సెమీకండక్టర్ థర్మల్ స్ప్రేయింగ్ టెక్నాలజీ

సెమీకండక్టర్ థర్మల్ స్ప్రేయింగ్ టెక్నాలజీ అనేది ఒక అధునాతన ప్రక్రియ, ఇది పూత ఏర్పడటానికి ఒక ఉపరితలం యొక్క ఉపరితలంపై కరిగిన లేదా సెమీ మాల్టెన్ స్థితిలో పదార్థాలను స్ప్రే చేస్తుంది. ఈ సాంకేతిక పరిజ్ఞానం సెమీకండక్టర్ తయారీ రంగంలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ప్రధానంగా సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితలంపై నిర్దిష్ట ఫంక్షన్లతో పూతలను సృష్టించడానికి ఉపయోగిస్తారు, ఇవి వాహకత, ఇన్సులేషన్, తుప్పు నిరోధకత మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకత. థర్మల్ స్ప్రేయింగ్ టెక్నాలజీ యొక్క ప్రధాన ప్రయోజనాలు అధిక సామర్థ్యం, ​​నియంత్రించదగిన పూత మందం మరియు మంచి పూత సంశ్లేషణ, సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఇది చాలా ముఖ్యమైనది, దీనికి అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు విశ్వసనీయత అవసరం.

సెమీకండక్టర్లలో థర్మల్ స్ప్రేయింగ్ టెక్నాలజీ యొక్క అనువర్తనం

ప్లాస్మా బీమ్ ఎచింగ్ (డ్రై ఎచింగ్)

సాధారణంగా ప్లాస్మా మరియు ఎలక్ట్రాన్లు మరియు అధిక రసాయనికంగా చురుకైన తటస్థ అణువులు మరియు అణువులు మరియు ఫ్రీ రాడికల్స్ వంటి చార్జ్డ్ కణాలను కలిగి ఉన్న ప్లాస్మా క్రియాశీల కణాలను రూపొందించడానికి గ్లో ఉత్సర్గ వాడకాన్ని సూచిస్తుంది, ఇవి ఈ భాగానికి విస్తరించి, చెక్కబడిన పదార్థంతో ప్రతిస్పందిస్తాయి, అస్థిరతను ఏర్పరుస్తాయి ఉత్పత్తులు మరియు తొలగించబడతాయి, తద్వారా నమూనా బదిలీ యొక్క ఎచింగ్ టెక్నాలజీని పూర్తి చేస్తుంది. అల్ట్రా-లార్జ్-స్కేల్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ల ఉత్పత్తిలో ఫోటోలిథోగ్రఫీ టెంప్లేట్ల నుండి పొరలకు చక్కటి నమూనాల అధిక-విశ్వసనీయ బదిలీని గ్రహించడానికి ఇది పూడ్చలేని ప్రక్రియ.

CL మరియు F వంటి పెద్ద సంఖ్యలో క్రియాశీల ఫ్రీ రాడికల్స్ ఉత్పత్తి చేయబడతాయి. అవి సెమీకండక్టర్ పరికరాలను ఎత్తివేసినప్పుడు, అవి అల్యూమినియం మిశ్రమాలు మరియు సిరామిక్ నిర్మాణ భాగాలతో సహా పరికరాల యొక్క ఇతర భాగాల లోపలి ఉపరితలాలను క్షీణిస్తాయి. ఈ బలమైన కోత పెద్ద సంఖ్యలో కణాలను ఉత్పత్తి చేస్తుంది, ఇది ఉత్పత్తి పరికరాల నిర్వహణను తరచుగా నిర్వహించడం మాత్రమే కాకుండా, ఎచింగ్ ప్రాసెస్ ఛాంబర్ యొక్క వైఫల్యానికి కారణమవుతుంది మరియు తీవ్రమైన సందర్భాల్లో పరికరానికి నష్టం కలిగిస్తుంది.

Y2O3 చాలా స్థిరమైన రసాయన మరియు ఉష్ణ లక్షణాలతో కూడిన పదార్థం. దీని ద్రవీభవన స్థానం 2400 above కంటే ఎక్కువ. ఇది బలమైన తినివేయు వాతావరణంలో స్థిరంగా ఉంటుంది. ప్లాస్మా బాంబు దాడులకు దాని నిరోధకత భాగాల సేవా జీవితాన్ని బాగా విస్తరిస్తుంది మరియు ఎచింగ్ చాంబర్‌లో కణాలను తగ్గిస్తుంది.

ఎచింగ్ చాంబర్ మరియు ఇతర ముఖ్య భాగాలను రక్షించడానికి అధిక-స్వచ్ఛత Y2O3 పూతను పిచికారీ చేయడం ప్రధాన స్రవంతి పరిష్కారం.