సెమీకండక్టర్ ఫీల్డ్‌లో TAC పూత భాగాల యొక్క నిర్దిష్ట అనువర్తనం ఏమిటి?

టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TAC) పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు

సెమీకండక్టర్ ఫీల్డ్‌లో టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (టిఎసి) పూత యొక్క అనువర్తనం

1. ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ రియాక్టర్ భాగాలు

గల్లియం నైట్రైడ్ (GAN) ఎపిటాక్సియల్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) ఎపిటాక్సియల్ యొక్క రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) రియాక్టర్ భాగాలలో TAC పూత విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుందిపొర క్యారియర్లు, ఉపగ్రహ వంటకాలు, నాజిల్స్ మరియు సెన్సార్లు. ఈ భాగాలకు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో చాలా ఎక్కువ మన్నిక మరియు స్థిరత్వం అవసరం. TAC పూత వారి సేవా జీవితాన్ని సమర్థవంతంగా విస్తరించగలదు మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.

2. సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ భాగం

SIC, GAN మరియు అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AIN) వంటి పదార్థాల సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల ప్రక్రియలో,TAC పూతక్రూసిబుల్స్, సీడ్ క్రిస్టల్ హోల్డర్స్, గైడ్ రింగులు మరియు ఫిల్టర్లు వంటి కీలక భాగాలకు వర్తించబడుతుంది. TAC పూతతో గ్రాఫైట్ పదార్థాలు అశుద్ధ వలసలను తగ్గిస్తాయి, క్రిస్టల్ నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తాయి మరియు లోపం సాంద్రతను తగ్గిస్తాయి.

3. అధిక ఉష్ణోగ్రత పారిశ్రామిక భాగాలు

రెసిస్టివ్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్, ఇంజెక్షన్ నాజిల్స్, షీల్డింగ్ రింగులు మరియు బ్రేజింగ్ ఫిక్చర్స్ వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత పారిశ్రామిక అనువర్తనాలలో TAC పూతను ఉపయోగించవచ్చు. ఈ భాగాలు అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో మంచి పనితీరును కొనసాగించాల్సిన అవసరం ఉంది, మరియు TAC యొక్క ఉష్ణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత దీనిని అనువైన ఎంపికగా చేస్తుంది.

4. MOCVD వ్యవస్థలలో హీటర్లు

మెటల్ సేంద్రీయ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) వ్యవస్థలలో TAC- కోటెడ్ గ్రాఫైట్ హీటర్లు విజయవంతంగా ప్రవేశపెట్టబడ్డాయి. సాంప్రదాయ పిబిఎన్-పూతతో కూడిన హీటర్లతో పోలిస్తే, టిఎసి హీటర్లు మెరుగైన సామర్థ్యం మరియు ఏకరూపతను అందించగలవు, విద్యుత్ వినియోగాన్ని తగ్గిస్తాయి మరియు ఉపరితల ఉద్గారాలను తగ్గిస్తాయి, తద్వారా సమగ్రతను మెరుగుపరుస్తుంది.

5. పొర క్యారియర్లు

SIC, AIN మరియు GAN వంటి మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ పదార్థాల తయారీలో TAC- కోటెడ్ పొర క్యారియర్లు ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తాయి. అధ్యయనాలు యొక్క తుప్పు రేటు చూపించాయిTAC పూతలుఅధిక-ఉష్ణోగ్రత అమ్మోనియా మరియు హైడ్రోజన్ పరిసరాలలో కంటే చాలా తక్కువSic పూతలు, ఇది దీర్ఘకాలిక ఉపయోగంలో మంచి స్థిరత్వం మరియు మన్నికను చూపుతుంది.