ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క ఉపయోగాలు

సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ SIC అనేది సిలికాన్ (SI) మరియు కార్బన్ (సి) తో కూడిన అధునాతన సిరామిక్ పదార్థం. ఇది ప్రకృతిలో విస్తృతంగా కనిపించే పదార్థం కాదు మరియు సాధారణంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత సంశ్లేషణ అవసరం. భౌతిక మరియు రసాయన లక్షణాల యొక్క ప్రత్యేకమైన కలయిక ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో, ముఖ్యంగా సెమీకండక్టర్ తయారీలో బాగా పనిచేసే కీలక పదార్థంగా చేస్తుంది.

Ⅰ. ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క కీ భౌతిక లక్షణాలు (ఘన SIC)

▶ అధిక కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు ప్రతిఘటన:

SIC కి 9-9.5 యొక్క మోహ్స్ కాఠిన్యం ఉంది, ఇది వజ్రానికి రెండవది. ఇది అద్భుతమైన స్క్రాచ్ మరియు ధరించే నిరోధకతను ఇస్తుంది మరియు ఇది యాంత్రిక ఒత్తిడి లేదా కణ కోతను తట్టుకునే పరిసరాలలో బాగా పనిచేస్తుంది.

అధిక-ఉష్ణోగ్రత బలం మరియు స్థిరత్వం

1. SIC దాని యాంత్రిక బలం మరియు నిర్మాణ సమగ్రతను చాలా ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్వహించగలదు (రకం మరియు స్వచ్ఛతను బట్టి 1600 ° C వరకు లేదా అంతకంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పనిచేస్తుంది).

2. థర్మల్ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం అంటే ఇది మంచి డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంది మరియు ఉష్ణోగ్రత తీవ్రంగా మారినప్పుడు వైకల్యం లేదా పగుళ్లకు అవకాశం లేదు.

▶ అధిక ఉష్ణ వాహకత:

అనేక ఇతర సిరామిక్ పదార్థాల మాదిరిగా కాకుండా, SIC సాపేక్షంగా అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది. ఇది వేడిని సమర్థవంతంగా నిర్వహించడానికి మరియు వెదజల్లడానికి అనుమతిస్తుంది, ఇది ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ మరియు ఏకరూపత అవసరమయ్యే అనువర్తనాలకు కీలకం.

ఉన్నతమైన రసాయన జడత్వం మరియు తుప్పు నిరోధకత:

అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద కూడా, సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో (ప్లాస్మా పరిసరాలలో ఫ్లోరిన్-ఆధారిత మరియు క్లోరిన్-ఆధారిత వాయువులు వంటివి) సాధారణంగా ఉపయోగించే చాలా బలమైన ఆమ్లాలు, బలమైన స్థావరాలు మరియు తినివేయు వాయువులకు SIC చాలా బలమైన నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తుంది. ప్రాసెస్ ఛాంబర్ భాగాలు క్షీణించకుండా లేదా కలుషితం కాకుండా నిరోధించడానికి ఇది చాలా కీలకం.

అధిక స్వచ్ఛతకు సంభావ్యత:

నిర్దిష్ట ఉత్పాదక ప్రక్రియల ద్వారా (రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ - సివిడి వంటివి) చాలా ఎక్కువ స్వచ్ఛత సిక్ పూతలు లేదా ఘన SIC భాగాలను ఉత్పత్తి చేయవచ్చు. సెమీకండక్టర్ తయారీలో, మెటీరియల్ ప్యూరిటీ నేరుగా పొర యొక్క కాలుష్యం స్థాయిని మరియు తుది ఉత్పత్తి యొక్క దిగుబడిని ప్రభావితం చేస్తుంది.

▶ అధిక దృ ff త్వం (యంగ్ మాడ్యులస్):

SIC కి అధిక యంగ్ యొక్క మాడ్యులస్ ఉంది, అంటే ఇది చాలా కష్టం మరియు లోడ్ కింద వైకల్యం చేయడం సులభం కాదు. ఖచ్చితమైన ఆకారం మరియు పరిమాణాన్ని (పొర క్యారియర్లు వంటివి) నిర్వహించాల్సిన భాగాలకు ఇది చాలా ముఖ్యం.

Tut ట్యూనబుల్ ఎలక్ట్రికల్ లక్షణాలు:

ఇది తరచూ అవాహకం లేదా సెమీకండక్టర్‌గా ఉపయోగించబడుతున్నప్పటికీ (దాని క్రిస్టల్ రూపం మరియు డోపింగ్‌ను బట్టి), దాని అధిక రెసిస్టివిటీ ప్లాస్మా ప్రవర్తనను నిర్వహించడానికి లేదా కొన్ని భాగాల అనువర్తనాలలో అనవసరమైన ఆర్క్ ఉత్సర్గను నిరోధించడానికి సహాయపడుతుంది.

Ⅱ. సెమీకండక్టర్ తయారీలో సాలిడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ (సాలిడ్ సిఐసి) పూర్తయిన ఉత్పత్తుల యొక్క నిర్దిష్ట అనువర్తనాలు మరియు ప్రయోజనాలు

పై భౌతిక లక్షణాల ఆధారంగా, సాలిడ్ SIC వివిధ ఖచ్చితమైన భాగాలుగా తయారు చేయబడుతుంది మరియు సెమీకండక్టర్ ఫ్రంట్-ఎండ్ ప్రక్రియల యొక్క బహుళ కీ లింక్‌లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

1) సాలిడ్ సిక్ పొర క్యారియర్ (సాలిడ్ సిక్ పొర క్యారియర్ / బోట్):

అప్లికేషన్:

అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో (విస్తరణ, ఆక్సీకరణ, LPCVD-తక్కువ-పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ వంటివి) సిలికాన్ పొరలను తీసుకువెళ్ళడానికి మరియు బదిలీ చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

ప్రయోజనాలు విశ్లేషణ:

1. అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం: 1000 ° C కంటే ఎక్కువ ప్రాసెస్ ఉష్ణోగ్రతలలో, SIC క్యారియర్లు క్వార్ట్జ్ వలె మృదువుగా, వైకల్యం లేదా సాగ్ చేయవు మరియు ప్రాసెస్ ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి పొర అంతరాన్ని ఖచ్చితంగా నిర్వహించగలవు.

3 దీని సేవా జీవితం సాధారణంగా క్వార్ట్జ్ క్యారియర్‌ల కంటే చాలా రెట్లు లేదా డజన్ల కొద్దీ ఉంటుంది, ఇది పున ment స్థాపన పౌన frequency పున్యం మరియు నిర్వహణ ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది.

3. రసాయన జడత్వం: ఇది ప్రక్రియ వాతావరణంలో రసాయన కోతను నిరోధించగలదు మరియు దాని స్వంత పదార్థాల అవపాతం వల్ల కలిగే పొర యొక్క కలుషితాన్ని తగ్గిస్తుంది.

4. థర్మల్ కండక్టివిటీ: మంచి ఉష్ణ వాహకత క్యారియర్లు మరియు పొరల యొక్క వేగవంతమైన మరియు ఏకరీతి తాపన మరియు శీతలీకరణను సాధించడానికి సహాయపడుతుంది, ప్రక్రియ సామర్థ్యం మరియు ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది.

5. అధిక స్వచ్ఛత: అశుద్ధ నియంత్రణ కోసం అధునాతన నోడ్‌ల యొక్క కఠినమైన అవసరాలను తీర్చడానికి అధిక-స్వచ్ఛత SIC క్యారియర్‌లను తయారు చేయవచ్చు.

వినియోగదారు విలువ:

ప్రాసెస్ స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచండి, ఉత్పత్తి దిగుబడిని పెంచండి, భాగం వైఫల్యం లేదా కాలుష్యం వల్ల కలిగే సమయ వ్యవధిని తగ్గించండి మరియు దీర్ఘకాలంలో యాజమాన్యం యొక్క మొత్తం వ్యయాన్ని తగ్గించండి.

2) ఘన SIC డిస్క్-ఆకారపు / గ్యాస్ షవర్ హెడ్:

అప్లికేషన్:

ప్లాస్మా ఎట్చింగ్, కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి), అణు పొర నిక్షేపణ (ALD) మొదలైన పరికరాల ప్రతిచర్య గది పైభాగంలో వ్యవస్థాపించబడింది, దిగువ పొర ఉపరితలానికి సమానంగా పంపిణీ ప్రక్రియ వాయువులను పంపిణీ చేయడానికి బాధ్యత వహిస్తుంది.

ప్రయోజన విశ్లేషణ:

1. ప్లాస్మా టాలరెన్స్: అధిక-శక్తి, రసాయనికంగా చురుకైన ప్లాస్మా వాతావరణంలో, SIC షవర్ హెడ్ ప్లాస్మా బాంబు దాడులకు మరియు రసాయన తుప్పుకు చాలా బలమైన ప్రతిఘటనను ప్రదర్శిస్తుంది, ఇది క్వార్ట్జ్ లేదా అల్యూమినా కంటే చాలా గొప్పది.

2. ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వం: ఖచ్చితమైన-మెషిన్డ్ SIC షవర్ హెడ్ గ్యాస్ ప్రవాహం మొత్తం పొర ఉపరితలం అంతటా సమానంగా పంపిణీ చేయబడిందని నిర్ధారించగలదు, ఇది చలనచిత్ర మందం, కూర్పు ఏకరూపత లేదా చెక్కడం రేటు యొక్క ఏకరూపతకు కీలకం. ఇది మంచి దీర్ఘకాలిక స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంది మరియు వైకల్యం లేదా అడ్డుపడటం అంత సులభం కాదు.

3. థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్: మంచి ఉష్ణ వాహకత షవర్‌హెడ్ ఉపరితలంపై ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను నిర్వహించడానికి సహాయపడుతుంది, ఇది అనేక వేడి-సున్నితమైన నిక్షేపణ లేదా ఎచింగ్ ప్రక్రియలకు కీలకం.

4. తక్కువ కాలుష్యం: అధిక స్వచ్ఛత మరియు రసాయన జడత్వం షవర్‌హెడ్ యొక్క సొంత పదార్థాల కలుషితాన్ని ఈ ప్రక్రియకు తగ్గిస్తుంది.

వినియోగదారు విలువ:

ప్రక్రియ ఫలితాల యొక్క ఏకరూపత మరియు పునరావృతతను గణనీయంగా మెరుగుపరచండి, షవర్‌హెడ్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని విస్తరించడం, నిర్వహణ సమయాన్ని మరియు కణ సమస్యలను తగ్గించడం మరియు మరింత అధునాతన మరియు మరింత కఠినమైన ప్రక్రియ పరిస్థితులకు మద్దతు ఇవ్వండి.

3) సాలిడ్ సిక్ ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్ (సాలిడ్ సిక్ ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్ / ఎడ్జ్ రింగ్):

అప్లికేషన్:

ప్రధానంగా ఛాంబర్ ఆఫ్ ప్లాస్మా ఎచింగ్ పరికరాలలో (కెపాసిటివ్లీ కపుల్డ్ ప్లాస్మా సిసిపి లేదా ప్రేరకంగా కపుల్డ్ ప్లాస్మా ఐసిపి ఎట్చర్ వంటివి), సాధారణంగా పొర చుట్టూ ఉన్న పొర క్యారియర్ (చక్) అంచున ఉంచబడతాయి. దీని పని ప్లాస్మాను నిరోధించడం మరియు మార్గనిర్దేశం చేయడం, తద్వారా ఇది గది యొక్క ఇతర భాగాలను రక్షించేటప్పుడు పొర ఉపరితలంపై మరింత సమానంగా పనిచేస్తుంది.

ప్రయోజన విశ్లేషణ:

1. ప్లాస్మా కోతకు బలమైన ప్రతిఘటన: ఇది SIC ఫోకస్ రింగ్ యొక్క ప్రముఖ ప్రయోజనం. చాలా దూకుడుగా ఎచింగ్ ప్లాస్మాల్లో (ఫ్లోరిన్- లేదా క్లోరిన్ కలిగిన రసాయనాలు వంటివి), సిక్ క్వార్ట్జ్, అల్యూమినా లేదా యట్రియా (యట్రియం ఆక్సైడ్) కంటే చాలా నెమ్మదిగా ధరిస్తుంది మరియు చాలా కాలం జీవితాన్ని కలిగి ఉంటుంది.

2. క్లిష్టమైన కొలతలు నిర్వహించడం: అధిక కాఠిన్యం మరియు అధిక దృ g త్వం SIC ఫోకస్ రింగులు చాలా కాలం ఉపయోగంలో వాటి ఖచ్చితమైన ఆకారం మరియు పరిమాణాన్ని బాగా నిర్వహించడానికి అనుమతిస్తాయి, ఇది ప్లాస్మా పదనిర్మాణ శాస్త్రాన్ని స్థిరీకరించడానికి మరియు ఎచింగ్ ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి కీలకం.

3. తక్కువ కణ తరం: దాని దుస్తులు నిరోధకత కారణంగా, ఇది భాగం వృద్ధాప్యం ద్వారా ఉత్పన్నమయ్యే కణాలను బాగా తగ్గిస్తుంది, తద్వారా దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.

4. అధిక స్వచ్ఛత: లోహం లేదా ఇతర మలినాలను పరిచయం చేయకుండా ఉండండి.

వినియోగదారు విలువ:

కాంపోనెంట్ రీప్లేస్‌మెంట్ చక్రాలను బాగా విస్తరించండి, నిర్వహణ ఖర్చులు మరియు పరికరాల సమయ వ్యవధిని గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది; ఎచింగ్ ప్రక్రియల యొక్క స్థిరత్వం మరియు పునరావృతతను మెరుగుపరచండి; లోపాలను తగ్గించండి మరియు హై-ఎండ్ చిప్ తయారీ దిగుబడిని మెరుగుపరచండి.

.సారాంశం

ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ ఆధునిక సెమీకండక్టర్ తయారీలో అనివార్యమైన కీలక పదార్థాలలో ఒకటిగా మారింది, ఎందుకంటే భౌతిక లక్షణాల యొక్క ప్రత్యేకమైన కలయిక - అధిక కాఠిన్యం, అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణ వాహకత, అద్భుతమైన రసాయన స్థిరత్వం మరియు తుప్పు నిరోధకత. ఇది పొరలను తీసుకెళ్లడానికి క్యారియర్ అయినా, గ్యాస్ పంపిణీని నియంత్రించడానికి షవర్ హెడ్ లేదా ప్లాస్మాకు మార్గనిర్దేశం చేయడానికి ఫోకస్ రింగ్ అయినా, ఘన SIC ఉత్పత్తులు చిప్ తయారీదారులు వారి అద్భుతమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతతో కఠినమైన ప్రక్రియ సవాళ్లను ఎదుర్కోవటానికి సహాయపడతాయి, ఉత్పత్తి సామర్థ్యం మరియు ఉత్పత్తి దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తాయి మరియు మొత్తం సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క స్థిరమైన అభివృద్ధిని ప్రోత్సహిస్తాయి.

చైనాలో ఘన సిలికాన్ కార్బైడ్ ఉత్పత్తుల యొక్క ప్రముఖ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా,సెమికాన్వంటి ఉత్పత్తులుఘన SIC పొర క్యారియర్ / పడవ, ఘన SIC డిస్క్ ఆకారపు / గ్యాస్ షవర్ హెడ్, సాలిడ్ సిక్ ఎచింగ్ ఫోకస్ రింగ్ / ఎడ్జ్ రింగ్ఐరోపా మరియు యునైటెడ్ స్టేట్స్లలో విస్తృతంగా అమ్ముడవుతున్నాయి మరియు ఈ వినియోగదారుల నుండి అధిక ప్రశంసలు మరియు గుర్తింపును పొందాయి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావడానికి మేము హృదయపూర్వకంగా ఎదురుచూస్తున్నాము. సంప్రదించడానికి స్వాగతం.

MOB/whatsapp: +86-180 6922 0752

ఇమెయిల్: anny@veteksemi.com