ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
ప్రీ-హీట్ రింగ్
  • ప్రీ-హీట్ రింగ్ప్రీ-హీట్ రింగ్

ప్రీ-హీట్ రింగ్

ప్రీ-హీట్ రింగ్ సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో పొరలను వేడి చేయడానికి మరియు పొరల ఉష్ణోగ్రత మరింత స్థిరంగా మరియు ఏకరీతిగా చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది ఎపిటాక్సీ పొరల యొక్క అధిక-నాణ్యత పెరుగుదలకు చాలా ప్రాముఖ్యత కలిగి ఉంది. అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద మలినాలను అస్థిరతను నివారించడానికి వెటెక్ సెమీకండక్టర్ ఈ ఉత్పత్తి యొక్క స్వచ్ఛతను ఖచ్చితంగా నియంత్రిస్తుంది. మాతో మరింత చర్చించటానికి వెల్లీమ్.

ప్రీ-హీట్ రింగ్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఎపిటాక్సియల్ (ఇపిఐ) ప్రక్రియ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించిన కీలక పరికరం. ఇది EPI ప్రక్రియకు ముందు పొరలను ముందే వేడి చేయడానికి ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల అంతటా ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం మరియు ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది.


వెటెక్ సెమీకండక్టర్ చేత తయారు చేయబడిన మా EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ అనేక ముఖ్యమైన లక్షణాలు మరియు ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది. మొదట, ఇది అధిక ఉష్ణ వాహకత పదార్థాలను ఉపయోగించి నిర్మించబడింది, ఇది పొర ఉపరితలానికి వేగవంతమైన మరియు ఏకరీతి ఉష్ణ బదిలీని అనుమతిస్తుంది. ఇది హాట్‌స్పాట్‌లు మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతలు ఏర్పడటాన్ని నిరోధిస్తుంది, స్థిరమైన నిక్షేపణను నిర్ధారిస్తుంది మరియు ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క నాణ్యత మరియు ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది. అదనంగా, మా EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ అధునాతన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ వ్యవస్థతో అమర్చబడి ఉంటుంది, ఇది ప్రీ-హీట్ ఉష్ణోగ్రత యొక్క ఖచ్చితమైన మరియు స్థిరమైన నియంత్రణను అనుమతిస్తుంది. ఈ స్థాయి నియంత్రణ EPI ప్రక్రియలో క్రిస్టల్ గ్రోత్, మెటీరియల్ డిపాజిషన్ మరియు ఇంటర్‌ఫేస్ రియాక్షన్‌ల వంటి కీలకమైన దశల యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు పునరావృతతను పెంచుతుంది.


మన్నిక మరియు విశ్వసనీయత మా ఉత్పత్తి రూపకల్పనలో ముఖ్యమైన అంశాలు. EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు ఆపరేటింగ్ ఒత్తిళ్లను తట్టుకునేలా నిర్మించబడింది, ఎక్కువ కాలం పాటు స్థిరత్వం మరియు పనితీరును నిర్వహిస్తుంది. ఈ డిజైన్ విధానం నిర్వహణ మరియు భర్తీ ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది, దీర్ఘకాలిక విశ్వసనీయత మరియు కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ యొక్క సంస్థాపన మరియు ఆపరేషన్ సూటిగా ఉంటాయి, ఎందుకంటే ఇది సాధారణ EPI పరికరాలతో అనుకూలంగా ఉంటుంది. ఇది వినియోగదారు-స్నేహపూర్వక పొర ప్లేస్‌మెంట్ మరియు రిట్రీవల్ మెకానిజం, సౌలభ్యం మరియు కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని పెంచుతుంది.


VeTek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము నిర్దిష్ట కస్టమర్ అవసరాలను తీర్చడానికి అనుకూలీకరణ సేవలను కూడా అందిస్తాము. ప్రత్యేకమైన ఉత్పత్తి అవసరాలకు అనుగుణంగా EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ యొక్క పరిమాణం, ఆకారం మరియు ఉష్ణోగ్రత పరిధిని టైలరింగ్ చేయడం ఇందులో ఉంటుంది. ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ మరియు సెమీకండక్టర్ డివైస్ ప్రొడక్షన్‌లో పాల్గొన్న పరిశోధకులు మరియు తయారీదారుల కోసం, VeTek సెమీకండక్టర్ ద్వారా EPI ప్రీ హీట్ రింగ్ అసాధారణమైన పనితీరు మరియు నమ్మకమైన మద్దతును అందిస్తుంది. ఇది అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధిని సాధించడంలో మరియు సమర్థవంతమైన సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీ ప్రక్రియలను సులభతరం చేయడంలో కీలకమైన సాధనంగా పనిచేస్తుంది.


CVD SIC ఫిల్మ్ యొక్క SEM డేటా

SEM DATA OF CVD SIC FILM

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం FCC β దశ పాలిక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఆధారితమైనది
Sic పూత సాంద్రత 3.21 గ్రా/సెం.మీ.
SiC పూత కాఠిన్యం 2500 విక్కర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం 2 ~ 10 మిమీ
రసాయన స్వచ్ఛత 99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం 640 J·kg-1· కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత 2700
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ 415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్స్ మాడ్యులస్ 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత 300W · M-1· కె-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE) 4.5 × 10-6K-1


VeTek సెమీకండక్టర్ప్రీ-హీట్ రింగ్ఉత్పత్తి దుకాణం

SiC Graphite substratePre-Heat Ring testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


హాట్ ట్యాగ్‌లు: ప్రీ-హీట్ రింగ్
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇమెయిల్

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
వార్తల సిఫార్సులు
X
మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు. గోప్యతా విధానం
తిరస్కరించుఅంగీకరించు