప్యతా విధానం