పరిశ్రమ	సెమీకండక్టర్ తయారీ, అధునాతన సిరామిక్స్, మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు
ప్రక్రియ	వాటర్ జెట్ గైడెడ్ లేజర్ (WJGL) వన్-పాస్ త్రూ-హోల్ మ్యాచింగ్
పరిష్కారం	కస్టమ్ 35mm × 2mm SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లు Φ0.15mm ప్రెసిషన్ మైక్రో హోల్స్‌తో
సేవలు	సాంకేతిక సంప్రదింపులు, ప్రక్రియ అభివృద్ధి, తనిఖీ నివేదికలు, అనుకూలీకరించిన పూత & మ్యాచింగ్
ఫలితాలు	• ఇన్‌లెట్ నుండి అవుట్‌లెట్ వరకు ఏకరీతి రంధ్రం జ్యామితి SEM ద్వారా నిర్ధారించబడింది • కొలవదగిన టేపర్ లేదు; 2mm మందం కోసం తగిన కారక నిష్పత్తి • కనిష్ట వేడి-ప్రభావిత జోన్ మరియు హార్డ్-పెళుసైన SiCపై వాస్తవంగా చిప్పింగ్ లేదు • సెకండరీ-బ్యాటరీ మెటీరియల్ డెవలప్‌మెంట్ కోసం విజయవంతమైన డెలివరీ మరియు కస్టమర్ ఆమోదం

మూర్తి 1: వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ మైక్రో-హోల్ మ్యాచింగ్ తర్వాత 35mm × 2mm SiC సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క ఉత్పత్తి ఫోటో

మూర్తి2：SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లో VeTek వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ మెషిన్డ్ Φ0.15mm రంధ్రం యొక్క SEM చిత్రం

VeTek సెమీకండక్టర్ యొక్క వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ (WJGL) సాంకేతికత మందపాటి సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సబ్‌స్ట్రేట్‌లలో వన్-పాస్, టేపర్-ఫ్రీ మైక్రో-హోల్ మ్యాచింగ్‌ను అనుమతిస్తుంది. ఇటీవలి ప్రాజెక్ట్‌లో, 35 mm వ్యాసం × 2 mm మందపాటి N-రకం 4H-SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై Φ0.15 mm త్రూ-హోల్స్ విజయవంతంగా ప్రాసెస్ చేయబడ్డాయి. SEM తనిఖీ ఇన్‌లెట్ నుండి అవుట్‌లెట్ వరకు అత్యంత ఏకరీతి రంధ్రం గోడలను ధృవీకరించింది, కఠినమైన సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ అవసరాలను తీరుస్తుంది.

1. వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ టేపర్-ఫ్రీ SiC హోల్స్‌ను ఎలా సాధిస్తుంది?

మూర్తి3:వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ సూత్రం: అధిక పీడన నీటి మైక్రోజెట్ (వాటర్ ఆప్టికల్ ఫైబర్) ద్వారా పరిమితం చేయబడిన లేజర్ శక్తి

ఒక స్థిరమైన మైక్రోజెట్‌ను ఏర్పరచడానికి అధిక-పీడన నీటిని ఖచ్చితమైన నాజిల్ (30–120 µm వ్యాసం) ద్వారా బలవంతంగా పంపుతారు. ఫోకస్ చేయబడిన 532 nm లేజర్ ఒక గాజు కిటికీ ద్వారా ఈ జెట్‌లోకి జతచేయబడింది. నీటి కాలమ్ లోపల ఒకసారి, లేజర్ మొత్తం అంతర్గత ప్రతిబింబం ద్వారా పరిమితం చేయబడుతుంది మరియు అధిక-శక్తి-సాంద్రత "వాటర్ ఆప్టికల్ ఫైబర్"గా ప్రయాణిస్తుంది. మైక్రోజెట్ వర్క్‌పీస్‌ను సంప్రదించినప్పుడు, లేజర్ పదార్థాన్ని అబ్లేట్ చేస్తుంది, అయితే నిరంతర నీటి ప్రవాహం కట్టింగ్ జోన్‌ను చల్లబరుస్తుంది మరియు శిధిలాలను ఫ్లష్ చేస్తుంది.

మార్గదర్శక మాధ్యమం స్థిరమైన వ్యాసం కలిగిన స్థూపాకార కాలమ్ అయినందున, ఉద్భవిస్తున్న లేజర్ శక్తి అనేక పదుల మిల్లీమీటర్ల పని దూరంపై సమాంతరంగా ఉంటుంది. పర్యవసానంగా, కట్ వాల్ 2 మిమీ (మరియు 60 మిమీ వరకు) మందపాటి SiCపై కూడా నిలువుగా ఉంటుంది, ఫోకస్ ట్రాకింగ్ అవసరాన్ని తొలగిస్తుంది మరియు ఫ్రీ-స్పేస్ లేజర్ డ్రిల్లింగ్‌లో కనిపించే టేపర్‌ను నివారిస్తుంది.

మూర్తి 4: వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ పని దృశ్యం యొక్క వాస్తవ ఫోటో

హార్డ్-పెళుసు మెటీరియల్స్ కోసం కీలక ప్రక్రియ ప్రయోజనాలు

• 60 మిమీ వరకు మందం కోసం ఫోకస్ సర్దుబాటు అవసరం లేదు

• సున్నా లేదా సున్నాకి సమీపంలో టేపర్ (10–20 µm ఇన్లెట్-టు-ఎగ్జిట్ తేడా)

• నిరంతర శీతలీకరణ ఉష్ణ ఒత్తిడిని మరియు అంచు చిప్పింగ్‌ను అణిచివేస్తుంది

• జెట్ క్రాస్ సెక్షన్ అంతటా ఏకరీతి శక్తి పంపిణీ ఉపరితల కరుకుదనాన్ని తగ్గిస్తుంది (Ra 0.3–1 µm)

• కెర్ఫ్ వెడల్పు 50 µm వరకు ఇరుకైనది, ఖరీదైన SiCలో మెటీరియల్ నష్టాన్ని తగ్గిస్తుంది

2. సెమీకండక్టర్ సిరామిక్ ప్రాసెసింగ్‌లో వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ యొక్క ప్రయోజనాలు

మూర్తి5. VeTek వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ పరికరాలు (WL సిరీస్)

2 mm SiCలో Φ0.15 mm రంధ్రాల సంప్రదాయ మెకానికల్ డ్రిల్లింగ్ తరచుగా సాధనం విచ్ఛిన్నం, అంచు పగులు మరియు ప్రగతిశీల వ్యాసం వైవిధ్యంతో బాధపడుతోంది. ఫ్రీ-స్పేస్ లేజర్ డ్రిల్లింగ్, నాన్-కాంటాక్ట్ అయితే, వేడి-ప్రభావిత జోన్‌లను, రీకాస్ట్ లేయర్‌లను మరియు గుర్తించదగిన టేపర్‌ను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ రెండు సెట్ల పరిమితులను అధిగమిస్తుంది:

1. వన్-పాస్ త్రూ-హోల్ సామర్ధ్యం- ద్విపార్శ్వ ప్రాసెసింగ్ యొక్క అమరిక లోపాలను తొలగిస్తుంది.

2. అధిక కారక నిష్పత్తి- 30:1 కంటే ఎక్కువ నిష్పత్తులు మామూలుగా సాధించబడతాయి.

3. అల్ట్రా-తక్కువ యాంత్రిక శక్తి– వాటర్ జెట్ ఫోర్స్ ~1 N మాత్రమే, ఇది అల్ట్రా-సన్నని లేదా పెళుసుగా ఉండే పొరలను సురక్షితంగా ప్రాసెస్ చేయడానికి అనుమతిస్తుంది.

4. శుభ్రమైన, స్లాగ్ లేని ఉపరితలాలు- నిరంతర ఫ్లషింగ్ శిధిలాలను తొలగిస్తుంది మరియు తిరిగి నిల్వ చేయడాన్ని నిరోధిస్తుంది.

3. SiCలో హై-ఆస్పెక్ట్-రేషియో మైక్రోహోల్స్ కోసం వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ అప్లికేషన్‌లు

మూర్తి6. వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ ద్వారా ప్రాసెస్ చేయబడిన ఖచ్చితమైన సిరామిక్ భాగాలు

సాధారణ సామర్థ్యాలు:

• ప్రాసెసింగ్ మందం పరిధి: 0.05–60 mm (SiC, బోరాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్)

• కనిష్ట ఎపర్చరు: 0.1 మిమీ (మందం మీద ఆధారపడి ఉంటుంది)

• డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం: ± 0.01 మిమీ

• ఉపరితల కరుకుదనం: 0.3–1 µm

• సామగ్రి ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు: WL-DCS200 (200 × 240 mm పని ప్రాంతం, 50–60 W) మరియు WL-LCS500 (500 × 500 mm, 100–200 W)

మూర్తి7.2mm SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లో ఇన్‌లెట్ నుండి అవుట్‌లెట్ వరకు ఏకరీతి Φ0.15mm త్రూ-హోల్ యొక్క కస్టమర్ SEM ధృవీకరణ

ప్రాజెక్ట్ సాక్ష్యం: 2 mm SiCపై Φ0.15 mm రంధ్రం

కొరియన్ సాంకేతిక భాగస్వామి సహకారంతో, VeTek ఐదు 35 mm వ్యాసం, 2 mm మందపాటి N-రకం 4H-SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లను అందించింది, వీటిలో ప్రతి ఒక్కటి ఖచ్చితమైన Φ0.15 mm త్రూ-హోల్‌ను కలిగి ఉంటుంది. తుది కస్టమర్ చేసిన SEM విశ్లేషణ నాజిల్ రంధ్రం లేజర్-ఎంట్రీ వైపు నుండి నిష్క్రమణ వైపు వరకు ఏకరీతి స్థూపాకార ఆకారాన్ని కలిగి ఉందని నిర్ధారించింది. తదుపరి తరం లిథియం-అయాన్ బ్యాటరీల కోసం సిలికాన్-అల్లాయ్ యానోడ్ మెటీరియల్ డెవలప్‌మెంట్‌లో మూల్యాంకనం కోసం భాగాలు అంగీకరించబడ్డాయి.

4. తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు

Q1: వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ 2 mm SiCలో Φ0.15 mm కంటే చిన్న రంధ్రాలను ప్రాసెస్ చేయగలదా?

A: 2 mm మందంతో 0.15 mm కంటే తక్కువ ఉన్న ఎపర్చర్‌ల కోసం సాంకేతిక సమస్య తీవ్రంగా పెరుగుతుంది. దిగుబడి మరియు జ్యామితిని నిర్వహించడానికి సన్నని ఉపరితలాలపై (≤0.4 మిమీ) చిన్న రంధ్రాలు (ఉదా. 0.06 మిమీ) సిఫార్సు చేయబడ్డాయి.

Q2: ప్రక్రియ నిజంగా సింగిల్-పాస్ ఉందా?

జ: అవును. వాటర్-జెట్-గైడెడ్ బీమ్ ఒక నిరంతర ఆపరేషన్‌లో పూర్తి మందంతో వ్యాపిస్తుంది, ముందు మరియు వెనుక డ్రిల్లింగ్ యొక్క తప్పుగా అమరిక ప్రమాదాన్ని తొలగిస్తుంది.

Q3: ఏ తనిఖీ డేటాను అందించవచ్చు?

A: డైమెన్షనల్ కొలత నివేదికలు, హోల్ క్రాస్-సెక్షన్ యొక్క ఆప్టికల్ మరియు SEM చిత్రాలు మరియు ఉపరితల కరుకుదనం డేటా ప్రతి బ్యాచ్‌కు సరఫరా చేయబడతాయి. పూర్తి ప్రక్రియ వీడియోలు గోప్యంగా ఉంటాయి కానీ నమూనా జ్యామితి ధృవీకరణ ప్రామాణికం.

5. తీర్మానం

VeTek సెమీకండక్టర్ నుండి వాటర్-గైడెడ్ లేజర్ టెక్నాలజీ కఠినమైన మరియు పెళుసుగా ఉండే సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌లలో ఖచ్చితమైన సూక్ష్మ-లక్షణాలకు నమ్మకమైన, అధిక-దిగుబడి మార్గాన్ని అందిస్తుంది. మీకు మైక్రో-హోల్స్‌తో అనుకూల SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లు, ప్రాసెస్ పరికరాల కోసం సిరామిక్ భాగాలు లేదా అధునాతన CVD SiC / TaC కోటింగ్‌లు అవసరమైతే, మా ఇంజనీరింగ్ బృందం మీ తదుపరి ప్రాజెక్ట్‌కు మద్దతు ఇవ్వడానికి సిద్ధంగా ఉంది.

మా అన్వేషించండిSiC పూత పరిష్కారాలు తదుపరి సాంకేతిక వివరాల కోసం లేదా మీ నిర్దిష్ట మ్యాచింగ్ అవసరాలను చర్చించడానికి మమ్మల్ని సంప్రదించండి.